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半导体器件和用于制造半导体器件的方法.pdf
2023-11-22
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用于制造半导体器件的方法和半导体器件.pdf
本发明涉及用于制造半导体器件的方法和半导体器件。一种制造半导体器件的方法包括：提供具有主表面（101）的半导体基底（199）和在相邻半导体台面（191、192）之间的沟槽（190）内的栅电极（150）。栅电极（150）通过各自的电介质层与相邻半导体台面（191、192）绝缘。在相邻半导体台面（191、192）中的每个上形成各自的立柱（201、202），从而在沟槽（190）之上在立柱（201、202）之间留下开口（400）。沿各自的立柱侧壁在开口（400）中形成电介质接触间隔物（211、212）以收窄栅电极
2023-11-21
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半导体器件和用于制造半导体器件的方法.pdf
半导体器件和用于制造半导体器件的方法。一种半导体器件包括半导体衬底，该半导体衬底包括具有多边形几何形状的主表面和在半导体衬底上的主区域内制造的主电路。主电路可操作用于执行电主要功能。主区域在半导体衬底的主表面上延伸，保留开放在半导体衬底的主表面的多边形几何形状的角处的至少一个角区。该角区在所述角处开始沿着半导体衬底的边缘延伸至少300μm。
2023-11-22
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用于制造半导体器件的方法和半导体器件.pdf
一种用于制造半导体器件的方法包括提供具有衬底、位于衬底上方的半导体沟道层、位于半导体沟道层上方的界面氧化物层以及位于界面氧化物层上方的高k栅极介电层的结构，其中，半导体沟道层包括锗。该方法还包括在高k栅极介电层上方形成金属氮化物层并使用含金属气体对该结构执行第一处理。在执行第一处理之后，该方法还包括在金属氮化物层上方沉积硅层；然后对该结构执行退火，使得在高k栅极介电层上方形成金属混合层。金属混合层包括具有来自高k栅极介电层的金属物质和来自含金属气体的附加金属物质的金属氧化物。根据本申请的其他实施例，还提供
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用于制造半导体器件的方法和半导体器件.pdf
提出一种用于制造多个半导体器件(1)的方法，所述方法具有如下步骤：a)提供半导体层序列(2)，所述半导体层序列具有第一半导体层(21)、第二半导体层(22)和设置在第一半导体层和第二半导体层之间的有源区域(25)，所述有源区域设置用于产生和/或接收辐射；b)在第二半导体层的背离第一半导体层的一侧上构成第一连接层(31)；c)构成多个穿过半导体层序列的留空部(29)；d)在留空部中构成传导层(4)用于在第一半导体层和第一连接层之间建立导电连接；和e)分割成多个半导体器件，其中从半导体层序列中为每个半导体器件
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半导体器件及用于制造半导体器件的方法.pdf
一种半导体器件包括：具有半导体元件和表面电极的有源区，表面电极由布线电极材料提供，并且在与所述半导体芯片的表面相邻的一侧上连接到所述半导体元件；和焊盘设置区，其具有由布线电极材料提供的焊盘。焊盘设置区在垂直于半导体芯片表面的方向上与有源区重叠。在焊盘设置区与有源区重叠的部分，焊盘通过隔离绝缘膜布置在表面电极上，使布线电极材料为两层，以提供双层布线电极结构。在有源区不与焊盘设置区重叠的部分，表面电极具有由单层布线电极材料组成的单层布线电极结构。
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