一种硅片石墨舟用冷却机构.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115979002A(43)申请公布日2023.04.18(21)申请号202310275959.5(22)申请日2023.03.21(71)申请人福建福碳新材料科技有限公司地址366011福建省三明市永安市贡川水东园区15-1号(72)发明人冯于驰万伟光纪斌姚亮(74)专利代理机构常州市天龙专利事务所有限公司32105专利代理师于雅洁(51)Int.Cl.F27D15/02(2006.01)F27D17/00(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图4页(54)发明名称一种硅片石墨舟用冷却机构(57)摘要本发明公开了一种硅片石墨舟用冷却机构，具体涉及冷却技术领域，包括工作台，所述工作台的顶部设置有载具，所述载具的内部设置有用于放置硅片石墨舟的碗形槽，所述碗形槽的底部设置有波纹凸起，所述工作台的顶部设置有固定腔，所述固定腔的内部安装有风扇，所述波纹凸起的底部设置有若干个与固定腔内部连通的通孔，所述工作台的顶端位于载具的两侧沿竖直方向上均固定连接有固定支柱。本发明能够对硅片石墨舟起到降温冷却的效果，同时，对硅片石墨舟降温过程中产生的热空气能够有效的进行利用，能够在冬季使用时对室内供暖使用，也能够对热空气中热量进行吸收利用后排出，排出的空气经净化过滤后排出更加环保。CN115979002ACN115979002A权利要求书1/2页1.一种硅片石墨舟用冷却机构，包括工作台（1），其特征在于：所述工作台（1）的顶部设置有载具（2），所述载具（2）的内部设置有用于放置硅片石墨舟的碗形槽（201），所述碗形槽（201）的底部设置有波纹凸起（202），所述工作台（1）的顶部设置有固定腔（3），所述固定腔（3）的内部安装有风扇（4），所述波纹凸起（202）的底部设置有若干个与固定腔（3）内部连通的通孔（203），所述工作台（1）的顶端位于载具（2）的两侧沿竖直方向上均固定连接有固定支柱（5），两个固定支柱（5）的顶部内壁之间连接有顶板（6），且两个固定支柱（5）的内侧位于载具（2）的上方连接有吸风罩（8），所述吸风罩（8）的顶部连通有竖管（9），所述竖管（9）的顶部贯穿并延伸至顶板（6）的上方连通有三通管（12），所述顶板（6）的底部设置有控制吸风罩（8）升降的升降驱动机构，所述三通管（12）的两个端口分别连通有供暖管（13）和热能利用管（14），所述供暖管（13）和热能利用管（14）上均安装有气体电磁阀（15）和净化箱（16），所述热能利用管（14）的一端部连通有余热利用机构。2.根据权利要求1所述的一种硅片石墨舟用冷却机构，其特征在于：所述风扇（4）与固定腔（3）的内壁之间通过螺栓固定连接，所述固定支柱（5）的底部与工作台（1）的顶端之间焊接或通过螺栓固定连接，所述固定支柱（5）的顶部外壁设置有控制开关（7）。3.根据权利要求1所述的一种硅片石墨舟用冷却机构，其特征在于：所述吸风罩（8）的两端部外壁均设置有限位卡块（10），所述限位卡块（10）的端部延伸至固定支柱（5）的内侧壁，所述固定支柱（5）的内侧壁对应限位卡块（10）的端头外部沿竖直方向上设置有限位滑槽（11）。4.根据权利要求1所述的一种硅片石墨舟用冷却机构，其特征在于：所述吸风罩（8）的内部安装有金属网（27），所述吸风罩（8）的内壁对应金属网（27）的两端顶部位置处均固定设置有固定块（28），所述金属网（27）的顶部与固定块（28）之间通过螺钉固定连接。5.根据权利要求1所述的一种硅片石墨舟用冷却机构，其特征在于：所述升降驱动机构包括竖管（9）上安装的伸缩软管（26），所述伸缩软管（26）将竖管（9）分为上下两部分管体，上管体穿过顶板（6）与三通管（12）连通并与顶板（6）固定连接，下管体与吸风罩（8）的顶部连通，所述下管体的外壁固定连接有固定板（30），所述顶板（6）的底部位于固定板（30）的上方固定安装有伸缩气缸（29），所述伸缩气缸（29）的输出端竖直向下与固定板（30）的顶端固定连接。6.根据权利要求1所述的一种硅片石墨舟用冷却机构，其特征在于：所述净化箱（16）的内部安装有吸附组件（31），且净化箱（16）的内部位于吸附组件（31）的一侧连接有过滤网（32），所述吸附组件（31）包括固定连接在净化箱（16）上下两内壁的两个安装板（311），两个安装板（311）之间连接有若干个活性炭芯棒（312），所述活性炭芯棒（312）与净化箱（16）的内壁之间通过螺钉固定连接。7.根据权利要求1所述的一种硅片石墨舟用冷却机构，其特征在于：所述余热利用机构包括设置在热能利用管（14）端部一侧的第一水冷箱（17），所述第一水冷箱（17）的一侧设置有第二水冷箱（18），所述第一水冷箱（17）和第二水冷箱（18）的内部均