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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112735996A(43)申请公布日2021.04.30(21)申请号202110069338.2(22)申请日2021.01.19(66)本国优先权数据202010894109.X2020.08.31CN(71)申请人赛姆柯(苏州)智能科技有限公司地址215000江苏省苏州市相城区经济技术开发区漕湖街道漕湖产业园方桥路569号航空产业园A5标准厂房(72)发明人吴建芬张灵任俊江薇儿妮卡·夏丽叶(74)专利代理机构苏州创元专利商标事务所有限公司32103代理人樊晓娜(51)Int.Cl.H01L21/673(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图4页(54)发明名称一种硅片用石英舟及硅片放置方式(57)摘要本发明公开一种硅片用石英舟及硅片放置方式,石英舟包括前后相对设置的前固定板与后固定板及设在两者之间的多个上安装柱与下安装柱,上安装柱与下安装柱一一对应设置;上安装柱与下安装柱上均设有卡槽,上安装柱上的卡槽与下安装柱上的卡槽一一对应设置,且上安装柱上卡槽槽口与下安装柱上对应的卡槽的槽口相对设置,以限制放置在上安装柱与下安装柱之间的硅片向下移动;石英舟水平设置在炉管内,炉管轴心线方向与通入炉管的气体的气流方向平行,硅片所在平面与炉管的轴心线平行,或硅片所在平面与炉管的轴心线之间具有夹角。本发明提供的硅片放置方式,减小硅片对气流的阻挡作用,扩散工艺后硅片的片内均匀性一致,且适用大硅片。CN112735996ACN112735996A权利要求书1/2页1.一种硅片用石英舟,其特征在于,包括前后相对设置的前固定板(1)与后固定板(2)以及设置在前固定板(1)与后固定板(2)之间的多个上安装柱与多个下安装柱,所述上安装柱与下安装柱一一对应设置,所述上安装柱与下安装柱之间设有用于容置硅片(5)的中空空间;所述上安装柱与下安装柱上均设有用于包覆硅片(5)侧边的卡槽(6),所述上安装柱上的卡槽(6)与下安装柱上的卡槽(6)一一对应设置,且所述上安装柱上卡槽(6)的槽口与下安装柱上对应的卡槽(6)的槽口相对设置,以限制放置在上安装柱与下安装柱对应的卡槽(6)内的硅片(5)向下移动,且使得所述硅片(5)所在平面与沿上下方向延伸的基准竖直面平行,或所述硅片(5)所在平面与基准竖直面之间保持夹角,其中,所述基准竖直面与所述上安装柱的延伸方向、下安装柱的延伸方向均垂直设置。2.根据权利要求1所述的硅片用石英舟,其特征在于,所述夹角大于0°且小于45°。3.根据权利要求1或2所述的硅片用石英舟,其特征在于,所述上安装柱包括两个单条型上安装柱(3)、一个或多个双条型上安装柱(4),所述双条型上安装柱(4)设置在两个单条型上安装柱(3)之间,所述单条型上安装柱(3)的一端具有多个卡槽(6),所述双条型上安装柱(4)的左右两端部均具有多个卡槽(6);所述下安装柱包括两个单条型下安装柱(8)、一个或多个双条型下安装柱(9),所述双条型下安装柱(9)设置在两个单条型下安装柱(8)之间,所述单条型下安装柱(8)的一端具有多个卡槽(6),所述双条型下安装柱(9)的左右两端部均具有多个卡槽(6);所述单条型上安装柱(3)、双条型上安装柱(4)、单条型下安装柱(8)与双条型下安装柱(9)之间设有用于放置硅片(5)的空间,和/或相邻的双条型上安装柱(4)与相邻的双条型下安装柱(9)之间设有用于放置硅片(5)的空间。4.根据权利要求1所述的硅片用石英舟,其特征在于,每一个卡槽(6)具有前后相对设置的前侧壁与后侧壁、用于连接前侧壁与后侧壁的槽底壁,所述前侧壁与后侧壁平行设置。5.根据权利要求4所述的硅片用石英舟,其特征在于,每一个卡槽(6)的外边沿为弧形、方形或菱形结构。6.根据权利要求1所述的硅片用石英舟,其特征在于,所述前固定板(1)、上安装柱、下安装柱与后固定板(2)为一体成型结构,或所述上安装柱、下安装柱均可拆卸地设置在前固定板(1)与后固定板(2)上。7.根据权利要求1所述的硅片用石英舟,其特征在于,所述前固定板(1)与后固定板(2)均为长条形结构。8.根据权利要求1所述的硅片用石英舟,其特征在于,所述前固定板(1)和\或后固定板(2)上设置有一个或多个导热开孔。9.一种硅片放置方式,其特征在于,包括如下步骤:将权利要求1‑8任意一项所述的硅片用石英舟放置在炉管内,所述炉管为中空管状结构,具体放置方式如下:所述石英舟水平设置在炉管内,所述石英舟的下安装柱较上安装柱靠近炉管的底部,所述上安装柱上卡槽的槽口朝下,所述下安装柱上对应的卡槽的槽底朝下且槽口朝上,所述上安装柱与下安装柱对应的卡槽内设置有硅片;所述炉管的轴心线方向与通入炉管的气体的气流方向平行,每一个硅片所在平面与炉管的轴心线平