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公自转式传动机构及镀膜设备.pdf
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公自转式传动机构及镀膜设备.pdf
本实用新型涉及镀膜设备技术领域,公开了一种公自转式传动机构及镀膜设备,包括公转底托和自转底托,自转底托能随公转底托的自转发生公转,公转底托自转时通过传动组件带动自转底托发生自转;自转底托上设有用于放置镀件的放置槽,放置槽为通槽,当镀件置于放置槽内时,镀件的底部与公转底托接触;当自转底托发生自转时,镀件与公转底托之间形成的摩擦力驱使镀件发生自转。通过镀件与公转底托之间的相对摩擦形成摩擦力以驱使镀件发生自转,有效地降低了由于镀件之间发生的相互遮挡导致镀膜不充分的情形,进而提高了镀膜质量。
2023-05-01
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用于真空镀膜的公自转式镀膜设备.pdf
用于真空镀膜的公自转式镀膜设备，炉体内设有镀膜炉腔，镀膜炉腔的内部设置有公转盘转动机构和自转齿轮机构，内壁一侧连接有靶材，本发明的公转盘转动机构通过采用行星齿轮机构驱动挂架托盘实现AR固定架组件公转，而自转齿轮机构通过曲柄摇杆机构使齿条与自转齿轮相啮合，实现自转下轴旋转带动挂具180度翻身进行反面镀膜，并通过自转定位器使挂具达到准确翻身的目的；由于曲柄摇杆机构由旋转缸控制，能够使其选择性均匀地镀膜，实现在同一炉批次内自动翻面，避免开门翻身再抽真空升温需要消耗的时间和电能，有效节省时间和电能，并提高了双面镀
2023-06-16
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真空镀膜的自转式工架机构.pdf
本发明涉及一种真空镀膜的自转式工架机构，包括电机输出轴的主动齿轮及与其啮合的大齿盘，在大齿盘同一圆周上设有若干只工架小齿轮副，工架小齿轮与固定大齿轮啮合，工架小齿轮副的小轴中心孔插接工架，所述大齿盘通过限位导轮与固定大齿轮内圈滑动连接，所述大齿盘通过若干支柱与公转上顶盘连接，其特征是：所述工架上设有工件自转机构。其特征是：所述工架的主轴键接有置于底盘上方的工件自转机构。有益效果：在真空镀膜的过程中，被镀工件在水平方向持续公转和自转，提高了薄膜质量的稳定性。合格率由30%提高到85%以上。
2023-10-21
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传动机构及应用该传动机构的镀膜装置.pdf
本发明公开一种传动机构及应用其的镀膜装置，镀膜装置包含腔室提供活性物种，在腔室内对称设有多个传动机构，传动机构包括转轴、传动轮、多个滑件、第一弹性件、第二弹性件及封套元件，转轴具有锥形轴向端部，传动轮具有轴孔，转轴的锥形轴向端部同轴穿设于轴孔，多个滑件以传动轮轴心为中心沿传动轮径向放射状设置于传动轮，第一弹性件套设于多个滑件外，第二弹性件相对于该第一弹性件往该第一轴向端部的方向而套设于传动轮外，封套元件具有开口；传动轮往复移动时，可驱动滑件沿传动轮径向滑移，进而改变第一弹性件外径尺寸，使封套元件开口形成开
2023-10-20
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镀膜设备以及镀膜机构.pdf
本申请公开了一种镀膜设备以及镀膜机构，该镀膜设备包括：镀膜机构，包括第一炉管、第二炉管以及第三炉管，第一炉管、第二炉管分别用于在基板的第一表面依次形成第一膜层、第二膜层，第三炉管用于在第二炉管形成第二膜层后，在基板的第二表面形成第三膜层，其中，第二膜层与第三膜层的形成时间相等且均是第一膜层的形成时间的第一整数倍，第二炉管与第三炉管的数量相等且均是第一炉管的数量的第二整数倍，第一整数与第二整数相等；翻面机构，用于在第二炉管形成第二膜层后，将基板进行翻面；传送机构，用于将基板在镀膜机构和翻面机构之间传送。本申
2023-06-15
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