沉积掩模和使用该沉积掩模的沉积设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108690951A(43)申请公布日2018.10.23(21)申请号201810233793.X(22)申请日2018.03.21(30)优先权数据10-2017-00417222017.03.31KR(71)申请人乐金显示有限公司地址韩国首尔(72)发明人张锡洛朴铉淑金钟宪(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127代理人李辉刘久亮(51)Int.Cl.C23C14/04(2006.01)C23C16/04(2006.01)权利要求书2页说明书11页附图12页(54)发明名称沉积掩模和使用该沉积掩模的沉积设备(57)摘要沉积掩模和使用该沉积掩模的沉积设备。一种沉积掩模可以包括：基底构件，该基底构件包括第一表面和第二表面，该第一表面和第二表面被划分成第一区域、第二区域和第三区域；第一开口，该第一开口在所述第一区域中；第二开口，该第二开口在所述第二区域中；以及第三开口，该第三开口在所述第三区域中，其中，所述第一开口、所述第二开口和所述第三开口中的每一个具有沙漏形状的横截面，其中，所述第一开口的沙漏形状和所述第三开口的沙漏形状相对于所述基底构件的所述第二表面背离所述第二开口倾斜。以这种方式，能够使沉积处理期间的阴影效应最小化并且能够改善沉积均匀性。CN108690951ACN108690951A权利要求书1/2页1.一种沉积掩模，该沉积掩模包括：基底构件，该基底构件包括第一表面和第二表面，所述基底构件被划分成第一区域、第二区域和第三区域；第一开口，该第一开口在所述第一区域中并且包括：所述第一开口的第一表面孔，所述第一开口的所述第一表面孔延伸穿过所述基底构件的所述第一表面，以及所述第一开口的第二表面孔，所述第一开口的所述第二表面孔延伸穿过所述基底构件的所述第二表面并且与所述第一开口的所述第一表面孔连通，所述第一开口的所述第一表面孔的宽度朝着所述第一开口的所述第一表面孔和所述第一开口的所述第二表面孔之间的边界逐渐减小，并且所述第一开口的所述第二表面孔的宽度朝着所述第一开口的所述第一表面孔和所述第一开口的所述第二表面孔之间的边界逐渐减小；第二开口，该第二开口在所述第二区域中并且包括：所述第二开口的第一表面孔，所述第二开口的所述第一表面孔延伸穿过所述基底构件的所述第一表面，以及所述第二开口的第二表面孔，所述第二开口的所述第二表面孔延伸穿过所述基底构件的所述第二表面并且与所述第二开口的所述第一表面孔连通，所述第二开口的所述第一表面孔的宽度朝着所述第二开口的所述第一表面孔和所述第二开口的所述第二表面孔之间的边界逐渐减小，并且所述第二开口的所述第二表面孔的宽度朝着所述第二开口的所述第一表面孔和所述第二开口的所述第二表面孔之间的边界逐渐减小；以及第三开口，该第三开口在所述第三区域中并且包括：所述第三开口的第一表面孔，所述第三开口的所述第一表面孔延伸穿过所述基底构件的所述第一表面，以及所述第三开口的第二表面孔，所述第三开口的所述第二表面孔延伸穿过所述基底构件的所述第二表面并且与所述第三开口的所述第一表面孔连通，所述第三开口的所述第一表面孔的宽度朝着所述第三开口的所述第一表面孔和所述第三开口的所述第二表面孔之间的边界逐渐减小，并且所述第三开口的所述第二表面孔的宽度朝着所述第三开口的所述第一表面孔和所述第三开口的所述第二表面孔之间的边界逐渐减小，其中，所述第二开口的所述第一表面孔的两个侧表面的台阶高度彼此相等，其中，所述第一开口中的所述第一表面孔的与所述第二开口相邻的侧表面的台阶高度小于所述第二开口中的所述第一表面孔的两个侧表面的台阶高度，其中，所述第三开口中的所述第一表面孔的与所述第二开口相邻的侧表面的台阶高度小于所述第二开口中的所述第一表面孔的两个侧表面的台阶高度，并且其中，所述第二区域位于所述第一区域和所述第三区域之间。2.根据权利要求1所述的沉积掩模，其中，所述第一开口、所述第二开口和所述第三开口中的每一个具有沙漏形状的横截面。3.根据权利要求2所述的沉积掩模，其中，所述第一区域中的所述第一开口的沙漏形状2CN108690951A权利要求书2/2页相对于所述基底构件的所述第二表面背离所述第二区域中的所述第二开口倾斜，并且其中，所述第三区域中的所述第三开口的沙漏形状相对于所述基底构件的所述第二表面背离所述第二区域中的所述第二开口倾斜。4.根据权利要求1所述的沉积掩模，其中，所述第一开口中的所述第一表面孔的深度小于所述第一开口中的所述第二表面孔的深度，其中，所述第二开口中的所述第一表面孔的深度小于所述第二开口中的所述第二表面孔的深度，并且其中，所述第三开口中的所述第一表面孔的深度小于所述第三开口中的所述第二表面孔的深度。5.根据权利要求1所述的沉积掩模，