一种具有分选功能的晶圆片除静电装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113990776A(43)申请公布日2022.01.28(21)申请号202111114388.4(22)申请日2021.09.23(71)申请人江苏亚电科技有限公司地址225500江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号(72)发明人钱诚李刚吴清(74)专利代理机构北京商专润文专利代理事务所(普通合伙)11317代理人陈平(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)H01L21/677(2006.01)H01L21/02(2006.01)H01L21/66(2006.01)H05F3/04(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图9页(54)发明名称一种具有分选功能的晶圆片除静电装置(57)摘要本发明公开了一种具有分选功能的晶圆片除静电装置，包括框架，所述框架一侧内壁设置有下料机构，所述下料机构包括支撑架、支撑滑轨、电机一、丝杆一、升降块、晶圆盒，所述框架内壁上连接有两个所述支撑架，所述支撑架顶部连接有所述支撑滑轨，所述支撑滑轨内设置有所述丝杆一，所述丝杆一上套设有所述升降块，所述升降块之间连接有所述晶圆盒。本发明设置有推料机构，并通过驱动机构使得推料机构能够循环进行推料操作，实现自动上料，通过接料机构将晶圆片送至除静电机构内，自动进行除静电，然后由分选机构检测晶圆片是否合格，不合格的晶圆片将重新进行除静电，无需人工操作，大大节省人力劳动，提高效率。CN113990776ACN113990776A权利要求书1/2页1.一种具有分选功能的晶圆片除静电装置，包括框架(1)，所述框架(1)一侧内壁设置有下料机构(2)，所述下料机构(2)包括支撑架(201)、支撑滑轨(202)、电机一(203)、丝杆一(204)、升降块(205)、晶圆盒(206)，所述框架(1)内壁上连接有两个所述支撑架(201)，所述支撑架(201)顶部连接有所述支撑滑轨(202)，所述支撑滑轨(202)内设置有所述丝杆一(204)，所述丝杆一(204)上套设有所述升降块(205)，所述升降块(205)之间连接有所述晶圆盒(206)，所述晶圆盒(206)位于两个所述支撑滑轨(202)之间，所述框架(1)顶部连接有所述电机一(203)，所述电机一(203)的输出轴与所述丝杆一(204)连接，其特征在于：所述支撑架(201)底部设置有推料机构(3)，所述框架(1)一侧内壁上设置有驱动机构(4)，所述驱动机构(4)用于驱动所述推料机构(3)活动，所述框架(1)内顶壁并位于所述支撑架(201)的一侧设置有除静电机构(5)，所述框架(1)内底壁并位于所述除静电机构(5)下方设置有接料机构(6)，所述接料机构(6)远离所述下料机构(2)的一侧设置有分选机构(7)，所述推料机构(3)包括滑杆(301)、支撑块(302)、滑套(303)、活动块(304)、平移杆(305)、支撑杆(306)、固定块(307)、推料杆(308)，所述支撑架(201)底部连接有两个所述支撑块(302)，所述支撑块(302)之间连接有所述滑杆(301)，所述滑杆(301)上套有所述滑套(303)，所述滑套(303)底部连接有所述平移杆(305)，所述平移杆(305)上套有所述活动块(304)，所述活动块(304)一侧连接有所述支撑杆(306)，所述支撑杆(306)顶部连接有所述固定块(307)，所述固定块(307)顶部连接有所述推料杆(308)，所述推料杆(308)位于所述支撑架(201)之间。2.根据权利要求1所述的一种具有分选功能的晶圆片除静电装置，其特征在于：所述驱动机构(4)包括电机座(401)、电机二(402)、转动块(403)、转动杆(404)、连接头(405)、弹簧(406)，所述框架(1)内壁上连接有所述电机座(401)，所述电机座(401)顶部连接有所述电机二(402)，所述电机二(402)的输出轴连接有所述转动块(403)，所述转动块(403)内连接有所述转动杆(404)，所述转动杆(404)一端连接有所述连接头(405)，所述连接头(405)与所述活动块(304)连接，所述转动杆(404)上套设有所述弹簧(406)，所述弹簧(406)位于所述转动块(403)和所述连接头(405)之间。3.根据权利要求1所述的一种具有分选功能的晶圆片除静电装置，其特征在于：所述除静电机构(5)包括除静电箱(501)、离子风枪(502)、喷嘴(503)、真空泵(504)，所述框架(1)内顶壁连接有所述除静电箱(501)，所述除静电箱(501)内设置有所述离子风枪(502)，所述离子风枪(502)底部连接有所述喷嘴(503)，所述除静电箱(501)一侧连接有所述真空泵(504)。4.根据权利要求1所述的一