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曝光装置以及物品制造方法.pdf

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在进行基板的扫描曝光的曝光装置中,利用来自光源(1)的光对原版(24)的被照明面进行照明的照明光学系统具有:衍射光学元件(6),在预定面上通过衍射作用变换来自所述光源(1)的光束的光强度分布;第1遮光部(18),配置于从所述被照明面的共轭面向所述光源侧散焦后的位置;以及第2遮光部(20),配置于从所述被照明面的所述共轭面向所述被照明面侧散焦后的位置。所述衍射光学元件(6)具有以下衍射特性:针对由所述第1遮光部(18)和所述第2遮光部(20)在所述被照明面上产生的、对通过所述扫描曝光对某一点进行照明的期间中的入射角度分布进行累计而得到的累计入射角度分布,降低所述扫描曝光的扫描方向和与该扫描方向正交的非扫描方向之差。