铁靶材、铁镍合金靶材以及靶材的晶粒细化方法.pdf
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铁靶材、铁镍合金靶材以及靶材的晶粒细化方法.pdf
本发明属于靶材制造技术领域,公开了铁靶材或铁镍合金靶材的晶粒细化方法,包括以下步骤:(1)一次加热保温;(2)热锻造;(3)二次加热保温;(4)热轧;(5)热处理。采用热处理和热加工相结合的方式细化铁靶材和铁镍合金靶材的晶粒,过程工艺简单可控,晶粒的细化效果好。
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本发明属于靶材制造技术领域,公开了铁靶材或铁镍合金靶材的晶粒细化方法,包括以下步骤:(1)一次加热保温;(2)热锻造;(3)二次加热保温;(4)热轧;(5)热处理。采用热处理和热加工相结合的方式细化铁靶材和铁镍合金靶材的晶粒,过程工艺简单可控,晶粒的细化效果好。
靶材测量装置以及测量靶材的方法.pdf
本发明实施例提供一种靶材测量装置以及测量靶材的方法。所述靶材测量装置包含固定环、主体及收发器。所述固定环具有第一表面。所述主体位于所述固定环的所述第一表面上方。所述收发器耦合到所述主体。从俯视视角来看,所述收发器至少可在所述固定环的中心与所述固定环的边缘之间移动。本发明实施例还提供一种用于测量靶材的方法。
复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法.pdf
本发明涉及一种复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法。其中,一种复合金属氧化物靶材材料的制备方法,包括如下步骤:取90‑95.8重量份的氧化锌、8‑8.4重量份的氧化镁、2‑2.1重量份的氧化铝、0.15‑0.25重量份的分散剂、0.07‑0.08重量份的粘结剂、以及4‑5重量份的水混合后得到混合浆料;对所述混合浆料进行喷雾造粒。上述复合金属氧化物靶材材料的制备方法工艺简单、成本低廉。由此方法制得靶材材料的颗粒大小匀称,呈球形。此外,靶材材料颗粒中各元素均匀分布于靶材材料颗粒中,进而能够满
铁靶、铁镍合金靶及其制造方法.pdf
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