电子器件与织品的互连方法和系统.pdf
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相关资料
电子器件与织品的互连方法和系统.pdf
一种电子织品系统及用于电子织品系统的对接组件。该系统包括织品衬底、被附接到织品衬底的输入装置以及被附接到织品衬底以能够移除地接纳控制器装置的对接组件。对接组件包括用于与控制器装置的第二电接口相配合的第一电接口。该系统包括被集成在织品衬底中的电传导通路网络,用于将输入装置与第一电接口电耦合。当控制器装置被对接组件接纳时,输入装置可以向控制器装置传输表示输入数据的电子信号。
曝光系统和电子器件的制造方法.pdf
本公开的一个观点的曝光系统具有:激光装置,其输出脉冲激光;照明光学系统,其将脉冲激光引导至掩模版;掩模版台;以及处理器,其对来自激光装置的脉冲激光的输出和基于掩模版台的掩模版的移动进行控制。掩模版具有被配置有第1图案的第1区域和被配置有第2图案的第2区域,第1区域和第2区域分别是在相对于脉冲激光的扫描方向正交的扫描宽度方向上连续的区域,第1区域和第2区域在扫描方向上并排地配置。处理器根据第1区域和第2区域的各个区域改变脉冲激光的控制参数的值,对激光装置进行控制,以使其输出与第1区域和第2区域的各个区域对应
曝光方法、曝光系统和电子器件的制造方法.pdf
目的是提供能够控制抗蚀剂图案的侧壁角度的曝光方法。曝光方法包含以下步骤:读入表示第1参数与第2参数的关系的数据,根据数据和第2参数的目标值决定第1参数的目标值(S201~S203),其中第1参数是和具有第1波长的第1脉冲激光与具有比第1波长大的第2波长的第2脉冲激光的能量比率有关的参数,第2参数是与利用第1脉冲激光和第2脉冲激光来曝光抗蚀剂膜的情况下得到的抗蚀剂膜的侧壁角度有关的参数;以及根据第1参数的目标值对窄带化气体激光装置进行控制,以使其输出第1脉冲激光和第2脉冲激光,并曝光抗蚀剂膜(S205)。
触点及总线布置系统、电子器件壳体系统和拆除电子器件壳体的方法.pdf
本发明涉及一种用于在沿排列方向排列的电子器件壳体上构成总线系统的触点及总线布置系统,所述电子器件壳体分别包围电子装置,尤其是电路板,所述触点及总线布置系统至少具有以下特征:a.多个总线插接器,所述总线插接器具有第一连接触头和第二连接触头,所述第一连接触头用于电触点接通电子装置,而所述第二连接触头构造成插座接点并设定位于电触点接通汇流条;和b.多个汇流条,分别用于将相邻的电子器件壳体的各总线插接器、尤其是各第二连接触头电连接,其中,c.所述触点及总线布置系统包括:至少一个第一汇流条,用于将两个直接相邻电子器
形成互连结构的方法和互连结构.pdf
本发明的实施例提供了形成互连结构的方法包括在衬底上方沉积介电层,以及蚀刻介电层以形成开口并且暴露介电层下面的第一导电部件。使用其中包括氮的前体形成介电层。方法还包括沉积延伸到开口中的牺牲间隔件层,以及图案化牺牲间隔件层以去除牺牲间隔件层的底部部分。留下位于开口中和介电层侧壁上的牺牲间隔件层的垂直部分以形成环。在开口中形成第二导电部件。第二导电部件由环环绕,并且第二导电部件位于第一导电部件上方并且电耦合到第一导电部件。去除环的至少部分以形成空气间隔件。本发明的实施例还提供了互连结构。