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压印模具的制造方法、压印模具、模具坯料、及光学元件的制造方法.pdf

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本发明提供压印模具(1)及其相关技术,该压印模具(1)具有构成给定的模具图案的多个凹部(1c),其中,在基板(2)上具有包含多个模具基材层(4)、和介于该模具基材层(4)之间的蚀刻停止层(3)的层叠体,层叠体具有深度互不相同的多个凹部(1c),模具基材层(4)和蚀刻停止层(3)由相互具有蚀刻选择性的材料形成,多个凹部(1c)分别具有蚀刻停止层(3)露出而成的底面。