一种具有多向出风结构的晶圆片分拣设备送风装置.pdf

本实用新型提出一种具有多向出风结构的晶圆片分拣设备送风装置,包括鼓风机构及出风机构,鼓风机构与出风机构连通,可通过出风机构向晶圆片分拣设备内部送风,出风机构底部开设有竖向出风口,竖向出风口指向出风机构下方,鼓风机构可通过竖向出风口向晶圆片分拣设备送风,出风机构侧部还开设有横向出风口,横向出风口指向出风机构侧方,鼓风机构可通过横向出风口向晶圆片分拣设备送风。该送风装置在出风机构中开设竖向出风口及横向出风口,可在多个方向对晶圆分拣设备内部进行鼓风除尘,减少送风死角,同时在出风机构中安装过滤器,对送风过程进行净化除尘处理,从而提高晶圆分拣设备内部的洁净度,减少对晶圆片表面的损伤,提高晶圆片质量。