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一种硅片加工用石英舟.pdf
2023-05-29
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一种硅片加工用石英舟.pdf
本发明涉及硅片扩散技术领域，且公开了一种硅片加工用石英舟，包括挡板，所述挡板的数量为两个，两个所述挡板的外表面均固定安装有舟挑架，两个所述挡板内表面的顶部之间固定连接有上支撑杆，所述上支撑杆的顶面开设有大卡槽和小卡槽，两个所述挡板内表面的底部之间固定连接有下支撑杆，所述下支撑杆的顶部开设有大槽和小槽。该硅片加工用石英舟，通过在硅片上下支撑杆的开设两种槽长，两种槽交替分布，在插入方形硅片时，两种槽有利于擦作人方便辨识，避免误插错，此外由于两种槽长适应两种尺寸硅片，大硅片会发生因错位槽长小无法插入，小硅片错位
2023-05-29
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一种石英舟与硅片接触位PN结异常的改善工艺.pdf
本发明公开了一种石英舟与硅片接触位PN结异常的改善工艺，包括以下步骤：S1、贴层插片：首先在石英舟的卡槽内壁上均匀贴设有磷源层；S2、初级扩散：将石英舟放入扩散炉内，控制炉内温度为650℃～700℃，并同时向扩散炉内通入氮气，扩散时间为5～10min；S3、次级扩散：控制炉内温度为800～900℃，并同时向炉内通入三氯氧磷气体和氧气，次级扩散时间为8～10min；S4、退火出舟：最后使扩散炉内降温，并对石英舟进行出舟，得到扩散完成的硅片。本发明通过对硅片的两级扩散作用，来实现对扩散形成PN结工艺的改善，使
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本发明公开了一种硅片扩散用石英舟的清洗与饱和工艺；包括：S1、用纯水冲洗石英舟卡槽内的硅渣；S2、用纯水漂洗石英舟；S3、用氢氟酸和盐酸的混合液浸泡石英舟；S4、用纯水漂洗石英舟，漂洗至石英舟表面吸附的水呈中性；吹干残留水渍；S5、将饱和炉管升温，用大流量氮气吹扫饱和炉管；S6、将石英舟送入到炉管内；升温并通氮气，维持；S7、将炉管抽至低压状态并维持，通入氮气吹扫炉管；S8、向炉管中通入氮气和氧气氧化；S9、通氮气、氧气和小氮饱和处理；S10、重复步骤S8和S9；S11、通入氮气和氧气冷却石英舟；S12、
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一种防止硅片崩边的处理工艺以及操作用石英舟.pdf
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