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具快拆功能的粉末原子层沉积设备.pdf
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具快拆功能的粉末原子层沉积设备.pdf
本发明提供一种具快拆功能的粉末原子层沉积设备,主要包括一真空腔体、一轴封装置及一驱动单元,其中驱动单元连接轴封装置。真空腔体连接轴封装置,并于真空腔体与轴封装置之间形成一密闭空间。至少一抽气管线位于轴封装置内,流体连接密闭空间,其中抽气管线用以抽出密闭空间内的气体,以将真空腔体固定在轴封装置上,使得驱动单元可透过轴封装置带动真空腔体转动,以利于在粉末的表面形成厚度均匀的薄膜。抽气管线停止抽气后,可快速将完成原子层沉积的真空腔体由轴封装置上卸下,以提高制程效率及使用时的便利性。
2023-04-19
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