用于真空镀膜的公自转式镀膜设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110172677A(43)申请公布日2019.08.27(21)申请号201910601857.1(22)申请日2019.07.05(71)申请人佛山王氏航空光学科技有限公司地址528225广东省佛山市南海区狮山镇经济开发区北园(测试车间)(72)发明人王越民王焘骏(74)专利代理机构北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙)11368代理人郭官厚(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)C23C16/458(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图5页(54)发明名称用于真空镀膜的公自转式镀膜设备(57)摘要用于真空镀膜的公自转式镀膜设备，炉体内设有镀膜炉腔，镀膜炉腔的内部设置有公转盘转动机构和自转齿轮机构，内壁一侧连接有靶材，本发明的公转盘转动机构通过采用行星齿轮机构驱动挂架托盘实现AR固定架组件公转，而自转齿轮机构通过曲柄摇杆机构使齿条与自转齿轮相啮合，实现自转下轴旋转带动挂具180度翻身进行反面镀膜，并通过自转定位器使挂具达到准确翻身的目的；由于曲柄摇杆机构由旋转缸控制，能够使其选择性均匀地镀膜，实现在同一炉批次内自动翻面，避免开门翻身再抽真空升温需要消耗的时间和电能，有效节省时间和电能，并提高了双面镀膜效率，有效保障了双面镀膜的均匀性和一致性。CN110172677ACN110172677A权利要求书1/2页1.用于真空镀膜的公自转式镀膜设备，包括有炉体(1)，该炉体(1)内设有镀膜炉腔(18)，其特征在于：所述镀膜炉腔(18)的内部设置有公转盘转动机构(21)和自转齿轮机构(22)，内壁一侧连接有靶材(20)，该公转盘转动机构(21)连接于炉体(1)的内侧底部，其包括有固定连接炉体(1)的底盘(23)，所述底盘(23)的上方均匀排列连接有第一支撑柱(24)若干组，并通过第一支撑柱(24)连接有不动大齿盘(25)，该不动大齿盘(25)的外周均匀围绕啮合有小齿轮(26)若干组，并形成行星齿轮机构，所述小齿轮(26)的底部中心均通过延伸穿设于公转盘(27)，顶端中心均延伸穿设于挂架托盘(28)，该公转盘(27)的底部固定连接有传动齿轮(29)，所述传动齿轮(29)的下方可转动连接底盘(23)，上方通过均匀排列的第二支撑柱(30)连接挂架托盘(28)，该挂架托盘(28)的顶端面围绕通过公转支撑杆(8)连接有公转上盘(5)，所述公转上盘(5)与挂架托盘(28)之间可拆卸连接有AR固定架组件(19)若干组，该AR固定架组件(19)依次围绕设置于挂架托盘(28)的边沿；所述自转齿轮机构(22)设置于炉体(1)的内侧底部与底盘(23)之间，其包括有旋转缸(16)，该旋转缸(16)固定嵌设于炉体(1)的外侧底部，其旋转轴穿过炉体(1)并设置于镀膜炉腔(18)的内部，所述旋转缸(16)的旋转轴连接有曲柄摇杆机构(17)，该曲柄摇杆机构(17)的另一端连接有导向滑块(14)，所述导向滑块(14)的下方连接有导向轨(13)，该导向轨(13)固定连接于炉体(1)的内侧底部，所述导向滑块(14)的上方固定连接有齿条(12)，该齿条(12)与自转齿轮(11)相啮合，所述自转齿轮(11)套设于AR固定架组件(19)的底端，且该AR固定架组件(19)于自转齿轮(11)的上方均固定穿设有自转定位器(10)。2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的公自转式镀膜设备，其特征在于：所述炉体(1)的内侧顶端对应公转上盘(5)的中心延伸设置有上支撑座(2)，并通过其活动连接公转上盘(5)。3.根据权利要求2所述的用于真空镀膜的公自转式镀膜设备，其特征在于：所述上支撑座(2)的下方连接有离子源除尘装置(31)，该离子源除尘装置(31)的外周可转动连接有挡板轨道(3)，并通过挡板轨道(3)承托离子源除尘装置(31)，所述挡板轨道(3)的上端边沿固定连接炉体(1)的内侧顶端。4.根据权利要求3所述的用于真空镀膜的公自转式镀膜设备，其特征在于：所述离子源除尘装置(31)包括有等离子除尘基座(4)，该等离子除尘基座(4)的外周通过挡板轨道(3)使其限位设置于上支撑座(2)的下方，所述等离子除尘基座(4)的下方外周围绕连接公转上盘(5)，底端连接有离子源发散杆(7)若干组，该离子源发散杆(7)的另一端连接底盘(23)。5.根据权利要求4所述的用于真空镀膜的公自转式镀膜设备，其特征在于：所述等离子除尘基座(4)的底端连接离子源发散杆(7)有四组，其呈十字形状均匀分布设置。6.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的公自转式镀膜设备，其特征在于：所述AR固定架组件(19)包括有挂架(32)及连接于挂架(32)两端的自转下轴(9)和定位上轴(6)，该挂架(32)的上方通过定位上轴(6)活动穿