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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105428466A(43)申请公布日2016.03.23(21)申请号201511029608.8(22)申请日2015.12.31(71)申请人苏州博阳能源设备有限公司地址215000江苏省苏州市吴中区旺吴路28号(72)发明人邱文良(74)专利代理机构苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)32251代理人王华(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)H01L21/677(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图7页(54)发明名称硅片插片装置(57)摘要硅片插片装置,包括分片机构、供料槽和输送带;所述分片机构包括硅片分片机构本体,该硅片分片机构本体向下设有两个平行且间隔设置的分片输送带,所述硅片分片机构本体朝向所述分片输送带设有抽气气孔,该抽气气孔通过管路与抽气装置连通;所述硅片分片机构本体对应所述分片输送带的输送方向的前端设有滚轮;所述硅片分片机构本体设有吹风方向朝向所述分片输送带的吹气气孔,该吹气气孔通过管路与吹风装置连通;所述供料槽包括供料槽槽体和水泵,所述供料槽槽体内容纳有液体,液体的深度总是大于堆垛硅片的高度;所述输送带包括第一输送带、第二输送带、第三输送带和第四输送带。本发明在插片时,具有插片效率高、对硅片损害小的优点。CN105428466ACN105428466A权利要求书1/2页1.一种硅片插片装置,其特征在于:包括分片机构、供料槽和输送带;所述分片机构包括硅片分片机构本体,该硅片分片机构本体向下设有两个平行且间隔设置的分片输送带,所述硅片分片机构本体朝向所述分片输送带设有抽气气孔,该抽气气孔通过管路与抽气装置连通;所述硅片分片机构本体对应所述分片输送带的输送方向的前端设有滚轮;所述硅片分片机构本体设有吹风方向朝向所述分片输送带的吹气气孔,该吹气气孔通过管路与吹风装置连通;所述供料槽包括供料槽槽体和水泵,所述供料槽槽体设有溢流口,该溢流口通过管路与一储液槽连通;所述供料槽槽体内设有用以盛放堆垛硅片的承托平台,该承托平台与一上下移动驱动装置的驱动部传动连接;所述供料槽槽体上设有液压传感器,该液压传感器与一计算机数控系统信号连接,所述计算机数控系统与所述水泵电连接;所述供料槽槽体内容纳有液体,液体的深度总是大于堆垛硅片的高度;所述输送带包括第一输送带、第二输送带、第三输送带和第四输送带,所述第一输送带和第二输送带依次设置,所述第三输送带和第四输送带依次设置,所述第二输送带和第三输送带成夹角设置;所述第三输送带朝向第二输送带的侧边与第二输送带端部的间隙的距离小于硅片的尺寸,相对的另一侧边设有硅片挡板,该硅片挡板朝向所述第二输送带的侧部设有柔性材料层;所述第二输送带的上方设有硅片检测装置,该硅片检测装置与一控制系统信号连接;所述第三输送带对应所述第四输送带相反的一端设有废片储盒;所述控制系统与所述第三输送带的驱动马达电连接;所述承托平台对应所述分片输送带设置;所述第一输送带的一端位于所述滚轮的下方。2.根据权利要求1所述的硅片插片装置,其特征在于:所述分片输送带为同步带。3.根据权利要求2所述的硅片插片装置,其特征在于:所述同步带套设在主动轮和从动轮上,所述主动轮与驱动装置传动连接。4.根据权利要求3所述的硅片插片装置,其特征在于:所述驱动装置为一驱动马达,该驱动马达的输出轴与所述主动轮通过带传动。5.根据权利要求1所述的硅片插片装置,其特征在于:所述硅片分片机构本体在所述分片输送带的输送方向的前端设有滚轮固定板,该滚轮固定板朝下设有抽气气孔,该抽气气孔通过管路与抽气装置连通;所述滚轮转动支撑于所述滚轮固定板上。6.根据权利要求1所述的硅片插片装置,其特征在于:所述硅片分片机构本体上设有一封闭的气腔,该气腔朝向所述分片输送带设有若干个抽气气孔,所述气腔固定有气嘴,该气嘴通过管路与抽气装置连通。7.根据权利要求1所述的硅片插片装置,其特征在于:所述硅片分片机构本体对应所述分片输送带的输送方向的后端设有吹气气腔,该吹气气腔设有吹风方向朝向所述分片输送带的吹气气孔,所述吹气气腔通过管路与吹风装置连通。8.根据权利要求1所述的硅片插片装置,其特征在于:所述上下移动驱动装置为丝杠螺母机构。9.根据权利要求1所述的硅片插片装置,其特征在于:所述水泵的进水口通过管路与所述储液槽连通,所述水泵的出水口通过管路与所述供料槽槽体连通。10.根据权利要求1所述的硅片插片装置,其特征在于:所述柔性材料层的材质为硅胶;所述第一输送带倾斜设置,其高的一端与所述第二输送带相邻设置;所述第一输送带、第二输送带、第三输送带和第四输送带均为同步带;所述第二输送带和第三输送带成直角2CN105428466A权利要求书2/2页设置。3CN105428466A