溅镀载具.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102260851A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102260851A(43)申请公布日2011.11.30(21)申请号201010181925.2(22)申请日2010.05.26(71)申请人鸿富锦精密工业（深圳）有限公司地址518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号申请人鸿海精密工业股份有限公司(72)发明人林后尧裴绍凯(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图2页(54)发明名称溅镀载具(57)摘要本发明涉及一种溅镀载具，其包括一个底座以及一呈阵列式排布在所述底座上的多个支撑座。所述溅镀载具是由质量比为9∶1的聚碳酸酯及玻璃纤维经熔融共混后模制成型。本发明溅镀载具通过采用聚碳酸酯与玻璃纤维混合后模制而成，因此，耐热性好，变形小，无静电残留，加工容易，制造成本低。CN102685ACCNN110226085102260855A权利要求书1/1页1.一种溅镀载具，其包括一个底座以及一呈阵列式排布在所述底座一侧的多个支撑座，其特征在于：所述溅镀载具是由质量比为9∶1的聚碳酸酯及玻璃纤维经熔融共混后模制成型。2.如权利要求1所述的溅镀载具，其特征在于：所述底座呈矩形并包括一个上表面以及一个与所述上表面相对的下表面，所述支撑座间隔均匀的设置在所述底座的上表面上，所述底座的下表面四周延伸一个支撑壁，所述支撑壁四角位置处沿垂直于所述下表面的方向分别延伸出一个支脚。3.如权利要求2所述的溅镀载具，其特征在于：每一支脚的内侧向所述底座的中心位置分别延伸出一个加强筋，所述多个加强筋相交于所述底座下表面中心位置处的一个环形壁上。4.如权利要求1所述的溅镀载具，其特征在于：所述聚碳酸酯的熔体流通特性为7g/10min。5.如权利要求1所述的溅镀载具，其特征在于：所述玻璃纤维的平均直径为10～20微米，长度为2～6毫米。6.如权利要求1所述的溅镀载具，其特征在于：所述熔融共混为在300度的温度下进行。2CCNN110226085102260855A说明书1/2页溅镀载具技术领域[0001]本发明涉及一种载具，尤其涉及一种应用于溅镀过程中的溅镀载具。背景技术[0002]在溅镀工艺过程中，为了能够提高生产效率，通常会将多个待镀膜工件同时装载在一个托盘上，随后将托盘连同设置在其上的待镀膜工件一同送入镀膜装置中进行溅镀。由于溅镀过程中的环境要求高，因此，对托盘本身的物理特性要求也非常的苛刻，比如，需要托盘耐高温，变形率小等。传统的托盘通常采用塑胶或者金属制造。采用塑胶制造的托盘成本较低但容易变形。而采用金属制造的托盘不易变形但成本高，而且难以清洗。发明内容[0003]有鉴于此，有必要提供一种成本低且不易变形的溅镀载具。[0004]一种溅镀载具，其包括一个底座以及一呈阵列式排布在所述底座一侧的多个支撑座。所述溅镀载具是由质量比为9∶1的聚碳酸酯及玻璃纤维经熔融共混后模制成型。[0005]相较现有技术，本发明溅镀载具通过采用聚碳酸酯与玻璃纤维混合后模制而成，因此，耐热性好，变形小，无静电残留，加工容易，制造成本低等特点。附图说明[0006]图1是本发明实施方式中提供的溅镀载具的立体图。[0007]图2是图1中溅镀载具的另一视角的立体图。[0008]主要元件符号说明[0009]溅镀载具100[0010]底座110[0011]上表面112[0012]下表面114[0013]支撑壁115[0014]支脚116[0015]加强筋118[0016]环形壁119[0017]支撑座120具体实施方式[0018]请参阅图1，本发明较佳实施方式提供的一种溅镀载具100，其包括一个底座110，以及呈阵列式排布在所述底座110一侧的多个支撑座120。所述底座110呈矩形，其包括一个上表面112以及一个与所述上表面112相对的下表面114。所述支撑座120间隔均匀的设置在所述底座110的上表面112上。所述底座110的下表面114四周延伸一个支撑壁3CCNN110226085102260855A说明书2/2页115。所述支撑壁115四角位置处沿垂直于所述下表面的方向分别延伸出一个支脚116。沿着每一支脚116的内侧向所述底座110的中心位置分别延伸出一个加强筋118。所述多个加强筋118相交于所述底座110下表面114中心位置处的一个环形壁119上。[0019]所述溅镀载具100采用聚碳酸酯与玻璃纤维通过熔融共混并经模制成型的方法制作而成。具体采用熔体流通特性为7g/10min的聚碳酸酯，平均直径为10～20微米平均长度为2～6毫米的玻璃纤维。将上述材料在真空干燥箱中干燥24小时，并对其进行静电除尘。将干燥处理后的聚碳酸酯及玻璃纤维按照9∶1的比例加入到双螺杆