

一种镀膜载板运输系统.pdf
戊午****jj
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相关资料
一种镀膜载板运输系统.pdf
本发明公开了一种镀膜载板运输系统,该镀膜载板运输系统包括行走轨道和周转行走装置,周转行走装置可活动地设在行走轨道上,周转行走装置用于装载镀膜载板,周转行走装置包括周转小车和周转驱动模组,周转小车可活动地设在行走轨道上,周转小车用于装载镀膜载板,周转驱动模组与周转小车配合以驱动周转小车沿行走轨道的长度方向运动。该镀膜载板运输系统的结构较为简单,使用成本较低,且能够较好地避免镀膜载板在运输过程中出现磨损,在延长镀膜载板使用寿命的同时,降低对镀膜工艺造成的污染。
PECVD镀膜载板及镀膜设备.pdf
本发明涉及一种PECVD镀膜载板和镀膜设备,包括托盘组件以及框架,其中托盘组件用于承载待镀基片;框架可拆卸地与托盘组件安装,框架用于支撑托盘组件,框架靠近所述托盘组件的一端具有多个间隔分布的凸台;托盘组件搭接于多个凸台,以使托盘组件与框架之间的接触区域呈矩阵状离散分布,通过上述设计,在保持镀膜载板的重量较轻,且保持镀膜载板的框架的强度较高的前提下,托盘组件悬浮搭接于框架,从而使托盘组件与框架之间的接触面积更进一步地减小,最大程度地减小了在镀膜过程中框架的支撑筋对托盘组件的温度影响,使托盘组件的温度分布更加
一种板式PECVD镀膜载板.pdf
本发明涉及一种板式PECVD镀膜载板,包括载板,所述载板包括框架和支撑板,所述框架上开设有若干用于承载支撑板的承载槽;所述支撑板与框架配合连接;在所述支撑板的内侧边缘设有支撑硅片的承载面。本发明可灵活更换不同尺寸支撑板对相应尺寸硅片镀膜,节省了不同尺寸载板采购成本和维护成本;承载槽内设置加强筋,抗形变能力强,从而减少硅片不良率。
一种PECVD镀膜机的载板升降组件.pdf
本发明提供一种PECVD镀膜机的载板升降组件,包括用于镀膜操作的真空炉腔,所述真空炉腔内设有至少两个与硅片相关的工位,硅片的烧制工位同时也是硅片的装载工位,硅片被通过平移机构装入镂空载板中,镂空载板包括多个,多个镂空载板在硅片的装载工位上下排列且等间距均布,形成硅片载具,单个镂空载板上至少设有一个镂空部位和一个安装部位,镂空部位位于镂空载板的中部,所述安装部位位于所述镂空载板的一侧,多个镂空载板的安装部位位于镂空载板的同一侧。本发明采用竖向送片和水平插片的方式,硅片和电极片的交替对插在真空炉腔内完成,对于
一种稳定镀膜的载片装置.pdf
本发明公开了一种用于硅片的表面镀减反射膜的稳定镀膜的载片装置,其包括:石英托架,设于该石英托架中的石墨舟片组件,该石墨组件由垂直所述石英托架轴线的石墨舟片间隔连接而成。本发明使得石墨组件的石墨舟片垂直于石英托架的轴线设置。当该载片装置送入石英炉管时,石墨舟片与石英炉管的轴线垂直,有效地避免了左右两侧石墨舟片对加热炉管热量向中心辐射的阻挡,从而保证处于石墨舟片之间的硅片减反射膜镀膜均匀和工艺的稳定性,以提升PECVD反应炉的产能。