防止内壁沾黏的粉末原子层沉积装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115247256A(43)申请公布日2022.10.28(21)申请号202110454248.5(22)申请日2021.04.26(71)申请人鑫天虹(厦门)科技有限公司地址361101福建省厦门市厦门火炬高新区(翔安)产业区洪溪南路9号A栋102(72)发明人林俊成古家诚(74)专利代理机构北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司11139专利代理师孙皓晨(51)Int.Cl.C23C16/44(2006.01)C23C16/455(2006.01)B82Y40/00(2011.01)权利要求书2页说明书7页附图4页(54)发明名称防止内壁沾黏的粉末原子层沉积装置(57)摘要本发明提供一种防止内壁沾黏的粉末原子层沉积装置，主要包括一真空腔体、一轴封装置、一驱动单元及一敲击装置。驱动单元通过轴封装置连接真空腔体的后壁，并带动真空腔体转动。轴封装置包括一外管体及一内管体，其中内管体设置在外管体的容置空间内。敲击装置包括一轮体及一敲击单元，其中轮体连接轴封装置或真空腔体。轮体的轮面上设置至少一凸起部，敲击单元则接触轮体的凸起部及轮面。当轮体转动时敲击单元会由凸起部移动至轮面，并敲击轮体的轮面或真空腔体，以避免反应空间内的粉末沾黏在真空腔体的内表面或内壁。CN115247256ACN115247256A权利要求书1/2页1.一种防止内壁沾黏的粉末原子层沉积装置，其特征在于，包括：一真空腔体，包括一反应空间用以容置复数颗粉末；一轴封装置，连接该真空腔体，并包括一外管体及一内管体，其中该外管体具有一容置空间，用以容置该内管体；一驱动单元，连接该轴封装置，并经由该轴封装置带动该真空腔体转动；至少一抽气管线，位于该内管体内，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以抽出该反应空间内的一气体；至少一进气管线，位于该内管体内，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以将一前驱物气体输送至该反应空间；及一敲击装置，包括：一轮体，连接该轴封装置或该真空腔体，并随着该轴封装置转动，其中该轮体的一轮面上设置至少一凸起部；及一敲击单元，与该轮体相邻，其中该轮体转动时该敲击单元会在该轮体的该凸起部及该轮面之间位移，并敲击该轮体的该轮面或该真空腔体。2.根据权利要求1所述的防止内壁沾黏的粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该敲击单元包括一敲击部及一固定部，该敲击部连接该固定部，并用以相对于该固定部及该轮体位移。3.根据权利要求2所述的防止内壁沾黏的粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该敲击单元包括一弹性单元连接该敲击部，该弹性单元对该敲击单元提供朝向该轮体的一恢复力。4.根据权利要求2所述的防止内壁沾黏的粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该敲击单元包括一缓冲部连接该敲击部，该敲击部经由该缓冲部敲击该真空腔体或该轮体。5.根据权利要求1所述的防止内壁沾黏的粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该凸起部包括一第一表面及一第二表面，该第一表面及该第二表面的一侧连接该轮体的该轮面，而该第一表面及该第二表面的另一端彼此连接，且该第二表面与该轮体的该轮面之间的夹角小于90度。6.根据权利要求1所述的防止内壁沾黏的粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该进气管线包括至少一非反应气体输送管线及至少一反应气体输送管线，该非反应气体输送管线用以将一非反应气体输送至该反应空间，以吹动该反应空间内的该粉末，而该反应气体输送管线则用以将该前驱物气体输送至该反应空间。7.根据权利要求6所述的防止内壁沾黏的粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该非反应气体输送管线包括一延伸管线，该延伸管线位于该反应空间内。8.根据权利要求7所述的防止内壁沾黏的粉末原子层沉积装置，其特征在于，包括一过滤单元位于该内管体连接该反应空间的一端，该抽气管线经由该过滤单元流体连接该反应空间，而该延伸管线穿过该过滤单元。9.根据权利要求1所述的防止内壁沾黏的粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该内管体由该外管体的该容置空间延伸至该真空腔体的该反应空间，并在该反应空间内形成一凸出管部。10.根据权利要求1所述的防止内壁沾黏的粉末原子层沉积装置，其特征在于，其中该2CN115247256A权利要求书2/2页真空腔体包括一前壁、一后壁及一侧壁，该前壁面对该后壁，且该前壁经由该侧壁连接该后壁，并于该前壁、后壁及侧壁之间形成该反应空间，该敲击装置与该真空腔体的该后壁相邻。3CN115247256A说明书1/7页防止内壁沾黏的粉末原子层沉积装置技术领域[0001]本发明有关于一种防止内壁沾黏的粉末原子层沉积装置，包括一敲击装置与真空腔体相邻，真空腔体转动时会驱动敲击装置敲击真空腔体，以避免反应空间内的粉末沾黏在真空腔体的内表面或内壁。背景技术[0002]奈米颗粒(nanopa