一种镀膜设备及镀膜方法.pdf
王秋****哥哥
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一种镀膜设备及镀膜方法.pdf
本发明涉及溶液镀膜技术领域,尤其涉及一种镀膜设备,包括储备池、工作池、过滤池、提拉机构和控制单元,所述储备池用于配备合格镀膜液并将合格镀膜液流入工作池,工作池用于进行镀膜作业并将不合格镀膜液流入过滤池,过滤池接收来自工作池的不合格镀膜液并进行过滤处理成合格镀膜液后重新输送至工作池,提拉机构设置在工作池中,用于对工件进行上下提拉进行镀膜作业,工作池中设置有对温度、黏度、电导率、配比进行监控的控制单元。与现有技术相比,本发明的镀膜设备可以及时检测出镀膜液的性质变化,并且能及时改变镀膜液的相关性质,使镀膜液的性
一种镀膜设备及镀膜方法.pdf
本发明涉及一种镀膜设备及镀膜方法,其中镀膜设备包括真空室(1),设置在所述真空室(1)中的靶材基座(11)和基底夹具(12),所述靶材基座(11)设置于所述基底夹具(12)的上方;还包括电极切换装置(13);所述电极切换装置(13)与所述靶材基座(11)相互连接,且所述靶材基座(11)为偶数个。通过交替变换溅射靶材的电极性,从而实现本发明在镀膜过程中,使带正电荷的等离子体轮流轰击电极性为阴极的溅射靶材,从而避免的长时间轰击同一个溅射靶材而导致溅射靶材“中毒”,进而避免了在镀膜过程中,溅射靶材的失效,有效提
镀膜设备及其镀膜方法.pdf
一镀膜装置包括一具有一反应腔的腔室体,一支撑架,一单体释放源以及一等离子激发源。所述单体释放源具有至少一释放进口用于引入膜层形成材料进入所述腔室体的所述反应腔。所述等离子激发源被配置于所述腔室体的所述反应腔以激发所述膜层形成材料。所述支撑架被设置以支撑一基材,其中所述支撑架被操作地在所述反应腔内移动,以引导所述基材交替地移动靠近所述单体释放源和所述等离子激发源,以避免所述膜层形成材料过度分解。
镀膜设备及其镀膜方法.pdf
镀膜装置,用于涂覆多个基材,包括一具有一反应腔的腔室体,一支撑架,一单体释放源以及一等离子激发源。所述单体释放源具有至少一释放进口用于引入膜层形成材料进入所述腔室体的所述反应腔。所述等离子激发源被配置于所述腔室体的所述反应腔的一中间区域以激发所述膜层形成材料,其中多个所述基材被适应性地布置于在所述腔室体内的所述等离子激发源的周围,以增加在所述基材的所述表面的镀膜均匀性和提供沉积速度。
镀膜设备及其镀膜方法.pdf
本发明提供一种镀膜设备及镀膜方法,所述镀膜装置包含一反应腔,一支撑架,一单体释放源以及一等离子激发源。所述支撑架具有一支撑区以供支撑所述基材。所述单体释放源具有一释放进口以供引出一膜层形成材料进入所述反应腔。所述等离子激发源被安置以供激活所述膜层形成材料,其中所述支撑架的所述支撑区被定位于介于所述单体释放源和所述等离子激发源之间,使得所述膜层被均匀地形成于所述基材的表面,且沉积速度加快。