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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113589139A(43)申请公布日2021.11.02(21)申请号202110804949.7(22)申请日2021.07.16(71)申请人苏州芯迈智能科技有限公司地址215000江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区现代大道88号6层6-038工位(集群登记)(72)发明人李利民李磊穆范全(74)专利代理机构苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙)32266代理人赵晓芳(51)Int.Cl.G01R31/28(2006.01)G01S7/497(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图4页(54)发明名称基于TOF芯片晶圆的图像测试系统、方法(57)摘要本方案涉及一种基于TOF芯片晶圆的图像测试系统、方法。所述系统包括:测试头、光源系统、中控单元、探针卡、被测TOF芯片晶圆;测试头中连接有图像采集及激光驱动模块化(ICLD)板卡;探针卡与被测TOF芯片晶圆相连;探针卡与中控单元连接,且中控单元与测试头连接;ICLD板卡与光源系统连接;板卡内置可编程门阵列,可编程门阵列驱动光源系统产生光源;光源照射在被测TOF芯片晶圆上,探针卡采集图像数据,由可编程门阵列内部缓存,并将图像数据缓存在ICLD板卡中;ICLD板卡将图像数据传输至测试头中进行图像测试,得到测试结果。通过在测试头中连接ICLD板卡采集图像数据,并传输至测试头中进行图像测试,降低了图像测试的成本。CN113589139ACN113589139A权利要求书1/2页1.一种基于TOF芯片晶圆的图像测试系统,其特征在于,所述系统包括:测试头、光源系统、中控单元、探针卡、被测TOF芯片晶圆;所述测试头中连接有图像采集及激光驱动模块化板卡;所述探针卡上设置有若干接点,每个所述接点分别与所述被测TOF芯片晶圆上的不同位置相连;所述探针卡与所述中控单元连接,且所述中控单元与所述测试头连接;所述图像采集及激光驱动模块化板卡与光源系统连接;所述图像采集及激光驱动模块化板卡中内置有可编程门阵列,所述可编程门阵列通过接口配置所述光源系统,并驱动所述光源系统产生光源;产生的所述光源照射在所述被测TOF芯片晶圆上,所述探针卡采集图像数据,通过所述中控单元传输至所述可编程门阵列内部缓存,并将所述图像数据缓存在所述图像采集及激光驱动模块化板卡中;所述图像采集及激光驱动模块化板卡通过接口将所述图像数据传输至所述测试头中;所述中控单元控制所述测试头进行图像测试,并得到测试结果。2.根据权利要求1所述的基于TOF芯片晶圆的图像测试系统,其特征在于,所述可编程门阵列通过MIPI接口接收所述图像数据。3.根据权利要求2所述的基于TOF芯片晶圆的图像测试系统,其特征在于,所述可编程门阵列与所述MIPI接口之间连接有桥接芯片;当所述MIPI接口接收所述图像数据后,通过所述桥接芯片将所述MIPI接口转化为LVDS接口,并将所述图像数据对应的MIPI信号转化为LVDS信号,传输至所述可编程门阵列。4.根据权利要求1所述的基于TOF芯片晶圆的图像测试系统,其特征在于,所述图像采集及激光驱动模块化板卡通过PCIE接口将所述图像数据传输至所述测试头中。5.根据权利要求4所述的基于TOF芯片晶圆的图像测试系统,其特征在于,所述图像采集及激光驱动模块化板卡将所述图像数据划分为4路数据,所述4路数据通过光纤接入4个光口转PCIE接口传输至所述测试头中。6.根据权利要求1所述的基于TOF芯片晶圆的图像测试系统,其特征在于,所述探针卡上部安装有驱动板卡,且所述驱动板卡与所述光源系统连接;所述驱动板卡上设置有数模转换器,通过所述数模转换器调节加在所述光源系统上的电压来调节电流,控制所述光源系统产生光源的强度。7.根据权利要求1所述的基于TOF芯片晶圆的图像测试系统,其特征在于,所述光源系统产生的光源包括直流光、调制光。8.根据权利要求7所述的基于TOF芯片晶圆的图像测试系统,其特征在于,当所述光源系统产生的光源为所述直流光时,所述图像采集及激光驱动模块化板卡通过接口将所述图像数据传输至所述测试头中进行静态图像测试。9.根据权利要求7所述的基于TOF芯片晶圆的图像测试系统,其特征在于,当所述光源系统产生的光源为所述调制光时,所述图像采集及激光驱动模块化板卡通过接口将所述图像数据传输至所述测试头中进行动态图像测试。10.一种基于TOF芯片晶圆的图像测试方法,其特征在于,所述方法包括:在探针卡上设置有若干接点,每个所述接点分别与被测TOF芯片晶圆上的不同位置相连;将所述探针卡与中控单元连接,且所述中控单元与测试头连接;在所述测试头中连接图像采集及激光驱动模块化板卡;将图像采集及激光驱动模块化2CN113589139A权利要求书2/2