一种用于溅镀载具的清洁装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109604195A(43)申请公布日2019.04.12(21)申请号201811514967.6(22)申请日2018.12.12(71)申请人深圳市华星光电半导体显示技术有限公司地址518000广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号(72)发明人刘宏茂(74)专利代理机构深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙)44238代理人孙威潘中毅(51)Int.Cl.B08B1/00(2006.01)B08B1/02(2006.01)B08B5/02(2006.01)B08B15/04(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种用于溅镀载具的清洁装置(57)摘要本发明公开了一种用于溅镀载具的清洁装置，用以去除溅镀载具传动载具底部的传动导轨和传动滚轮摩擦产生的金属灰尘，包括：紧固在传动导轨周围的支架；装设在支架上的用以去除附着在传动导轨上金属灰尘的刷体；装设在支架上的用以去除附着在传动导轨和/或传动滚轮表面的金属灰尘，形成防止灰尘扩散的定向气流的正压去除组件；以及用以产生定向气流流向，对金属灰尘进行收集的真空去除收集组件。实施本发明的用于溅镀载具的清洁装置，能够在传动载具正常运作的情况下，自动清洁因摩擦产生的灰尘，并自动收集；降低灰尘造成的膜层不良的概率；结构布置合理，实现高效清洁。CN109604195ACN109604195A权利要求书1/1页1.一种用于溅镀载具的清洁装置，用以去除溅镀载具传动载具底部的传动导轨与传动滚轮摩擦产生的金属灰尘，其特征在于，包括：装设在所述传动导轨周围的支架；装设在所述支架上的用以去除附着在传动导轨上金属灰尘的刷体；装设在所述支架上的用以去除附着在传动导轨和/或传动滚轮表面的金属灰尘，形成防止灰尘扩散的定向气流的正压去除组件；以及用以产生定向气流流向，对金属灰尘进行收集的真空去除收集组件。2.如权利要求1所述的用于溅镀载具的清洁装置，其特征在于，所述正压去除组件至少包括一喷嘴，所述喷嘴朝向所述刷体对所述传动导轨进行刷持的位置喷射气流。3.如权利要求2所述的用于溅镀载具的清洁装置，其特征在于，所述正压去除组件还具有与所述喷嘴相连的管体和与所述管体相连的正压接入口。4.如权利要求1所述的用于溅镀载具的清洁装置，其特征在于，所述真空去除收集组件装设在所述刷体的底部，所述真空去除收集组件通过产生负压形成定向气流。5.如权利要求1所述的用于溅镀载具的清洁装置，其特征在于，所述支架上开设有凹槽，所述传动导轨穿过所述凹槽。6.如权利要求5所述的用于溅镀载具的清洁装置，其特征在于，所述刷体设置在所述凹槽的底部，与所述传动导轨触碰。7.如权利要求5所述的用于溅镀载具的清洁装置，其特征在于，所述凹槽的截面呈U形。8.如权利要求5所述的用于溅镀载具的清洁装置，其特征在于，所述正压去除组件固定在所述凹槽的开口侧。2CN109604195A说明书1/3页一种用于溅镀载具的清洁装置技术领域[0001]本发明涉及面板制作领域，尤其涉及一种用于溅镀载具的清洁装置。背景技术[0002]现有技术中，随着基板玻璃的尺寸越来越大，高世代溅镀载具的体积也逐步增长。例如，现有的11代溅镀载具的设计重量达到300KG。[0003]随之溅镀载具重量的增加，在其传动载具持续运转的过程中，容易产生如下技术问题：传动载具底部的传动导轨与传动滚轮摩擦产生的金属灰尘大幅增加，摩擦产生的金属粉尘极易污染到膜层，造成产品良率的降低。[0004]现有技术中溅镀载具的清洁方式还主要依靠定期酒精擦拭清除的方式，其需要停机作业，影响效能；同时也增加了人力成本。发明内容[0005]本发明所要解决的技术问题在于，提供一种用于溅镀载具的清洁装置，能够在传动载具正常运作的情况下，自动清洁因摩擦产生的灰尘，并自动收集；降低灰尘造成的膜层不良的概率；结构布置合理，实现高效清洁。[0006]为了解决上述技术问题，本发明提供了一种用于溅镀载具的清洁装置，用以去除溅镀载具传动载具底部的传动导轨和传动滚轮摩擦产生的金属灰尘，其特征在于，包括：装设在传动导轨周围的支架；装设在支架上的用以去除附着在传动导轨上金属灰尘的刷体；装设在支架上的用以去除附着在传动导轨和/或传动滚轮表面的金属灰尘，形成防止灰尘扩散的定向气流的正压去除组件；以及用以产生定向气流流向，对金属灰尘进行收集的真空去除收集组件。[0007]其中，正压去除组件至少包括一喷嘴，喷嘴朝向所述刷体对所述传动导轨进行刷持的位置喷射气流。[0008]其中，正压去除组件还具有与喷嘴相连的管体和与管体相连的正压接入口。[0009]其中，真空去除收集组件装设在刷体的底部，真空去除收集组件通过产生负压形成定向气流流向。[0010]其中，支架