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用于数字X射线检测器的阵列基板及其制造方法.pdf
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猫巷****熙柔
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用于数字X射线检测器的阵列基板及其制造方法.pdf
一种用于数字X射线检测器的阵列基板可以包括：基底基板；被设置在基底基板上方的薄膜晶体管；正‑本征‑负(positive‑intrinsic‑negative，PIN)二极管，其包括电连接至薄膜晶体管的下电极、被设置在下电极上方的第一PIN层和被设置在第一PIN层上方的上电极；与PIN二极管间隔开的第二PIN层，第二PIN层被设置在薄膜晶体管上方；以及电连接至上电极的偏置电极。
2023-12-04
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用于被配置为感测X射线信号的数字X射线检测器的基板，包括该基板的检测器及其制造方法。根据本公开内容的实施例，用于X射线检测器的基板包括布置在薄膜晶体管上的层间介电层、布置在层间介电层上的第一钝化层和第二钝化层、以及布置在与薄膜晶体管对应的晶体管区中的第一钝化层和第二钝化层中的至少一个上的氢阻挡层。
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提供了一种阵列基板、包括其的数字X射线检测器及其制造方法。更具体地，提供了下述X射线检测器的阵列基板：由于阵列基板包括沿第一方向延伸的第一线、沿第一方向延伸并且与第一线间隔开的第二线、以及设置在第一线与第二线之间的多个线标识，包括其的数字X射线检测器、用于制造X射线检测器的阵列基板的方法以及用于制造X射线检测器的方法。
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提供了一种用于数字X射线检测器的阵列基板、一种包括该阵列基板的数字X射线检测器、以及用于制造该阵列基板的方法。用于数字X射线检测器的薄膜晶体管(TFT)阵列基板包括：基础基板；所述基础基板之上的薄膜晶体管；连接至所述薄膜晶体管的下电极；所述下电极之上的正‑本征‑负(PIN)层，所述PIN层包含N型半导体层、本征半导体层、以及P型半导体层；所述PIN层之上的偏置电极；以及覆盖所述PIN层和所述偏置电极的上电极。
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公开了一种用于数字X射线检测器的阵列基板和包括该阵列基板的数字X射线检测器。阵列基板有效地保护PIN二极管免受外部湿气或水的影响，使PIN二极管的光透射区域最大化，并且通过使偏置布线的区域最大化来减小电阻。为此，使用被形成为覆盖PIN二极管的外周表面的闭环偏置电极。具体地，偏置电极包括闭环部分和接触延伸部分。该接触延伸部分从闭环部分的一端延伸以直接接触上电极，并且闭环偏置电极包括中空部。
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