硅片插片装置.pdf
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硅片插片装置.pdf
硅片插片装置,包括分片机构、供料槽和输送带;所述分片机构包括硅片分片机构本体,该硅片分片机构本体向下设有两个平行且间隔设置的分片输送带,所述硅片分片机构本体朝向所述分片输送带设有抽气气孔,该抽气气孔通过管路与抽气装置连通;所述硅片分片机构本体对应所述分片输送带的输送方向的前端设有滚轮;所述硅片分片机构本体设有吹风方向朝向所述分片输送带的吹气气孔,该吹气气孔通过管路与吹风装置连通;所述供料槽包括供料槽槽体和水泵,所述供料槽槽体内容纳有液体,液体的深度总是大于堆垛硅片的高度;所述输送带包括第一输送带、第二输送
硅片吸片装置和自动插片装置.pdf
本申请公开了一种硅片吸片装置和自动插片装置,该硅片吸片装置包括支架,支架底部具有与水平面呈一定夹角的工作面,工作面上开设有至少一个气孔,支架的两侧分别对称安装有三个导轮,位于一侧的三个导轮呈三角形排列,位于同一侧的三个导轮的外侧绕设有传送带,硅片吸片装置还包括一电机,位于两侧的导轮之间连接有传动轴,电机连接于传动轴并可驱动其转动,支架高度相对低的一端并列设置有多个轴承,该多个轴承转动设置于支架上,支架高度相对低的一端还设置有可上下浮动的套环,支架上还设置有行程开关,该行程开关设置于套环的上方。本发明硅片吸
一种硅片插片装置.pdf
一种硅片插片装置,包括分片机构、供料槽和输送带;所述分片机构包括硅片分片机构本体,该硅片分片机构本体向下设有两个平行且间隔设置的分片输送带,所述硅片分片机构本体朝向所述分片输送带设有气孔,该气孔通过管路与抽气装置连通;所述分片输送带的输送方向的前端设有滚轮;所述供料槽包括供料槽槽体和水泵,所述供料槽槽体内容纳有液体,液体的深度总是大于堆垛硅片的高度;所述输送带包括第一输送带、第二输送带、第三输送带和第四输送带。本发明在分片时,具有分片效率高、对硅片损害小的优点。
一种硅片扩散装置及硅片插片方法.pdf
本发明公开一种硅片扩散装置包括进气管、炉管、炉门、支架、排气管、石英舟;所述进气管、炉门分别设置在炉管的两端;所述石英舟设置在支架上侧,且两者均设置在炉管内部;所述排气管一端设置在炉管的内部,另一端由炉管内向外延伸;所述石英舟包括若干垂直于支架设置的石英棒;所述每一石英棒均开设若干开口朝内的卡槽,且卡槽开口长度方向与支架所在水平面平行。同时公开了一种硅片插片方法是将背靠背水平叠放的两硅片沿上述硅片扩散装置的卡槽开设方向平行插入所述卡槽内。本发明使硅片扩散后方阻均匀性良好,从而能获得更好的扩散效果,并且易于
一种硅片自动插片机的进料装置.pdf
本发明公开一种硅片自动插片机的进料装置,包括进料输送线,所述进料输送线的两侧均设置有导向装置,所述进料输送线包括进料皮带、进料主动轮、进料从动轮及进料电机,所述导向装置包括导向皮带、导向主动轮、导向从动轮及导向电机,导向皮带的导向面与进料皮带的进料面相垂直。所述一种硅片自动插片机的进料装置采用与进料皮带传输方向相同的导向皮带进行导向,既能有效进行定位,又能减少磨损,避免出现卡片现象,结构简单、易于实现。