阵列基板、包括其的数字X射线检测器及其制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107068689A(43)申请公布日2017.08.18(21)申请号201611270012.1(22)申请日2016.12.30(30)优先权数据10-2015-01914902015.12.31KR(71)申请人乐金显示有限公司地址韩国首尔(72)发明人尹载皓姜汶秀李在光朴时亨(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人蔡胜有董文国(51)Int.Cl.H01L27/12(2006.01)H01L27/146(2006.01)G01T1/36(2006.01)权利要求书3页说明书10页附图10页(54)发明名称阵列基板、包括其的数字X射线检测器及其制造方法(57)摘要提供了一种阵列基板、包括其的数字X射线检测器及其制造方法。更具体地，提供了下述X射线检测器的阵列基板：由于阵列基板包括沿第一方向延伸的第一线、沿第一方向延伸并且与第一线间隔开的第二线、以及设置在第一线与第二线之间的多个线标识，包括其的数字X射线检测器、用于制造X射线检测器的阵列基板的方法以及用于制造X射线检测器的方法。CN107068689ACN107068689A权利要求书1/3页1.一种X射线检测器的阵列基板，包括：沿第一方向延伸的第一线；沿所述第一方向延伸并且与所述第一线间隔开的第二线；以及布置在所述第一线与所述第二线之间的多个线标识。2.根据权利要求1所述的阵列基板，其中所述多个线标识中的每一个包括数字、字母、符号和形状中至少之一。3.一种X射线检测器的阵列基板，包括：具有沿第一方向布置的多条线的多个线组；以及多个设置在所述多条线中的每一条旁边的线标识，其中所述多个线组中的每一个包括沿第一方向延伸并且沿着与所述第一方向垂直的第二方向彼此间隔开的第一线至第n线，其中n是自然数，其中所述线组中的每一个的第m线具有线标识，所述线标识包括具有编号m的第一标识和具有编号(m+n)的第二标识，其中m是等于或小于n的自然数。4.根据权利要求3所述的阵列基板，其中所述多条线包括栅极线、数据线和偏压线中至少之一。5.根据权利要求3所述的阵列基板，其中所述第一标识指示第一线组中的第m线，以及所述第二标识指示第二线组中的第m线。6.根据权利要求4所述的阵列基板，其中所述第一标识和所述第二标识中的每一个包括数字、字母、符号和形状中至少之一。7.一种X射线检测器的阵列基板，包括：包括多条线的第一线组至第p线组，其中p是大于2的自然数，其中所述多条线彼此间隔开且沿第一方向延伸并且在边向侧上包括p个标识。8.根据权利要求7所述的阵列基板，其中在所述第一线组至所述第p线组中的一个线组中所包括的多条线的线标识彼此不同。9.根据权利要求7所述的阵列基板，其中所述线组中的每一个包括第一线至第n线，以及其中在所述第一线组至所述第p线组中的每一个中的第一线至第n线中的第x线具有彼此相同的p个线标识，其中x是等于或小于n的自然数。10.根据权利要求7所述的阵列基板，其中所述第一线组至所述第p线组包括栅极线、数据线和偏压线中至少之一。11.一种X射线检测器，包括：具有多个像素的阵列基板，所述阵列基板包括：沿第一方向延伸的第一线、沿所述第一方向延伸并且与所述第一线间隔开的第二线、以及布置在所述第一线与所述第二线之间的多个线标识；偏压驱动器，所述偏压驱动器向所述阵列基板提供驱动电压；栅极驱动器，所述栅极驱动器将栅极脉冲顺序地提供给所述阵列基板的多个栅极；以及读出集成电路，所述读出集成电路读出从响应于所述栅极脉冲而导通的晶体管输出的2CN107068689A权利要求书2/3页检测信号。12.根据权利要求11所述的X射线检测器，其中所述第一线和所述第二线包括栅极线、数据线和偏压线中至少之一。13.一种用于制造X射线检测器的阵列基板的方法，包括：在衬底上形成栅极线；在所述栅极线上形成有源层；在所述有源层上形成源/漏电极；在所述源/漏电极上形成下电极；在所述下电极上形成光导层和上电极；以及在所述上电极上形成数据线和偏压线，其中所述栅极线、所述数据线和所述偏压线中至少之一通过使用掩模的曝光工艺形成，所述掩模配置为使得在相邻的线之间形成多个线标识。14.根据权利要求13所述的用于制造阵列基板的方法，其中所述掩模包括：用于线组的第一图案，在所述线组中，从第一线至第n线中的n条线中的每一条布置为沿第一方向延伸，以及所述第一线至所述第n线沿着与所述第一方向垂直的方向顺序排列并且彼此间隔开，其中n是自然数；以及用于多个线标识的第二图案，所述多个线标识布置在所述线组中的第m线旁边，其中m是等于或小于n的自然数。15.根据权利要求13所述的用于制造阵列基板的方法，其中所述第二图案包括数字、字母、符号和形状中至少之一。16.根