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化学气相沉积加热装置.pdf
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化学气相沉积加热装置.pdf
本发明提供了一种化学气相沉积加热装置,包括加热盘和柄部,所述柄部为管状,所述柄部的一端固定到所述加热盘,所述加热盘的外径与所述柄部的外径之比大于或等于3:1且小于或等于6:1,且所述加热盘的外径与所述柄部的内径之比大于6:1且小于或等于12:1。增大了所述柄部的壁厚,使得所述柄部与所述加热盘接触面积增大,使工艺过程中产生的热量更快地导走,进而使所述加热盘温度迅速回到设定值,在连续沉积时不会发生加热盘过温报警,进而能够实现大量的跑片,满足产能的要求。
2023-05-18
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气相沉积均匀加热装置及气相沉积炉.pdf
本发明揭示了气相沉积均匀加热装置及气相沉积炉，包括至少两个间隙设置的加热板，所述加热板在与它们平行的同一投影面上的投影重合，且相邻加热板之间的间隙形成用于放置工件的加热空间，每个所述加热板的两端分别连接一石墨电极，每个所述石墨电极连接用于连接电源的铜电极。本发明设计精巧，通过在两个加热板的间隙之间形成用于放置工件的加热空间，两个加热板同时从两个相反方向直接对工件进行加热，一来具有更高的加热效率，减少热传递过程的热损耗，有利于降低能耗；同时，两面同时加热，有利于保证加热的均匀性，避免工件受热不均。
2023-06-17
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化学气相沉积装置.pdf
一种化学气相沉积装置，具备在内部进行气相生长的反应炉和从所述反应炉排出气体的排气配管，所述排气配管具有至少1个弯曲部，在所述弯曲部具备从所述弯曲部向不同的方向延伸出且在内部具有堆积物的存积空间的至少1个配管延长部。
2023-06-17
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晶圆加热转移装置和化学气相沉积设备.pdf
本发明的实施例提供了一种晶圆加热转移装置和化学气相沉积设备，涉及半导体技术领域。晶圆加热转移装置包括加热盘、转移手指和驱动机构，加热盘中部开设有通孔，在通孔的周围还开设有多个凹槽，加热盘用于承载晶圆、并对晶圆加热；转移手指安装在凹槽内，转移手指用于转移晶圆；驱动机构安装在通孔内，驱动机构与转移手指连接，驱动机构用于带动转移手指相对于加热盘升降、旋转。其中，凹槽的形状与转移手指的形状相适配，转移手指包括主干和多个分支，多个分支连接在主干的同一侧，相邻两个转移手指的分支用于支撑起同一个晶圆。晶圆加热转移装置能
2023-06-04
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抽气装置、低压化学气相沉积设备以及化学气相沉积方法.pdf
本发明提供抽气装置、低压化学气相沉积设备以及化学气相沉积方法。一种抽气装置，用于抽取低压化学气相沉积设备的炉管内的气体，其特征在于，所述抽气装置包括：并联的第一阀、第二阀和第三阀，其通过导管与炉管的排气口相连；抽气泵，其通过导管与第一至第三阀相连，其中第一阀、第二阀和第三阀分别与抽气泵一起工作用于降低炉管内气压且降低炉管内气压的速率依次递减。利用本发明可以改善现有的低压化学气相沉积设备内颗粒污染较为严重的问题。
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