一种新型金刚线多晶硅片表面喷砂粗糙方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106392895A(43)申请公布日2017.02.15(21)申请号201610844815.7(22)申请日2016.09.23(71)申请人江苏美科硅能源有限公司地址212200江苏省镇江市扬中市沿江工业园区港隆路(72)发明人陆继波王海庆路景刚王禄宝(74)专利代理机构上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙)31258代理人陈丽君(51)Int.Cl.B24C1/10(2006.01)B24C3/08(2006.01)B24C9/00(2006.01)B28D5/04(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种新型金刚线多晶硅片表面喷砂粗糙方法(57)摘要本发明涉及一种新型金刚线多晶硅片表面喷砂粗糙方法，其方法如下：(1)通过金刚线切片机将多晶硅锭切割成多晶硅片；（2）预清，清除多晶硅片表面残留物，随后烘干；（3）将多晶硅片至于喷砂流水线，进行喷砂粗糙处理，将碳化硅均匀喷涂于多晶硅片表面，使多晶硅片表面形成厚度为2um~6um的单面粗糙面；（4）化学清洗清除多晶硅片表面金属离子残留；（5）由自动分选机筛选；本发明利于提高金刚线多晶硅片光电转换效率，降低电池制造端的投入成本。CN106392895ACN106392895A权利要求书1/1页1.一种新型金刚线多晶硅片表面喷砂粗糙方法，其特征为，其方法如下：(1)将多晶硅锭通过金刚线切片机，切割成多晶硅片；（2）将多晶硅片预清洗，清除多晶硅片表面残留物，随后将多晶硅片烘干；（3）将烘干后的多晶硅片至于喷砂流水线，进行喷砂粗糙处理，将碳化硅均匀喷涂于多晶硅片表面，使多晶硅片表面形成厚度为2um~6um的单面粗糙面；（4）对喷砂粗糙处理后的多晶硅片进行化学清洗，清除多晶硅片表面金属离子残留，随后将多晶硅片烘干；（5）将经步骤（4）的多晶硅片至于自动分选机上进行自动检测硅片表面质量，将表面无穿孔、边缘和表面无破损的多晶硅筛选出进行储存。2.如权利要求1所述的一种新型金刚线多晶硅片表面喷砂粗糙方法，其特征为，所述烘干温度为100~120℃，烘干时间为30~40min。3.如权利要求1所述的一种新型金刚线多晶硅片表面喷砂粗糙方法，其特征为，所述喷砂流水线包括转盘工作台、喷砂机构和精密过滤器，所述转盘工作台上设有若干漏孔，所述转盘工作台底部设有碳化硅回收室，所述碳化硅回收室与精密过滤器之间设有导料管，所述传送带顶部设有负压吸附装置，所述喷砂机构包括若干喷砂管和输料管，所述输料管分别与若干喷砂管和精密过滤器相连，所述输料管上设有气砂混合器，若干喷砂管上均设有若干导管，所述导管上设有喷头和偏心轮机构，所述喷头与转盘工作台垂直，且距离多晶硅片表面20mm，所述喷砂机构外设有护罩，所述护罩与碳化硅回收室位置对应设置。4.如权利要求3所述的一种新型金刚线多晶硅片表面喷砂粗糙方法，其特征为，所述漏孔直径为3mm。5.如权利要求3所述的一种新型金刚线多晶硅片表面喷砂粗糙方法，其特征为，所述负压吸附装置包括真空吸盘、吸气管和吸风机，所述吸气管一端穿过转盘工作台与真空吸盘相连，另一端与吸风机相连。6.如权利要求3所述的一种新型金刚线多晶硅片表面喷砂粗糙方法，其特征为，所述偏心轮机构包括偏心轮、连杆和往复轨道，所述偏心轮上设有转轴，所述转轴连接电动机，电动机带动转轴使偏心轮以150r/min速度旋转，所述往复轨道两端与护罩相连，所述往复轨道上设有支架，所述支架与导管相连，所述所述连杆分别与偏心轮和支架相连。7.如权利要求1所述的一种新型金刚线多晶硅片表面喷砂粗糙方法，其特征为，所述碳化硅粒径为6.7um~10.2um，碳化硅颗粒整体离散系数<23%。2CN106392895A说明书1/3页一种新型金刚线多晶硅片表面喷砂粗糙方法技术领域[0001]本发明涉及一种新型金刚线多晶硅片表面喷砂粗糙方法，属于属于太阳能光伏发电材料领域。背景技术[0002]多晶硅由于其晶体各向异性的属性，金刚线多晶切片表面形成的损伤层低，在电池制造时，表面腐蚀后，无法形成均匀性的绒面导色差硅片，反光率高达20~24%，而导致-光电效率低。[0003]传统的多晶制绒工艺通过硝酸和氢氟酸的混酸进行金刚线多晶制绒，但仍存在以下问题：1、金刚线表面粗糙度低，无法形成均匀的绒面，导致反光，影响效率；2、金刚线多晶硅片制绒添加剂使用，引入了新的金属离子，导致效率波动，同时绒面效果不均匀；3“等离子蚀刻黑硅技术”的运用，电池端解决了制绒问题，但设备造价昂贵，投入太高，同时需要报废现有有电池生产线，重新添置设备。发明内容[0004]本发明的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种新型金刚线多晶硅片表面喷砂粗糙方法，利于提高金刚线多晶硅片光电转换效率，降