基于TOF芯片晶圆的图像测试系统、方法.pdf
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本方案涉及一种基于TOF芯片晶圆的图像测试系统、方法。所述系统包括:测试头、光源系统、中控单元、探针卡、被测TOF芯片晶圆;测试头中连接有图像采集及激光驱动模块化(ICLD)板卡;探针卡与被测TOF芯片晶圆相连;探针卡与中控单元连接,且中控单元与测试头连接;ICLD板卡与光源系统连接;板卡内置可编程门阵列,可编程门阵列驱动光源系统产生光源;光源照射在被测TOF芯片晶圆上,探针卡采集图像数据,由可编程门阵列内部缓存,并将图像数据缓存在ICLD板卡中;ICLD板卡将图像数据传输至测试头中进行图像测试,得到测试
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本方案涉及一种TOF芯片的晶圆测试系统、方法。所述系统包括:探针卡、探针台、被测TOF芯片晶圆、中控单元、测试头;探针卡上设置有若干接点,每个接点分别与被测TOF芯片晶圆上的不同位置相连;测试头上每个卡槽分别插接有不同功能的板卡;测试头用于对每个接点对应的被测TOF芯片晶圆进行与板卡对应的功能测试,并得到测试数据;中控单元用于控制测试头工作,接收从测试头传输的测试数据,并对测试数据进行分析处理,得到测试结果,并将测试结果传输至上位机。测试头上每个卡槽分别插接有不同功能的板卡,可以根据测试需求插拔,通过同一
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微机电系统芯片晶圆及系统封装方法、以及微机电系统.pdf
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