一种可调节镀膜均匀性的镀膜设备.pdf
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一种可调节镀膜均匀性的镀膜设备.pdf
本实用新型公开了一种可调节镀膜均匀性的镀膜设备,包括镀膜缸,镀膜缸的底部安装有底座,镀膜缸的外侧安装有液压缸,液压缸的顶部安装有密封盖,密封盖的顶部安装有齿轮箱,齿轮箱的顶部安装有电机,齿轮箱的底部连接有旋转杆,旋转杆的底部安装有第一轴承,第一轴承安装在支撑架的顶部上,旋转杆上焊接有若干个工件悬挂板,工件悬挂板上安装有若干个第二轴承,第二轴承上安装有挂钩,镀膜缸的底部安装有底座,该镀膜设备可以快速对工件进行取放,可以对工件进行旋转镀膜,喷头的设置可以让工件自身旋转,从而提高镀膜的均匀性,提高镀膜质量,整个
一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒.pdf
本实用新型公开了一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒,包括:滚筒本体、用于承载限位滚筒本体的承接机构及承接机构外设置其传动作用的传动齿轮;所述滚筒本体的内侧中心对称设置有定位挡板;所述承接机构设置在滚筒本体的外侧,且承接机构由连接板、支撑杆、限位块和加热管构成。该均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒,便于对该滚筒进行拆装更换,以便达到方便清洗,并便于减少对镀膜物件转动产生的损伤,使之使用寿命长的目的,便于使滚筒本体带动其内容纳腔的物件进行转动,以此通过提高待镀膜物件与成膜物质接触面积,来使待镀膜物件镀膜均匀,并提高镀膜效
一种均匀镀膜的方法.pdf
本发明提供的一种均匀镀膜的方法,在真空炉腔中的旋转装置上安装有工件盘,在往复运动装置上安装蒸发源、使得蒸发源可垂直于工件盘旋转轴线的延长线径向移动,往复运动装置固定于炉腔;将产品固定在工件盘上后,在旋转装置带动工件盘转动的同时,往复运动装置带动蒸发源做径向往复运动,从而完成对产品的镀膜。本发明可以较好的避免修正挡板和行星工件盘的缺陷,通过结合光学精密单面抛光的摆动理论,来达到较好的镀膜均匀性。
一种镀膜设备及镀膜方法.pdf
本发明涉及溶液镀膜技术领域,尤其涉及一种镀膜设备,包括储备池、工作池、过滤池、提拉机构和控制单元,所述储备池用于配备合格镀膜液并将合格镀膜液流入工作池,工作池用于进行镀膜作业并将不合格镀膜液流入过滤池,过滤池接收来自工作池的不合格镀膜液并进行过滤处理成合格镀膜液后重新输送至工作池,提拉机构设置在工作池中,用于对工件进行上下提拉进行镀膜作业,工作池中设置有对温度、黏度、电导率、配比进行监控的控制单元。与现有技术相比,本发明的镀膜设备可以及时检测出镀膜液的性质变化,并且能及时改变镀膜液的相关性质,使镀膜液的性
一种镀膜设备及镀膜方法.pdf
本发明涉及一种镀膜设备及镀膜方法,其中镀膜设备包括真空室(1),设置在所述真空室(1)中的靶材基座(11)和基底夹具(12),所述靶材基座(11)设置于所述基底夹具(12)的上方;还包括电极切换装置(13);所述电极切换装置(13)与所述靶材基座(11)相互连接,且所述靶材基座(11)为偶数个。通过交替变换溅射靶材的电极性,从而实现本发明在镀膜过程中,使带正电荷的等离子体轮流轰击电极性为阴极的溅射靶材,从而避免的长时间轰击同一个溅射靶材而导致溅射靶材“中毒”,进而避免了在镀膜过程中,溅射靶材的失效,有效提