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一种抓舟机构及硅片加工系统.pdf

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本实用新型涉及新能源技术领域,具体而言,涉及一种抓舟机构及硅片加工系统。所述抓舟机构包括连接件、第一抓手组件、第二抓手组件和驱动组件,第一抓手组件适于沿第一方向移动,第一抓手组件用于抓取石英舟;第二抓手组件适于沿第一方向移动,第二抓手组件用于抓取石英舟;驱动组件安装于连接件上,驱动组件分别与第一抓手组件和第二抓手组件驱动连接,驱动组件适于驱动第一抓手组件和第二抓手组件沿相反的方向移动。本实用新型通过驱动机构同时驱动第一抓手组件和第二抓手组件移动,以此改变第一抓手组件和第二抓手组件之间的间距,从而可以对前序工序中,处于不同位置的石英舟进行抓取,且每次可以抓取两个石英舟,极大地提高了效率。