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一种靶材组件的制备方法.pdf
2023-05-10
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fa****楠吖
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一种靶材组件的制备方法.pdf
本发明提供了一种靶材组件的制备方法,所述靶材组件的制备方法包括如下步骤:(1)准备靶材、背板和保护板;(2)对步骤(1)所述靶材依次进行粗铣、精铣、抛光处理、遮蔽处理以及喷砂处理,得到处理后的靶材;(3)对步骤(2)所得处理后靶材焊接至背板,以形成靶材组件;步骤(2)所述遮蔽处理包括将保护板固定设置于靶材的非溅射面上。本发明提供的靶材组件的制备方法通过提供保护板解决了喷砂对于抛光后的靶材带来的影响,且保护板可以循环使用,节省了制备成本。
2023-05-10
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靶材组件及其制备方法.pdf
本发明提供了一种靶材组件及其制备方法。所述靶材组件包括背板，所述背板包括背面和与背面相对的固定面，在所述背板内设有水路，所述靶材组件还包括：设置于所述背板背面的凹槽，所述凹槽与水路贯通，且凹槽截面宽度大于水路截面宽度，使凹槽截面与水路截面呈阶梯状；嵌于凹槽内的盖板，所述盖板置于阶梯部，并覆盖于所述水路上方。本发明中靶材组件，凹槽截面与水路截面呈阶梯状，且嵌于所述凹槽内的盖板至于所述阶梯部，所述阶梯部给所述盖板提供足够的支撑力，从而有效加强盖板覆盖于所述凹槽上方的固定强度。
2023-05-28
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一种靶材、靶材组件及其制作方法.pdf
本发明提供了一种靶材，由两个或两个以上的部件经过焊接步骤形成，靶材包括靶材部和强化部，强化部的成分与靶材部的成分不同，强化部在靶材的焊接步骤中形成且连接至靶材部以提高了靶材的强度，强化部处于靶材的背面，且强化部覆盖靶材部的背面的至少一部分。靶材的强化部由高纯度金属与该种金属的合金经过焊接而均匀混合形成，具有强化部可以有效加强靶材的强度尤其是水冷面的强度。此外靶材是根据靶材本体在使用过程中正面受到侵蚀后的轮廓线而调整相应的焊接深度，使得在保证靶材本体使用率的情况下尽可能提高靶材的强化部的比例，从而使得靶材在
2023-08-19
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一种靶材、靶材制备方法及装置.pdf
本发明是关于一种靶材、靶材制备方法及装置。该靶材包括：背衬管；形成于背衬管的外表面的靶材体；其中，靶材体包括：两个端段和中间段；其中，所述端段的第一靶材厚度大于所述中间段的第二靶材厚度。该技术方案增加了靶材体的端段的厚度，延长靶材在使用过程中的消耗时长，从而防止靶材体两端先耗光，提高靶材的利用率。
2023-12-05
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本发明提供了一种靶材制备装置，包括烧结炉体、复合加热模具、加压装置和加热装置，所述烧结炉体的内腔为真空或气氛保护腔体，复合加热模具置于烧结炉体的内腔内；所述复合加热模具设有内腔，被加工的靶材粉末置于复合加热模具的内腔内；所述加压装置与复合加热模具连接，且加热装置与加压装置连接，可直接对样品加热，复合加热模具可以单独加热。本发明还提供了由上述装置实现的靶材加工方法。本发明可用于制造大尺寸、高熔点、高密度及组成成分的熔点差别较大的合金靶材，同时本发明具有设备简单、烧结时间短、能量效率高、设备及模具损耗小、成本
2023-06-20
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