一种纳米压印模具、机台及其压印方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110221519A(43)申请公布日2019.09.10(21)申请号201910454138.1(22)申请日2019.05.29(71)申请人重庆惠科金渝光电科技有限公司地址401320重庆市巴南区界石镇石景路1号申请人北海惠科光电技术有限公司(72)发明人张合静(74)专利代理机构深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙)44240代理人吴国城(51)Int.Cl.G03F7/00(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图4页(54)发明名称一种纳米压印模具、机台及其压印方法(57)摘要本申请公开了一种纳米压印模具、机台及其压印方法；包括模具，所述模具用于压印压印材料，所述模具包括凸出区和凹陷区；纳米压印机台还包括加热部件；所述加热部件仅对应所述模具的凸出区进行加热。仅对模具凸出区分进行加热，可以尽量减薄压印后凹陷部分或部分融化压印后凹陷部分的压印材料，甚至是完全融化残留的凹陷部分，可以省去后续制程对残留的凹陷部分的刻蚀时间，减少制程时间，形成所需的压印图案；另一方面还可以减小模具表面与残留的凹陷部分的粘附力和粘附面积，在脱模的过程中，减小模具对整个压印材料完整性破坏的概率。CN110221519ACN110221519A权利要求书1/1页1.一种纳米压印机台，其特征在于，包括：模具，用于压印压印材料，所述模具包括凸出区和凹陷区；以及加热部件，所述加热部件仅对应所述模具的凸出区进行加热。2.如权利要求1所述的一种纳米压印机台，其特征在于，所述加热部件包括加热台，所述纳米压印机台还包括移动部件，所述移动部件与所述模具连接，所述移动部件移动所述模具的凸出区与所述加热台接触进行热传导后，再次移动所述模具的凸出区对应所述压印材料进行压印。3.如权利要求2所述的一种纳米压印机台，其特征在于，所述模具的凸出区有多个，多个所述凸出区的表面在同一平面，对应的所述加热台的表面为平面。4.如权利要求1所述的一种纳米压印机台，其特征在于，所述加热部件设置在所述模具的凸出区上，对所述凸出区进行加热。5.如权利要求4所述的一种纳米压印模具，其特征在于，所述加热部件设置在所述凸出区的外表面，所述加热部件的表面为平面，与所述模具的凸出区的表面一致。6.如权利要求4所述的一种纳米压印模具，其特征在于，所述加热部件设置在所述凸出区的内部，从远离所述凸出区的外表面方向对进行加热。7.如权利要求1所述的一种纳米压印机台，其特征在于，所述模具凸出区宽度的范围为3-500mm,所述加热部件宽度范围为1-498mm；所述压印材料的凹陷部分的厚度小于10mm，加热温度可选为50～300℃。8.一种纳米压印模具，其特征在于，包括：多个凸出区和凹陷区；加热部件，设置在所述模具的凸出区上；所述加热部件仅对应所述模具的凸出区进行加热。9.一种压印方法，其特征在于，包括以下步骤：设置压印材料；仅对模具凸出区进行加热；将所述模具压入压印材料内；以及完成脱模，形成所需的图案。10.如权利要求9所述的一种压印方法，其特征在于，所述仅对模具凸出区进行加热的步骤包括：打开加热台，预热；将所述模具移动到所述加热台上，将所述模具的凸出区的外表面与所述加热台表面接触，以仅对模具凸出区进行传导加热；以及将所述模具移动到所述待压印的压印材料上方，准备压入。2CN110221519A说明书1/5页一种纳米压印模具、机台及其压印方法技术领域[0001]本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种纳米压印模具、机台及其压印方法。背景技术[0002]纳米压印技术是近年来在国际上迅速发展起来的微纳制造技术，以其超高图形精度、工艺和设备简单、工艺吞吐量高等特点，备受学术界和工业界关注，被认为是下一代低成本、大规模制造纳米结构最有潜力的技术之一。由于纳米压印技术本身和压印材料的局限性，在经过压印和脱模过程后，压印材料仍然会有残留厚度，在脱模的过程中，很容易破坏压印材料的完整性。[0003]如何在脱模和压印的过程中，不破坏压印材料的完整性减少后续制程成为迄今最为关注的问题。发明内容[0004]本申请的目的是提供一种纳米压印模具、机台及其压印方法，以减少后续制程。[0005]本申请公开了一种纳米压印机台,包括：模具，用于压印压印材料，所述模具包括凸出区和凹陷区；纳米压印机台还包括加热部件；所述加热部件仅对应所述模具的凸出区进行加热。[0006]可选的，所述加热部件包括加热台，所述纳米压印机台还包括移动部件，所述移动部件与所述模具连接，所述移动部件移动所述模具的凸出区与所述加热台接触进行热传导，所述移动部件移动所述模具的凸出区对应所述压印材料进行压印。[0007]可选的，所述模具的凸出区有多个，多个所述凸出区的表面在同一平面，对应的所述加热台的表