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铁靶材、铁镍合金靶材以及靶材的晶粒细化方法.pdf

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本发明属于靶材制造技术领域,公开了铁靶材或铁镍合金靶材的晶粒细化方法,包括以下步骤:(1)一次加热保温;(2)热锻造;(3)二次加热保温;(4)热轧;(5)热处理。采用热处理和热加工相结合的方式细化铁靶材和铁镍合金靶材的晶粒,过程工艺简单可控,晶粒的细化效果好。