一种真空镀膜夹具及真空镀膜设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111041444A(43)申请公布日2020.04.21(21)申请号201911208306.5(22)申请日2019.11.30(71)申请人河南航天精工制造有限公司地址464000河南省信阳市高新技术产业开发区北环路13号(72)发明人郭绕龙张玲玲孙晓军王文超姚远徐家强李常业董吉伟(74)专利代理机构郑州睿信知识产权代理有限公司41119代理人胡晓东尹明璐(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)C23C14/24(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图5页(54)发明名称一种真空镀膜夹具及真空镀膜设备(57)摘要本发明涉及一种真空镀膜夹具及真空镀膜设备，包括工件挂架和挂架安装座；工件挂架，设有两个以上，其上设有工件挂装结构，工件挂装结构供待镀膜工件挂装；挂架安装座，用于固定到真空镀膜机的炉腔内；挂架安装座上设有挂架取放结构，挂架取放结构供工件挂架可拆连接以供工件挂架取出和放入炉腔，本发明提供的真空镀膜夹具，在镀膜作业时，可在炉门外将工件安装到工件挂装结构上，然后再将工件挂架整体安装于炉腔内的挂架安装座上，在镀膜完成后将工件挂架整体拆下，换另一批工件挂架，从而能够实现不同批次工件的交替式生产，提高了真空镀膜的作业效率。CN111041444ACN111041444A权利要求书1/1页1.一种真空镀膜夹具，其特征在于：包括工件挂架和挂架安装座；工件挂架，设有两个以上，其上设有工件挂装结构，工件挂装结构供待镀膜工件挂装；挂架安装座，用于固定到真空镀膜机的炉腔内；挂架安装座上设有挂架取放结构，挂架取放结构供工件挂架可拆连接，以使得各工件挂架能够单独地从挂架安装座上取下和安装到挂架安装座上。2.根据权利要求1所述的真空镀膜夹具，其特征在于：挂架安装座包括上安装座和下安装座；上安装座的底面和工件挂架的顶部的其中一个上设有上插接腔，另一个上设有上插接凸起，上插接腔供上插接凸起插入以在水平方向上形成限位；下安装座的顶面和工件挂架的底部的其中一个上设有下插接腔，另一个上设有下插接凸起，下插接腔供下插接凸起插入以在水平方向上形成限位；上插接凸起和上插接腔供工件挂架以倾斜形式与上安装座形成插接；上插接凸起与上插接腔完全插接到位时，下插接凸起与下插接腔在上下方向上相互分离，使得下插接凸起与下插接腔能够在水平方向上对齐进而在工件挂架下移时形成插接；下插接凸起与下插接腔的插接适配长度小于上插接凸起与上插接腔的插接适配长度，使得下插接凸起与下插接腔完全插接到位时，工件挂架支撑在下安装座上，且上插接凸起与上插接腔仍处于插接状态。3.根据权利要求2所述的真空镀膜夹具，其特征在于：上插接凸起和下插接凸起均设置在工件挂架上。4.根据权利要求2或3所述的真空镀膜夹具，其特征在于：下插接凸起为台阶结构，下插接凸起的顶部尺寸小于底部尺寸而形成台阶，台阶形成支撑面，支撑面用于支撑到下插接腔的腔口口沿上，使得工件挂架支撑在下安装座上。5.根据权利要求2或3所述的真空镀膜夹具，其特征在于：下插接凸起和/或上插接凸起为插接柱，对应的下插接腔和/或上插接腔为插接孔。6.根据权利要求2或3所述的真空镀膜夹具，其特征在于：所述上安装座和下安装座为环体结构。7.根据权利要求2或3所述的真空镀膜夹具，其特征在于：所述工件挂架为框架结构，框架结构上设有支撑梁，所述工件挂装结构设置在支撑梁上；各支撑梁沿上下方向间隔布置，相邻两个支撑梁沿上下方向的距离可调。8.根据权利要求7所述的真空镀膜夹具，其特征在于：所述支撑梁的两端均设有卡装槽，所述支撑梁通过卡装槽可拆卡装到框架结构上。9.根据权利要求8所述的真空镀膜夹具，其特征在于：所述工件挂架为圆弧框架，各工件挂架围成多边形或圆形。10.一种真空镀膜设备，包括炉腔，炉腔的底部设有转盘，所述转盘上固定有真空镀膜夹具，其特征在于：所述真空镀膜夹具如权利要求1-9任一项所述的真空镀膜夹具。2CN111041444A说明书1/6页一种真空镀膜夹具及真空镀膜设备技术领域[0001]本发明属于真空镀膜技术领域，具体涉及一种真空镀膜夹具及真空镀膜设备。背景技术[0002]真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件（金属、半导体或绝缘体）表面而形成薄膜的一种方法。真空镀膜装置包括镀膜腔体，镀膜腔体的底部固定连接有驱动机构，驱动机构连接镀膜腔体底部的转盘并带动转盘转动，转盘上固定有真空镀膜夹具，夹具上固定有工件，从而使工件在真空镀膜腔体内转动充分镀膜。[0003]在采用真空镀膜方式制备高耐腐蚀涂层紧固件产品时，为了确保紧固件表面耐腐蚀涂层的均匀和完整，就必须确保在镀膜过程中紧固件基体表面裸露无叠覆、遮挡，这就要求紧固件产品在镀膜炉