

一种硅片用石英舟及硅片放置方式.pdf
光誉****君哥
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一种硅片用石英舟及硅片放置方式.pdf
本发明公开一种硅片用石英舟及硅片放置方式,石英舟包括前后相对设置的前固定板与后固定板及设在两者之间的多个上安装柱与下安装柱,上安装柱与下安装柱一一对应设置;上安装柱与下安装柱上均设有卡槽,上安装柱上的卡槽与下安装柱上的卡槽一一对应设置,且上安装柱上卡槽槽口与下安装柱上对应的卡槽的槽口相对设置,以限制放置在上安装柱与下安装柱之间的硅片向下移动;石英舟水平设置在炉管内,炉管轴心线方向与通入炉管的气体的气流方向平行,硅片所在平面与炉管的轴心线平行,或硅片所在平面与炉管的轴心线之间具有夹角。本发明提供的硅片放置方
一种硅片加工用石英舟.pdf
本发明涉及硅片扩散技术领域,且公开了一种硅片加工用石英舟,包括挡板,所述挡板的数量为两个,两个所述挡板的外表面均固定安装有舟挑架,两个所述挡板内表面的顶部之间固定连接有上支撑杆,所述上支撑杆的顶面开设有大卡槽和小卡槽,两个所述挡板内表面的底部之间固定连接有下支撑杆,所述下支撑杆的顶部开设有大槽和小槽。该硅片加工用石英舟,通过在硅片上下支撑杆的开设两种槽长,两种槽交替分布,在插入方形硅片时,两种槽有利于擦作人方便辨识,避免误插错,此外由于两种槽长适应两种尺寸硅片,大硅片会发生因错位槽长小无法插入,小硅片错位
一种硅片扩散用石英舟的清洗与饱和工艺.pdf
本发明公开了一种硅片扩散用石英舟的清洗与饱和工艺;包括:S1、用纯水冲洗石英舟卡槽内的硅渣;S2、用纯水漂洗石英舟;S3、用氢氟酸和盐酸的混合液浸泡石英舟;S4、用纯水漂洗石英舟,漂洗至石英舟表面吸附的水呈中性;吹干残留水渍;S5、将饱和炉管升温,用大流量氮气吹扫饱和炉管;S6、将石英舟送入到炉管内;升温并通氮气,维持;S7、将炉管抽至低压状态并维持,通入氮气吹扫炉管;S8、向炉管中通入氮气和氧气氧化;S9、通氮气、氧气和小氮饱和处理;S10、重复步骤S8和S9;S11、通入氮气和氧气冷却石英舟;S12、
硅片放置架.pdf
本发明公开了一种硅片放置架,旨在提供一种硅片清洗、镀镍、光刻等各工序专用的放置架。它包括两块竖直设置且位置相对应的板块,用于固定连接板块的连接件,所述连接件和板块构成该硅片放置架的主体;其还包括竖直固定连接于硅片放置架主体上端的提手;所述板块的相对面设置有若干按一定形式排列的两两相对的竖直凹槽,该竖直凹槽的下端呈与硅片边缘形状相应的向内的圆弧,所述板块间两两相对的竖直凹槽的槽底的距离与硅片的直径相应;硅片放入竖直凹槽后,竖直凹槽下端的圆弧与硅片的边缘贴合形成支撑,且板块的下端超出硅片的边缘。本发明适用于硅
一种硅片石墨舟用冷却机构.pdf
本发明公开了一种硅片石墨舟用冷却机构,具体涉及冷却技术领域,包括工作台,所述工作台的顶部设置有载具,所述载具的内部设置有用于放置硅片石墨舟的碗形槽,所述碗形槽的底部设置有波纹凸起,所述工作台的顶部设置有固定腔,所述固定腔的内部安装有风扇,所述波纹凸起的底部设置有若干个与固定腔内部连通的通孔,所述工作台的顶端位于载具的两侧沿竖直方向上均固定连接有固定支柱。本发明能够对硅片石墨舟起到降温冷却的效果,同时,对硅片石墨舟降温过程中产生的热空气能够有效的进行利用,能够在冬季使用时对室内供暖使用,也能够对热空气中热量