一种板式PECVD镀膜载板.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111647877A(43)申请公布日2020.09.11(21)申请号202010656749.7(22)申请日2020.07.09(71)申请人梅耶博格光电设备（上海）有限公司地址201100上海市闵行区古北路1699号1304、1305-1室(72)发明人钱孟蒲天尹鸣(74)专利代理机构南京中高专利代理有限公司32333代理人袁兴隆(51)Int.Cl.C23C16/458(2006.01)H01J37/32(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图5页(54)发明名称一种板式PECVD镀膜载板(57)摘要本发明涉及一种板式PECVD镀膜载板，包括载板，所述载板包括框架和支撑板，所述框架上开设有若干用于承载支撑板的承载槽；所述支撑板与框架配合连接；在所述支撑板的内侧边缘设有支撑硅片的承载面。本发明可灵活更换不同尺寸支撑板对相应尺寸硅片镀膜，节省了不同尺寸载板采购成本和维护成本；承载槽内设置加强筋，抗形变能力强，从而减少硅片不良率。CN111647877ACN111647877A权利要求书1/1页1.一种板式PECVD镀膜载板，包括载板，其特征在于：所述载板包括框架和支撑板，所述框架上开设有若干用于承载支撑板的承载槽；所述支撑板与框架配合连接；在所述支撑板的内侧边缘设有支撑硅片的承载面。2.根据权利要求1所述的一种板式PECVD镀膜载板，其特征在于：在所述框架对应支撑板至少一组对角处设置螺栓；所述支撑板与框架通过螺栓配合连接。3.根据权利要求2所述的一种板式PECVD镀膜载板，其特征在于：在所述框架对应支撑板至少一组对角处设置螺栓孔；所述螺栓上端部螺栓帽压制支撑板，下端穿过螺栓孔实现框架与支撑板间的连接固定。4.根据权利要求2所述的一种板式PECVD镀膜载板，其特征在于：所述支撑板每个角处设置与螺栓螺杆部弧度匹配的弧形凹槽。5.根据权利要求1所述的一种板式PECVD镀膜载板，其特征在于：所述支撑板底面封闭，承载槽内形成有与框架一体化成型的加强筋；或所述承载槽底面封闭，支撑板底面形成有与支撑板一体化成型的加强筋。6.根据权利要求5所述的一种板式PECVD镀膜载板，其特征在于：所述加强筋有两根，十字交叉连接承载槽的两组对边或两组对角；或所述加强筋有两根，十字交叉连接支撑板的两组对边或两组对角。7.根据权利要求5所述的一种板式PECVD镀膜载板，其特征在于：所述框架通过加强筋与支撑板可拆卸连接；或所述支撑板通过加强筋与框架可拆卸连接。8.根据权利要求7所述的一种板式PECVD镀膜载板，其特征在于：所述支撑板通过加强筋与框架用螺栓连接；或所述框架通过加强筋与支撑板用螺栓连接。9.根据权利要求1所述的一种板式PECVD镀膜载板，其特征在于：所述承载面是水平面或向支撑板内倾斜的斜托面或为内凹式或外凸式圆弧面。10.根据权利要求9所述的一种板式PECVD镀膜载板，其特征在于：所述斜托面倾角α为5~70°。2CN111647877A说明书1/3页一种板式PECVD镀膜载板技术领域[0001]本发明涉及硅片板式PECVD镀膜领域，具体公开一种板式PECVD镀膜载板。背景技术[0002]板式PECVD镀膜工序中，载板作为用于装载硅片进入镀膜设备的一种装载工具，其材料由碳碳复合材料或石墨材料制造，在每个支撑槽内放置硅片，载板装载着硅片由输送设备进入镀膜设备，整个镀膜过程中，载板需要分别进入不同的腔体，分别有着不同工艺条件，如气压状态，不同的温度，不同的反应气体等，镀膜完成后，再装载新的硅片循环进行。因此整个镀膜工程中对载板表现要求很高，因此载板的好坏会直接影响到后道工序硅片的质量表现。[0003]载板（参见中国实用新型专利2016213857741）上槽的大小是根据硅片大小设置，在对不同型号硅片镀膜时需选择不同尺寸型号的载板，这势必增加载板的购置成本和维护成本。[0004]载板长时间使用后硅片承载面会有损耗缺陷，对硅片镀膜质量有影响；使用一段时间后需要整体更换载板，增加硅片的镀膜成本。发明内容[0005]本发明的目的在于：为解决以上问题提供一种抗形变能力强、减少载板购置和维护成本的板式PECVD镀膜载板。[0006]本发明采用的技术方案是这样的：一种板式PECVD镀膜载板，包括载板，所述载板包括框架和支撑板，所述框架上开设有若干用于承载支撑板的承载槽；所述支撑板与框架配合连接；在所述支撑板的内侧边缘设有支撑硅片的承载面。[0007]进一步地，在所述框架对应支撑板至少一组对角处设置螺栓；所述支撑板与框架通过螺栓配合连接。[0008]进一步地，在所述框架对应支撑板至少一组对角处设置螺栓孔；所述螺栓上端部螺栓帽压制支撑板，下端穿过螺栓孔实现框架与支撑板间的连接固定。[0