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纳米压印模板及其制造方法.pdf
2023-05-23
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韶敏****ab
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本发明公开了一种纳米压印模板及其制造方法。所述纳米压印模板包括基板和形成在基板上的单元结构。所述基板包括:基底(1)、第一微结构阵列层(2)、第一键合层(4)、第一柔性层(11)和基础层(13)。第一微结构阵列层包括多个第一微结构,该多个第一微结构之间通过第一空腔(3)间隔开。第一键合层(4)设置在该第一微结构阵列层(2)的上方且与所述第一微结构阵列层(2)的上表面低温键合在一起。第一插入层(5)设置于所述第一键合层上。第一柔性层(11)设置在所述第一插入层上方。基础层(13)设置在所述第一柔性层(11)
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