压印模具及其制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107976864A(43)申请公布日2018.05.01(21)申请号201711013448.7(22)申请日2017.10.25(30)优先权数据10-2016-01393582016.10.25KR(71)申请人乐金显示有限公司地址韩国首尔(72)发明人崔诚祐金喆镐鞠允镐(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人杜诚王鹏(51)Int.Cl.G03F7/00(2006.01)G02F1/13(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图4页(54)发明名称压印模具及其制造方法(57)摘要本公开涉及压印模具及其制造方法。该压印模具包括：基板；在基板上且具有多层结构的图案；以及在图案的上层和下层之间的蚀刻停止层。CN107976864ACN107976864A权利要求书1/1页1.一种压印模具，包括：所述压印模具的基板；在所述基板上的图案，所述图案具有多层结构；以及在所述图案的上层和下层之间的蚀刻停止层。2.根据权利要求1所述的压印模具，其中，所述图案具有多级结构，在所述多级结构中，所述上层具有比所述下层小的尺寸，并且所述蚀刻停止层具有对应于所述下层的上表面的尺寸。3.根据权利要求1所述的压印模具，还包括在所述基板与所述下层之间的缓冲层。4.据权利要求1所述的压印模具，还包括在所述图案的上层上的第一钝化层和在包括所述图案的整个所述基板上方的第二钝化层。5.根据权利要求4所述的压印模具，其中，所述第一钝化层和所述第二钝化层依次层叠在所述图案的上层上并构成双层结构。6.根据权利要求1所述的压印模具，其中，所述基板是塑料。7.根据权利要求6所述的压印模具，其中，所述上层由树脂构成。8.根据权利要求6所述的压印模具，其中，所述下层由树脂构成。9.根据权利要求1所述的压印模具，其中，所述基板是玻璃。10.根据权利要求1所述的压印模具，其中，所述蚀刻停止层由金属构成。11.一种压印模具的制造方法，包括：在基板上依次形成缓冲层、第一树脂图案层、蚀刻停止图案层和第二树脂图案层；通过选择性地蚀刻所述第二树脂图案层来形成图案的上层；通过选择性地蚀刻所述蚀刻停止图案层，在所述上层下方形成蚀刻停止层；以及通过选择性地蚀刻所述第一树脂图案层，在所述蚀刻停止层下方形成所述图案的下层。12.根据权利要求11所述的方法，还包括：在形成所述蚀刻停止层之前，在包括所述图案的上层的整个所述基板上方形成第一钝化图案层，其中，形成所述蚀刻停止层包括通过蚀刻所述第一钝化图案层而在所述上层下方形成第一钝化层。13.根据权利要求12所述的方法，还包括：在形成所述图案的下层之后，在包括所述图案的整个所述基板上方形成第二钝化层。2CN107976864A说明书1/6页压印模具及其制造方法[0001]相关申请的交叉引用[0002]本申请要求2016年10月25日提交的韩国专利申请第10-2016-0139358号的优先权，其全部内容通过引用并入本文。技术领域[0003]本公开内容涉及具有多层图案的压印模具及其制造方法。背景技术[0004]各种平板显示装置中的液晶显示装置由于其厚度薄、重量轻、功耗低而被广泛用于诸如笔记本电脑、电视、平板电脑、监视器、智能电话、便携式显示设备和便携式信息设备等显示装置。[0005]液晶显示装置包括多个薄膜，每个薄膜通过包括沉积、曝光、显影和蚀刻步骤的掩模工艺形成。掩模工艺由于其非常复杂而增加了制造成本。因此，已经研究了使用压印模具的压印图案化工艺来形成液晶显示装置的多个薄膜。[0006]在压印图案化工艺中，通过使压印模具与涂覆在液晶显示装置的基板上的树脂层接触来形成薄膜图案。在此，压印模具具有与要在基板上形成的薄膜图案相对的多个图案，并且这些图案被反转及转移到树脂层，由此形成薄膜图案。[0007]压印模具的图案通过包括曝光、显影和蚀刻步骤的掩模工艺形成。例如，可以通过掩模工艺对用于压印模具的涂覆在基板上的树脂层进行图案化来形成图案。[0008]然而，在压印模具中，由于掩模工艺的偏差和图案的尺寸，在图案的高度和倾角方面产生变化。因此，在使用压印模具的液晶显示装置的压印图案化工艺中产生薄膜图案的缺陷。当压印模具的图案具有多层结构时，缺陷变得更严重。发明内容[0009]因此，本公开内容涉及基本上消除了由于相关技术的限制和缺点而引起的一个或更多个问题的压印模具及其制造方法。[0010]本公开内容的目的是提供压印模具及其制造方法，其能够提高具有多层结构的图案的高度和倾角的均匀性。[0011]本公开内容的另外的特征和优点将在下面的描述中阐述，并且部分地将根据描述而显见，或者可以通过本公开内容的实践来了解。通过在书面描述及其权利要求以及附图中所具体指出的结构可以