一种镀膜载板运输系统.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115394697A(43)申请公布日2022.11.25(21)申请号202211024679.9(22)申请日2022.08.25(71)申请人苏州迈为科技股份有限公司地址215200江苏省苏州市吴江区芦荡路228号申请人苏州迈正科技有限公司(72)发明人申曌奉徐文涛陈晨周剑路坤(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司11332专利代理师陈宏(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)H01L31/18(2006.01)C23C14/56(2006.01)权利要求书2页说明书9页附图7页(54)发明名称一种镀膜载板运输系统(57)摘要本发明公开了一种镀膜载板运输系统，该镀膜载板运输系统包括行走轨道和周转行走装置，周转行走装置可活动地设在行走轨道上，周转行走装置用于装载镀膜载板，周转行走装置包括周转小车和周转驱动模组，周转小车可活动地设在行走轨道上，周转小车用于装载镀膜载板，周转驱动模组与周转小车配合以驱动周转小车沿行走轨道的长度方向运动。该镀膜载板运输系统的结构较为简单，使用成本较低，且能够较好地避免镀膜载板在运输过程中出现磨损，在延长镀膜载板使用寿命的同时，降低对镀膜工艺造成的污染。CN115394697ACN115394697A权利要求书1/2页1.一种镀膜载板运输系统，其特征在于，包括：行走轨道(1)；周转行走装置(2)，所述周转行走装置(2)可活动地设在所述行走轨道(1)上，所述周转行走装置(2)为沿所述行走轨道(1)的长度方向上设置，所述周转行走装置(2)用于装载镀膜载板,所述周转行走装置(2)包括：周转小车(21)，所述周转小车(21)可活动地设在所述行走轨道(1)上，所述周转小车(21)用于装载所述镀膜载板；周转驱动模组(22)，所述周转驱动模组(22)与所述周转小车(21)配合以驱动所述周转小车(21)沿所述行走轨道(1)的长度方向运动。2.根据权利要求1所述的镀膜载板运输系统，其特征在于，所述周转驱动模组(22)包括：第一周转驱动源(221)，所述第一周转驱动源(221)与传动框架(4)固定连接；传动带组件，所述传动带组件包括第一周转传动轮(2221)、第二周转传动轮(2222)以及周转传动带(2223)，所述第一周转传动轮(2221)与所述第一周转驱动源(221)传动配合，所述周转传动带(2223)的两端分别绕过所述第一周转传动轮(2221)和所述第二周转传动轮(2222)后与所述周转小车(21)固定相连。3.根据权利要求2所述的镀膜载板运输系统，其特征在于，所述传动带组件为多个，多个所述传动带组件沿与所述行走轨道(1)垂直的方向间隔设置；所述周转驱动模组(22)还包括第一周转支撑块(225)、第二周转支撑块(226)、第一周转传动轴(227)和第二周转传动轴(228)，多个所述第一周转支撑块(225)连接在所述传动框架(4)上，所述第一周转传动轴(227)穿设在多个所述第一周转支撑块(225)上且与多个所述第一周转传动轮(2221)配合，所述第一周转传动轴(227)通过传动单元(229)与所述第一周转驱动源(221)配合，多个所述第二周转支撑块(226)连接在接驳装置(3)或者传动框架(4)上，所述第二周转传动轴(228)穿设在多个所述第二周转支撑块(226)上且与多个所述第二周转传动轮(2222)配合。4.根据权利要求3所述的镀膜载板运输系统，其特征在于，所述传动单元(229)包括减速器(2291)、传动带结构(2292)，所述减速器(2291)与所述第一周转驱动源(221)配合，所述传动带结构(2292)与所述减速器(2291)及所述第一周转传动轴(227)配合。5.根据权利要求1所述的镀膜载板运输系统，其特征在于，所述周转驱动模组(22)包括：第二周转驱动源(210)，所述第二周转驱动源(210)设在所述周转小车(21)上；周转齿轮(220)，所述周转齿轮(220)设在所述第二周转驱动源(210)的输出轴上；周转齿条(230)，所述周转齿条(230)与所述行走轨道(1)平行设置，且与所述周转齿轮(220)配合。6.根据权利要求1‑5任一项所述镀膜载板运输系统，其特征在于，所述镀膜载板运输系统还包括接驳装置(3)，所述接驳装置(3)位于相邻两个所述周转行走装置(2)之间，所述接驳装置(3)能够将一个所述周转行走装置(2)上的所述镀膜载板运输到另一个所述周转行走装置(2)上。7.根据权利要求6任一项所述的镀膜载板运输系统，其特征在于，所述周转小车(21)限定出周转容纳腔，所述周转容纳腔的沿所述行走轨道(1)的长度方向的两端设有周转出入2CN115394697A权利要求书2/2页口(211)，所述周转容纳腔沿与所述行走