一种光学真空镀膜设备.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115074691A(43)申请公布日2022.09.20(21)申请号202210799100.X(22)申请日2022.07.06(71)申请人廖培泽地址276800山东省日照市东港区烟台路99号(72)发明人不公告发明人(74)专利代理机构安徽顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙)34120专利代理师潘忠国(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图7页(54)发明名称一种光学真空镀膜设备(57)摘要本发明涉及真空镀膜领域，具体的说是一种光学真空镀膜设备，包括支撑杆和基片夹具；所述基片夹具包括夹具基座、基座卡扣、基座固定板、基座固定片、推杆和夹具机构；所述夹具基座的顶端中部固定安装有基座卡扣，且夹具基座的一侧固定安装有基座固定板；所述基座固定板的内侧表面固定安装有基座固定片；所述夹具基座的另一侧内嵌有夹具机构，且夹具基座与基座固定板相邻的一侧底部内嵌有推杆；所述夹具机构包括限位环、轴承、夹具杆、弹性片、夹具卡扣和夹具卡槽；所述轴承固定安装于夹具基座的内腔，且轴承的两侧分别铰接有夹具杆；所述限位环与夹具基座的内腔滑动连接，通过夹具机构的状态变化，实现了对不同形状的镀膜工件进行夹取镀膜。CN115074691ACN115074691A权利要求书1/1页1.一种光学真空镀膜设备，其特征在于：包括支撑杆(1)和基片夹具(2)；所述基片夹具(2)包括夹具基座(21)、基座卡扣(22)、基座固定板(23)、基座固定片(24)、推杆(25)和夹具机构(26)；所述夹具基座(21)的顶端中部固定安装有基座卡扣(22)，且夹具基座(21)的一侧固定安装有基座固定板(23)；所述基座固定板(23)的内侧表面固定安装有基座固定片(24)；所述夹具基座(21)的另一侧内嵌有夹具机构(26)，且夹具基座(21)与基座固定板(23)相邻的一侧底部内嵌有推杆(25)。2.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜设备，其特征在于：所述夹具机构(26)包括限位环(261)、轴承(262)、夹具杆(263)、弹性片(264)、夹具卡扣(265)和夹具卡槽(266)；所述轴承(262)固定安装于夹具基座(21)的内腔，且轴承(262)的两侧分别铰接有夹具杆(263)；所述夹具杆(263)的一侧固定连接有弹性片(264)；所述限位环(261)与夹具基座(21)的内腔滑动连接；所述夹具卡扣(265)固定连接在夹具杆(263)的靠近轴承(262)的一侧；所述夹具卡槽(266)开设在另一根夹具杆(263)的靠近轴承(262)的一侧。3.根据权利要求2所述的一种光学真空镀膜设备，其特征在于：所述夹具杆(263)包括弹性弯曲杆(2631)、中端抓杆(2634)、合页(2632)和前端抓杆(2633)；所述弹性弯曲杆(2631)与中端抓杆(2634)的一侧固定连接；所述中端抓杆(2634)的另一侧固定连接有合页(2632)，所述合页(2632)的另一侧固定有前端抓杆(2633)；所述前端抓杆(2633)的另一侧通过弹性片(264)连接中端抓杆(2634)。4.根据权利要求2所述的一种光学真空镀膜设备，其特征在于：所述基片夹具(2)还包括弹簧(27)和基座卡槽(28)；所述基座卡槽(28)开设于夹具基座(21)的底部中部；所述弹簧(27)的两侧分别与推杆(25)和夹具基座(21)的内腔接触，且弹簧(27)与推杆(25)的数量均为两个。5.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜设备，其特征在于：所述支撑杆(1)的周向开设有凹槽，凹槽的宽度与基座固定板(23)和基座固定片(24)的高度相同。6.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜设备，其特征在于：所述限位环(261)一端开设有两个互相对称的开口，且开口的宽度大于单个夹具杆(263)的宽度，小于两个夹具杆(263)的宽度。2CN115074691A说明书1/4页一种光学真空镀膜设备技术领域[0001]本发明涉及真空镀膜领域，具体的说是一种光学真空镀膜设备。背景技术[0002]真空镀膜技术在工业上的应用非常广泛，尤其是在电子材料与元器件工业领域中占有极其重要的地位，对人类社会的发展产生了积极的影响。[0003]然而目前市场上的镀膜机比较单一化，即针对某种镀膜工件只有相对应的工件夹具，且大小、形状、数量都是固定的，无法针对材质、大小、形状各异的镀膜工件，因此针对不同的镀膜工件需要不同规格的镀膜机，增加了生产成本；同时现有镀膜机的工件夹具多为整体结构且体型较大，当需要进行维修清洗更换时，只能整体拆卸，不仅降低了拆装效率，不方便进行维修清洗，还影响了工件镀膜的速度，降低了生产效率。发明内容[0004]针对现有技术中的问题，本发明提供了一种