PECVD舟.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107750282A(43)申请公布日2018.03.02(21)申请号201680034106.0(74)专利代理机构深圳市百瑞专利商标事务所(普通(22)申请日2016.04.13合伙)44240代理人金辉(30)优先权数据102015105599.62015.04.13DE(51)Int.Cl.C23C16/458(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日H01L21/673(2006.01)2017.12.11(86)PCT国际申请的申请数据PCT/EP2016/0580622016.04.13(87)PCT国际申请的公布数据WO2016/166125DE2016.10.20(71)申请人科恩迈尔特种石墨集团有限责任公司地址德国维特哈根(72)发明人T·科恩迈尔H-P·弗尔克权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称PECVD舟(57)摘要本发明涉及具有至少一个用于容纳晶圆的舟板的PECVD舟，用于进入和离开真空镀膜室。本发明所解决的问题是提出一种低质量的用于容纳晶圆并将晶圆送入及送出真空室的PECVD舟，其通过更大的晶圆容量、缩短的过程周期以及加热和均匀化阶段的能源节省来实现真空镀膜室产量的提升。该问题得以解决是因为舟板(21)为垂直树立，并具有多个在舟板(21)的纵向上向上打开的用于容纳晶圆(22)的U形容纳狭槽(23)，通过这种方式使插入容纳狭槽(23)的晶圆(22)与舟板(21)的板线平齐。CN107750282ACN107750282A权利要求书1/1页1.一种PECVD舟，其具有至少一个用于容纳晶圆的舟板，用于进入和离开真空镀膜室，其特征在于，所述舟板(21)为垂直树立，具有多个在所述舟板(21)的纵向上向上打开的用于容纳晶圆(22)的U形容纳狭槽(23)，使得插入所述容纳狭槽(23)的晶圆(22)与所述舟板(21)的板线平齐。2.根据权利要求1所述的PECVD舟，其特征在于，每个容纳狭槽(23)由所述舟板(21)的侧向固定臂(24)和下部框架元件(25)所限定，使得插入所述容纳狭槽(23)的晶圆(22)被所述侧向固定臂(24)部分环绕。3.根据权利要求2所述的PECVD舟，其特征在于，设置三个容纳元件(26)，所述侧向固定臂(24)和所述下部框架元件(25)分别具有一个容纳元件(26)，所述容纳元件向内指向所述容纳狭槽(23)，并以U形或叉状的方式夹紧插入的晶圆(22)的外边缘，同时利用晶圆(22)自身的重量固定住晶圆(22)。4.根据权利要求1至3中任一项所述的PECVD舟，其特征在于，两个晶圆(22)以背对背装载的方式插入每个容纳狭槽(23)的所述容纳元件(26)。5.根据权利要求1至4中任一项所述的PECVD舟，其特征在于，多个舟板(21)以彼此间隔一段距离的方式平行排列，且彼此连接以形成PECVD舟(27)。6.根据权利要求5所述的PECVD舟，其特征在于，由不导电的材料制成的间隔元件和连接元件设置于所述舟板(21)之间。7.根据权利要求6所述的PECVD舟，其特征在于，所述间隔元件和所述连接元件由Al2O3、石英玻璃或陶瓷制成。8.根据权利要求1至7中任一项所述的PECVD舟，其特征在于，所述舟板(21)由石墨、CFC或钛制成，并通过成型加工方法来制造。2CN107750282A说明书1/4页PECVD舟技术领域[0001]本发明涉及具有至少一个用于容纳晶圆的舟板的PECVD舟，用于进入和离开真空镀膜室。背景技术[0002]PECVD舟用于例如等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。PECVD是一种将薄膜从气相沉积在基板(例如晶圆)上的固态层的方法。PECVD过程是在抽真空的真空室内进行，在这个PECVD过程中，将尽可能多的晶圆置于所谓的等离子体舟或由单个舟板组成的PECVD舟上，在真空室内被同时引入，并且在PECVD过程中，所有的晶圆均停留在这些等离子体舟上。[0003]为了能够执行PECVD过程，将用PECVD舟引入的晶圆以及PECVD舟自身加热到预定的过程温度是必要的。[0004]通常使用的PECVD舟或舟板，目前由电学上导电的材料制成，例如石墨或钛。图1(现有技术)的俯视图显示了根据现有技术以平放排列的方式用于容纳多个矩形或正方形晶圆11的PECVD舟的舟板10。为了将晶圆11牢固地固定于每个开槽12内，在开槽12的周围，舟板10的边框13上提供三根固定销14，以确保置于舟板10上的晶圆11在运送过程中不会滑动。[0005]为了实现尽可能大的晶圆容量，通常会使用合适的间隔件将多个这样的舟板10上下堆叠在一起，以形成具有更大晶圆容量的PECVD舟。[0006]PECVD舟一方面要满足在运送及沉积