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一种真空镀膜设备.pdf
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一种真空镀膜夹具及真空镀膜设备.pdf
本发明涉及一种真空镀膜夹具及真空镀膜设备，包括工件挂架和挂架安装座；工件挂架，设有两个以上，其上设有工件挂装结构，工件挂装结构供待镀膜工件挂装；挂架安装座，用于固定到真空镀膜机的炉腔内；挂架安装座上设有挂架取放结构，挂架取放结构供工件挂架可拆连接以供工件挂架取出和放入炉腔，本发明提供的真空镀膜夹具，在镀膜作业时，可在炉门外将工件安装到工件挂装结构上，然后再将工件挂架整体安装于炉腔内的挂架安装座上，在镀膜完成后将工件挂架整体拆下，换另一批工件挂架，从而能够实现不同批次工件的交替式生产，提高了真空镀膜的作业效
2023-06-16
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一种真空镀膜设备.pdf
本发明公开了一种真空镀膜设备,包括加热装置、载板装置、特气喷淋装置和工艺腔体，载板装置装载硅片，工艺腔体包括镀膜真空腔体一、镀膜真空腔体二和载板转换真空腔体，载板转换真空腔体连接在镀膜真空腔体一和镀膜真空腔体二之间，载板转换真空腔体用于硅片镀膜面的转换，工艺腔体的各真空腔体之间通过阀腔连接，本发明通过可双面镀膜的载板装置和载板转换真空腔体，实现了在一条密闭生产线上硅片双面镀膜的功能，并在镀膜过程中，硅片载板转换真空腔体实现硅片镀膜面的转换，硅片不再与大气接触，杜绝了空气中水蒸气、氧气、灰尘等因素对硅片性能
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一种真空镀膜设备.pdf
本申请涉及一种真空镀膜设备,包括加热装置、工架以及底架,所述加热装置设置在所述底架的中部,所述工架沿所述底架周向设置,所述加热装置包括竖向正极以及多个竖向负极,所述竖向正极与竖向负极之间放置有靶材,所述工架上设置有工件。本申请具有提高镀膜效率的效果。
2023-04-18
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2023-09-03
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本发明涉及真空镀膜领域，具体的说是一种光学真空镀膜设备，包括支撑杆和基片夹具；所述基片夹具包括夹具基座、基座卡扣、基座固定板、基座固定片、推杆和夹具机构；所述夹具基座的顶端中部固定安装有基座卡扣，且夹具基座的一侧固定安装有基座固定板；所述基座固定板的内侧表面固定安装有基座固定片；所述夹具基座的另一侧内嵌有夹具机构，且夹具基座与基座固定板相邻的一侧底部内嵌有推杆；所述夹具机构包括限位环、轴承、夹具杆、弹性片、夹具卡扣和夹具卡槽；所述轴承固定安装于夹具基座的内腔，且轴承的两侧分别铰接有夹具杆；所述限位环与夹具
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