硅片校正机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111653517A(43)申请公布日2020.09.11(21)申请号202010619733.9(22)申请日2020.07.01(71)申请人苏州迈为科技股份有限公司地址215200江苏省苏州市吴江区经济开发区庞金路1801号庞金工业坊D02幢(72)发明人孙松(74)专利代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司44224代理人刘宁(51)Int.Cl.H01L21/687(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称硅片校正机构(57)摘要本发明涉及一种硅片校正机构，包括：底座；转动组件，设在所述底座上；四个推片件，均可滑动的设在所述底座上，所述四个推片件两两对应设置，且各所述推片件的滑动方向均朝向所述转动组件的轴心；四个连接件，分别与四个所述推片件对应，所述连接件连接在所述转动组件与所对应的推片件之间；所述转动件转动时，通过各所述连接件带动四个所述推片件以所述转动组件的轴心为中心聚拢，或以所述转动组件的轴心为中心发散，四个所述推片件用于在聚拢时对硅片夹持校正。上述一个驱动件可以同时驱动四个推片件同时运动，节约了校正机构的成本。硅片一般为方形，四个推片件可以从四个方向夹持硅片对硅片进行校正，校正精度极高。CN111653517ACN111653517A权利要求书1/1页1.一种硅片校正机构，其特征在于，包括：底座；转动组件，设在所述底座上；四个推片件，均可滑动的设在所述底座上，所述四个推片件两两对应设置，且各所述推片件的滑动方向均朝向所述转动组件的轴心；四个连接件，分别与四个所述推片件对应，所述连接件连接在所述转动组件与所对应的推片件之间；所述转动件转动时，通过各所述连接件带动四个所述推片件以所述转动组件的轴心为中心聚拢，或以所述转动组件的轴心为中心发散，四个所述推片件用于在聚拢时对硅片夹持校正。2.根据权利要求1所述的硅片校正机构，其特征在于，所述转动组件包括：驱动件和转盘；所述连接件为连杆，所述连杆一端铰接在所述转盘上，另一端铰接在所述推片件上。3.根据权利要求2所述的硅片校正机构，其特征在于，所述转盘上形成四个用于连接所述连杆的铰接点，各所述铰接点与所述转盘中心的距离相等。4.根据权利要求3所述的硅片校正机构，其特征在于，所述转盘在所述铰接点上设有与所述连杆铰接的轴承。5.根据权利要求2所述的硅片校正机构，其特征在于，所述推片件包括：移动部，滑动设在所述底座上，所述连杆铰接在所述移动部上；推片部，设在所述移动部上，并高于所述移动部，所述推片部用于校正硅片。6.根据权利要求5所述的硅片校正机构，其特征在于，所述推片部包括调节板、连接在所述调节板与所述移动部之间的连接部，四个所述推片件中，任意两个相邻的推片件的调节板相互垂直。7.根据权利要求2所述的硅片校正机构，其特征在于，所述驱动件固定在所述底座上，所述转盘与各所述推片件位于所述底座的同一侧，所述底座上开设有通孔，所述驱动件的输出轴穿过所述通孔连接所述转盘。8.根据权利要求1所述的硅片校正机构，其特征在于，所述硅片校正机构还包括：升降机构，所述升降机构连接所述底座。9.根据权利要求2所述的硅片校正机构，其特征在于，所述转动组件包括：驱动件和齿轮；所述连接件为齿条，所述连接件为连接在所述推片件上的齿条，所述齿条与所述齿轮啮合，四个所述齿条中，任意两个相邻的齿条相互垂直。10.根据权利要求2所述的硅片校正机构，其特征在于，所述驱动件为步进电机或伺服电机或旋转气缸。2CN111653517A说明书1/5页硅片校正机构技术领域[0001]本发明涉及硅片校正技术领域，特别是涉及一种硅片校正机构。背景技术[0002]随着经济的发展，社会的进步，光伏产业在国内如火如荼。其中生产硅片的设备需求量也在增加，同时对设备的日产能提出更高的要求。国内的设备厂家越来越朝向节省成本、使用方便、提高产能等特点的方向发展。在硅片的制绒、刻蚀、PECVD和印刷等工艺环节中，对于硅片的校正是每道工序的基本需求。通常的硅片校正机构是由2个气缸组成，在硅片的两侧进行推片，达到校正的目的，或通过一个电机连接两个同步带来带动两个推片相互靠近进行校正。现有技术中的硅片校正机构存在以下缺点：一个校正机构需要两个气缸，成本较高且同步率较低；只能从硅片的两侧对硅片进行校正，校正精度较低。发明内容[0003]基于此，有必要针对上述问题，提供一种多连杆硅片校正机构，可以从四个方向对硅片进行校正，大大提升校正精度。[0004]一种硅片校正机构，包括：[0005]底座；[0006]转动组件，设在所述底座上；[0007]四个推片件，均可滑动的设在所述底座上，所述四个推片件两两对应设置，且各所述推片件的滑动方向均朝向所述转动组件的