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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111733396A(43)申请公布日2020.10.02(21)申请号202010679166.6(22)申请日2020.07.15(71)申请人苏州迈为科技股份有限公司地址215200江苏省苏州市吴江区经济开发区庞金路1801号庞金工业坊D02幢(72)发明人马奔希陈晨朱乾成周剑沈章大(74)专利代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司44224代理人唐清凯(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)C23C16/458(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图4页(54)发明名称一种镀膜治具和镀膜装置(57)摘要本发明涉及一种镀膜治具和镀膜装置,镀膜治具包括框体,所述框体具有四个侧边,所述侧边包括:侧边本体、由所述侧边本体向所框体内延伸的凸起,各所述侧边本体在所述凸起的一侧围成膜片空间,各所述凸起用于承接所述膜片空间内的膜片;所述侧边本体朝向所述膜片空间的一侧上形成第一斜面,所述膜片搭设在各所述凸起上时,所述膜片的边缘与所述侧边本体的第一斜面与之间形成间隙。膜片搭设在四个凸起上时,膜片的边缘与第一斜面之间形成间隙,在进行镀膜时,膜片边缘与第一斜面之间具有间隙便于真空镀膜的进行,提升膜片边缘的镀膜速率,进而提升膜片整体的镀膜质量。CN111733396ACN111733396A权利要求书1/1页1.一种镀膜治具,其特征在于,包括框体,所述框体具有四个侧边,所述侧边包括:侧边本体、由所述侧边本体向所述框体内延伸的凸起,各所述侧边本体在所述凸起的一侧围成膜片空间,各所述凸起用于承接所述膜片空间内的膜片;所述侧边本体朝向所述膜片空间的一侧上形成第一斜面,所述膜片搭设在各所述凸起上时,所述膜片的边缘与所述侧边本体的第一斜面之间形成间隙。2.根据权利要求1所述的镀膜治具,其特征在于,所述框体为长方形或正方形,各所述侧边本体上的第一斜面围成一倒置的梯形凸台。3.根据权利要求1所述的镀膜治具,其特征在于,各所述侧边本体在第一斜面上均设有定位部,所述膜片搭设在各所述凸起上时,位于各所述定位点之间。4.根据权利要求3所述的镀膜治具,其特征在于,所述凸起上用于承接膜片的一侧面为承接面,所述侧边本体还包括:连接所述第一斜面的平台面,所述平台面平行与任一所述凸起的承接面,所述第一斜面位于所述承接面与所述平台面之间。5.根据权利要求3所述的镀膜治具,其特征在于,所述第一斜面靠近所述承接面的一端与所述承接面连接。6.根据权利要求3所述的镀膜治具,其特征在于,所述侧边本体还包括:设在所述第一斜面底部的连接面,所述连接面的两端分别与所述第一斜面及所述承接面连接,所述第一斜面高于所述承接面。7.根据权利要求3所述的镀膜治具,其特征在于,所述承接面具有连接所述第一斜面的第一边、与所述第一边相对的第二边,所述定位部设在所述第一斜面上,所述定位部朝向所述凸起的一侧具有限位面,所述限位面与所述第二边对齐。8.根据权利要求1所述的镀膜治具,其特征在于,所述凸起在朝向所述框体内部的一侧具有竖直面,所述第一斜面与所述凸起的竖直面之间的夹角在30°至70°之间。9.根据权利要求1所述的镀膜治具,其特征在于,所述侧边本体朝向所述膜片空间的一侧形成有第二斜面,所述第一斜面和所述第二斜面分别位于所述凸起的两侧,且所述第一斜面和所述第二斜面朝所述凸起相互靠拢。10.一种镀膜装置,其特征在于,包括:镀膜平台和若干个如权利要求1至8中任一项所述的镀膜治具,各所述镀膜治具均安装在所述镀膜平台上。11.根据权利要求10所述的镀膜装置,其特征在于,所述镀膜平台上开设若干个镀膜槽,各所述镀膜治具分别安装在所述镀膜槽中,所述镀膜治具的各侧边本体向所述框体外延伸有强化筋,所述镀膜治具位于所述镀膜槽中时,所述强化筋搭设在所述镀膜平台上。12.根据权利要求10所述的镀膜装置,其特征在于,所述镀膜平台上开设若干个镀膜槽,各所述镀膜治具分别安装在所述镀膜槽中,所述镀膜治具的任意两个相邻的侧边本体连接形成连接角,所述连接角向所述框体外延伸有强化筋,所述镀膜治具位于所述镀膜槽中时,所述强化筋搭设在所述镀膜平台上。13.根据权利要求10所述的镀膜装置,其特征在于,各所述镀膜治具与所述镀膜平台一体成型。2CN111733396A说明书1/5页一种镀膜治具和镀膜装置技术领域[0001]本发明涉及镀膜加工领域,特别是涉及一种镀膜治具和镀膜装置。背景技术[0002]随着经济的发展,社会的进步,能源节约已经成为必然和社会共识。CVD、PVD,上下料已经趋于自动化,在满足自动化上下料得同时,又要考虑到增加机台的镀膜效率,增强产品的品质。现有技术中的镀膜治具,一般在治具上开设一用于放置CVD或PVD片的凹槽,膜片卡入凹槽中进行镀