复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108559959A(43)申请公布日2018.09.21(21)申请号201810030329.0(22)申请日2018.01.12(71)申请人基迈克材料科技（苏州）有限公司地址215200江苏省苏州市吴江区汾湖高新区汾杨路东侧(72)发明人黄小军诸斌顾宗慧庄志杰周钧庄猛(74)专利代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司44224代理人唐清凯(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法(57)摘要本发明涉及一种复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法。其中，一种复合金属氧化物靶材材料的制备方法，包括如下步骤：取90-95.8重量份的氧化锌、8-8.4重量份的氧化镁、2-2.1重量份的氧化铝、0.15-0.25重量份的分散剂、0.07-0.08重量份的粘结剂、以及4-5重量份的水混合后得到混合浆料；对所述混合浆料进行喷雾造粒。上述复合金属氧化物靶材材料的制备方法工艺简单、成本低廉。由此方法制得靶材材料的颗粒大小匀称，呈球形。此外，靶材材料颗粒中各元素均匀分布于靶材材料颗粒中，进而能够满足靶材材料溅射的特性需求。CN108559959ACN108559959A权利要求书1/1页1.一种复合金属氧化物靶材材料的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：取90-95.8重量份的氧化锌、8-8.4重量份的氧化镁、2-2.1重量份的氧化铝、0.15-0.25重量份的分散剂、0.07-0.08重量份的粘结剂、以及4-5重量份的水混合后得到混合浆料；对所述混合浆料进行喷雾造粒。2.根据权利要求1所述的复合金属氧化物靶材材料的制备方法，其特征在于，所述分散剂选自月桂醚或聚乙二醇。3.根据权利要求1所述的复合金属氧化物靶材材料的制备方法，其特征在于，所述粘结剂选自聚丙烯酸铵或聚乙烯醇。4.根据权利要求1所述的复合金属氧化物靶材材料的制备方法，其特征在于，所述混合为球磨、搅拌或超声分散。5.根据权利要求1所述的复合金属氧化物靶材材料的制备方法，其特征在于，在所述喷雾造粒的过程中，对所述混合浆料进行离心，离心速度为6000rpm-7000rpm。6.一种复合金属氧化物靶材材料，其特征在于，采用权利要求1-5任一项所述的复合金属氧化物靶材材料的制备方法制得。7.根据权利要求6所述的复合金属氧化物靶材材料，其特征在于，所述靶材材料的颗粒粒径为250目-400目。8.一种复合金属氧化物靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：在惰性气氛下，将权利要求6-7任一项所述的靶材材料等离子喷涂至基体上形成复合金属氧化物层；对所述复合金属氧化物层进行抛光，从而得到复合金属氧化物靶材。9.一种复合金属氧化物靶材，其特征在于，采用如权利要求8所述的复合金属氧化物靶材的制备方法制得。10.根据权利要求9所述的复合金属氧化物靶材，其特征在于，所述靶材的含氧量为2.2×106ppm-2.5×106ppm。2CN108559959A说明书1/5页复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法技术领域[0001]本发明涉及一种合金材料领域，特别是涉及一种复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法。背景技术[0002]复合金属氧化物靶材材料具有良好的光电特性，被广泛应用于各种光电器件加工中。[0003]目前，传统的复合金属氧化物靶材材料多为氧化铟锡，但因制备工艺复杂且成本高昂而制约着氧化铟锡的应用。发明内容[0004]基于此，有必要针对上述问题，提供一种工艺简单、成本低廉的新型复合金属氧化物靶材材料的制备方法。[0005]一种复合金属氧化物靶材材料的制备方法，包括如下步骤：[0006]取90-95.8重量份的氧化锌、8-8.4重量份的氧化镁、2-2.1重量份的氧化铝、0.15-0.25重量份的分散剂、0.07-0.08重量份的粘结剂、以及4-5重量份的水混合后得到混合浆料；[0007]对所述混合浆料进行喷雾造粒。[0008]上述复合金属氧化物靶材材料的制备方法工艺简单、成本低廉。由此方法制得靶材材料的颗粒大小匀称，呈球形。此外，靶材材料颗粒中各元素均匀分布于靶材材料颗粒中，进而能够满足靶材材料溅射的特性需求。[0009]在其中一个实施例中，所述分散剂选自月桂醚或聚乙二醇。[0010]在其中一个实施例中，所述粘结剂选自聚丙烯酸铵或聚乙烯醇。[0011]在其中一个实施例中，所述混合为球磨、搅拌或超声分散。[0012]在其中一个实施例中，在所述喷雾造粒的过程中，对所述混合浆料进行离心，离心速度为6000rpm-7000rpm。[0013]本发明还提供了一种复合金属