硅片分片机构.pdf
猫巷****熙柔
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相关资料
硅片分片机构.pdf
硅片分片机构,包括硅片分片机构本体,该硅片分片机构本体向下设有两个平行且间隔设置的输送带,所述硅片分片机构本体朝向所述输送带设有抽气气孔,该抽气气孔通过管路与抽气装置连通;所述硅片分片机构本体对应所述输送带的输送方向的前端设有滚轮;所述硅片分片机构本体设有吹风方向朝向所述输送带的吹气气孔,该吹气气孔与吹风装置连通。本发明采用抽气装置、吹气装置和输送带共同作用将堆垛的硅片分开,具有分片效率高的优点。
硅片的连续分片机构.pdf
本申请公开了一种硅片的连续分片机构,包括箱体,箱体内水平设有硅片输送机构,硅片输送机构一侧的箱体内设有与输送机构配合衔接的吸片输送机构,硅片输送机构靠近吸片输送机构一端的前后两侧的箱体内壁上设有喷头,硅片输送机构下方设有配合喷头的水压检测机构。该分片机构通过一对接触传感器来感知水压的大小,再通过控制系统反馈对水压进行调整,从而将水压控制在一定的范围内,进而控制相邻硅片件的空隙大小,确保硅片可连续性的逐片上料,分片效果更佳,效率更高。
一种硅片分片机构.pdf
一种硅片分片机构,包括硅片分片机构本体,该硅片分片机构本体向下设有两个平行且间隔设置的输送带,所述硅片分片机构本体朝向所述输送带设有气孔,该气孔通过管路与抽气装置连通;所述输送带的输送方向的前端设有滚轮。本发明采用抽气装置和输送带共同作用将堆垛的硅片分开,具有分片效率高的优点。
硅片分片装置.pdf
硅片分片装置,包括分片机构和供料槽;分片机构包括硅片分片机构本体,该硅片分片机构本体向下设有两个平行且间隔设置的分片输送带,硅片分片机构本体朝向所述分片输送带设有抽气气孔,该抽气气孔通过管路与抽气装置连通;硅片分片机构本体对应分片输送带的输送方向的前端设有滚轮;硅片分片机构本体设有吹风方向朝向分片输送带的吹气气孔,该吹气气孔通过管路与吹风装置连通;供料槽包括供料槽槽体和水泵,供料槽槽体设有溢流口,该溢流口通过管路与一储液槽连通;供料槽槽体内设有用以盛放堆垛硅片的承托平台,该承托平台与一上下移动驱动装置的驱
硅片分片传送装置及硅片传送方法.pdf
本发明涉及一种传送装置和方法,具体为硅片分片传送装置,包括硅片组传送装置、竖向传送装置和水平过渡传送装置,竖向传送装置与水平过渡传送装置共用同一传送带,竖向传送装置与水平过渡传送装置的连接处有压轮;传送带上有通孔,竖向传送装置还有硅片吸盘,硅片吸盘安装在传送带的背面,硅片吸盘上有气孔,气孔与传送带上的通孔对应,气孔与抽气装置连接;硅片组传送装置末端还安装有推送喷头,推送喷头喷射方向朝向竖向传送装置。分片后的单片硅片由推送喷头推送到传送带上,传送带上的通孔通过负压将单片硅片吸附住,通过传送带完成全部传送,简