掩膜版和利用掩膜版制备薄膜晶体管的方法.pdf

本发明的实施例公开了一种掩膜版以及利用掩膜版制备阵列基板的像素区的薄膜晶体管的方法。该掩膜版包括掩膜版主体，所述掩膜版主体具有图案区域，所述图案区域包括：用于去除部分光刻胶的光刻胶部分去除区域；用于去除全部光刻胶的光刻胶完全去除区域；以及在光刻胶部分去除区域和光刻胶完全去除区域之间、与光刻胶部分去除区域和光刻胶完全去除区域邻接的用于保留光刻胶的第一光刻胶保留区域，第一光刻胶保留区域用于调整与光刻胶部分去除区域对应的光刻胶部分在曝光并显影后的外形。采用本发明的技术方案，改善了与光刻胶部分去除区域对应的光刻胶

2023-11-22

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掩膜图形转印装置和制备掩膜图形的方法.pdf

本发明公开了一种掩膜图形转印装置和制备掩膜图形的方法。掩膜图形转印装置包括：内轮，相对于内轮的轮轴固定，所述内轮与基板在水平面上相对运动；磁化磁头，设置于内轮上与基板距离最短的内轮底部，用于磁化镀完结构层膜层的基板上对应无需掩膜保护的区域的复合粉末；非铁磁性材料形成的外轮，用于绕内轮转动，吸附经过磁化磁头磁化后的复合粉末；去磁化磁头，设置于朝向基板转动的外轮对应的内轮的边缘部，用于对外轮吸附的磁化后的复合粉末进行去磁化操作；收集斗，其外边缘与朝向基板转动的外轮一侧相切，且设置于去磁化磁头的下方，用于收集去

2023-10-21

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掩膜版组件及掩膜版保护组件去除方法.pdf

本发明提供一种掩膜版组件及掩膜版保护组件的去除方法，掩膜版组件包括，光掩模版；掩膜版保护组件，掩膜版保护组件通过粘结物粘接在光掩模版上；以及冷却装置，冷却装置至少将粘结物冷却，从而使得粘结物脱离所述光掩模版。通过上述技术方案，本发明的掩膜版组件及掩膜版保护组件去除方法，通过冷却的方式使得光掩模版和保护框之间的粘结物脱离光掩模版，可以是使二者之间的粘结物硬化，从而使得粘结物脱离光掩模版，可以使得粘结物与保护框一同被移除，上述方式使得粘结物不会残留在光掩模版上，从而可以有效防止光掩模版的污染，防止光掩模版报废

2023-11-14

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一种支撑用金属掩膜版和掩膜版组件及掩膜版制作方法.pdf

本发明公开了一种支撑用金属掩膜版及掩膜版组件及掩膜版制作方法，属于OLED技术领域。一种支撑用金属掩膜版，其是由整张INVAR合金一体制作成型的网格结构，所述支撑用金属掩膜版的网格为镂空结构。本发明采用一体制作成型的镂空网格结构的金属掩膜版，完全可以取代现有技术的支撑条，在焊接到金属框架上时，只需要一次拉网，一次焊接，可以大大提高生产效率；而且一体成型的金属掩膜版无缝隙，解决了现有技术支撑条交叉处残留有机材料问题。另外，由于整个支撑用金属掩膜版只有一个厚度，保证后期的多片精密金属掩膜能搭载在同一个平面上，

2023-11-15

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掩膜板制作方法和掩膜板.pdf

本申请提供的掩膜板制作方法和掩膜板，涉及掩膜板制作技术领域。在本申请中，首先，制作具有掩膜图形和堤坝结构的预制图形板，其中，预制图形板包括掩膜区域和非掩膜区域，掩膜图形位于掩膜区域内，堤坝结构位于非掩膜区域内。其次，将堤坝结构所在位置作为焊接位置，并基于焊接位置将预制图形板焊接于边框结构，得到包括预制图形板和边框结构的掩膜板，其中，堤坝结构用于增加将预制图形板焊接于边框结构之后在第一方向上具有的残留应力的受力面积，第一方向为从堤坝结构到边框结构的方向。基于上述方法，可以改善基于现有的掩膜板制作技术制作形成

2023-11-07

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