PECVD石墨舟.pdf

2024-03-26

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一种PECVD石墨舟存储与下料方法.pdf

本发明涉及PECVD石墨舟存储及下料领域。一种PECVD石墨舟存储与下料方法,石墨舟的冷却时间从石墨舟反应完置于PECVD石墨舟的搬运区域开始计时,冷却时间Tx代表X编号存储位置上对应石墨舟的冷却时间;将上下料存储区域、进出炉管存储区域位置状态依据有无石墨舟存放设置为1和0,1有,0无;根据PECVD石墨舟的搬运区域的存储区域的位置状态和石墨舟的冷却时间对存储区域上石墨舟进行移动及下料。

2023-05-11

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一种PECVD石墨舟载具的制造方法.pdf

本发明公开了一种PECVD石墨舟载具的制造方法，将浸渍浆料均匀涂覆在石墨舟半成品零件的表面上，放入具有保护气氛的反应炉中进行高温裂解反应，浸渍浆料在石墨舟半成品零件的表面上形成碳化硅膜层，得到石墨舟成品零件再组装成石墨舟。添加硅粉的聚碳硅烷浸渍浆料在石墨舟半成品零件的碳材料表面高温裂解，通过硅‑碳相互作用在碳材料表面原位生长形成一层碳化硅膜层，在疏松多孔的碳材料表面形成一层致密稳定的保护层，耐高温、氧化、冷热冲击，在石墨舟生产过程中能提高其使用寿命，减少石墨舟维护时间以及成本，降低企业生产成本。

2023-06-16

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PECVD舟.pdf

本发明涉及具有至少一个用于容纳晶圆的舟板的PECVD舟，用于进入和离开真空镀膜室。本发明所解决的问题是提出一种低质量的用于容纳晶圆并将晶圆送入及送出真空室的PECVD舟，其通过更大的晶圆容量、缩短的过程周期以及加热和均匀化阶段的能源节省来实现真空镀膜室产量的提升。该问题得以解决是因为舟板(21)为垂直树立，并具有多个在舟板(21)的纵向上向上打开的用于容纳晶圆(22)的U形容纳狭槽(23)，通过这种方式使插入容纳狭槽(23)的晶圆(22)与舟板(21)的板线平齐。

2024-01-10

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一种延长PECVD炉用石墨舟使用寿命的方法.pdf

本发明公开了一种延长PECVD炉用石墨舟使用寿命的方法，包括如下步骤：上舟：将石墨舟上的螺母全部松开，然后将石墨舟置于酸槽中；鼓泡酸洗：采用浓硝酸，30-50℃；石墨舟一共浸泡2-3h，每1h设定鼓泡20-30min；鼓泡水洗：2-3h，每h换水一次，清洗时鼓泡不断；抽风烘干：温度130-150℃，抽风，烘干时间8-20h；2)烘干后的石墨舟浸于真空状态下的硅熔液中，缓慢提升石墨舟离开液面，至石墨舟表面冷却到1300摄氏度，时间为30min-180min；3)石墨舟在惰性气体保护下冷却至室温，取出。本发明

2023-06-19

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