一种金刚石线锯切割单、多晶硅片的清洗方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108746042A(43)申请公布日2018.11.06(21)申请号201810251789.6(22)申请日2018.03.26(71)申请人江苏金晖光伏有限公司地址225600江苏省扬州市高邮市城南经济新区兴区路90号(72)发明人刘爱军陈永庆(74)专利代理机构扬州润中专利代理事务所(普通合伙)32315代理人谢东(51)Int.Cl.B08B3/08(2006.01)B08B3/12(2006.01)H01L21/02(2006.01)权利要求书2页说明书4页(54)发明名称一种金刚石线锯切割单、多晶硅片的清洗方法(57)摘要本发明涉及一种金刚石线锯切割单、多晶硅片的清洗方法。该方法包括下列步骤：步骤一：酸洗液、碱煮液的准备，操作人员准备氢氟酸、硝酸、氢氧化钠以及纯水，留以待用；步骤二：硅料分选，操作人员把硅料分成A类硅料、B类硅料、C类硅料、D类硅料、E类硅料以及F类硅料，留以待用；步骤三：A类硅料酸洗；步骤四：B类硅料酸洗；步骤五：C类硅料酸洗；步骤六：D类硅料酸洗；步骤七：E类硅料酸洗；步骤八：F类硅料酸洗；步骤九：已清洗的硅料烘干。由于操作人员将硅料分成A类硅料、B类硅料、C类硅料、D类硅料、E类硅料和F类硅料，操作人员根据不同类型的硅料，选用不同的清洗方法，不仅清洗的更加干净，而且大大提高了清洗的效率。CN108746042ACN108746042A权利要求书1/2页1.一种金刚石线锯切割单、多晶硅片的清洗方法，其特征在于，包括下列步骤：步骤一：酸洗液、碱煮液的准备，操作人员分别准备盛有氢氟酸的氢氟酸桶、盛有硝酸的硝酸桶、盛有氢氧化钠的氢氧化钠桶以及纯水，留以待用；步骤二：硅料分选，操作人员将硅料按照上边皮硅料、侧边皮硅料、提纯多晶方棒硅料、单晶头尾硅料、多晶棒硅料、切片裸片硅料，下下边硅料，碎多晶硅料，碎硅芯硅料，厚片硅料进行筛选，把上边皮硅料、侧边皮硅料、提纯多晶方棒硅料、单晶头尾硅料以及多晶棒硅料分成A类硅料，把切片裸片硅料分成B类硅料，把下下边硅料分成C类硅料，把碎多晶硅料分成D类硅料，把碎硅芯硅料分成E类硅料，把厚片硅料分成F类硅料，留以待用；步骤三：A类硅料酸洗，操作人员预先清洗A类硅料，使用酒精擦拭A类硅料，清洗至A类硅料表面无痕迹残留后装篮，然后操作人员分别将氢氟酸液体和硝酸液体倒入盛酸容器中，使氢氟酸与硝酸按照1:8的重量比配比形成A类酸洗液，操作人员将装篮的A类硅料投入到A类酸洗液中，来回摇动盛酸容器，使A类硅料与A类酸洗液充分反应至A类硅料光亮，将A类酸洗液中的A类硅料捞出，迅速放入纯水中漂洗鼓泡，鼓泡40分钟后捞出装有A类硅料的提篮，最后操作人员使用PH试纸测量A类硅料的PH值，如果A类硅料上还有酸残留，则继续漂洗，反之进入步骤九；步骤四：B类硅料酸洗，操作人员先给B类硅料烧胶，然后操作人员分别将氢氟酸液体和清水倒入盛酸容器中，使氢氟酸与清水按照1:1的重量比配比形成B类酸洗液，操作人员将装篮的B类硅料投入到B类酸洗液中，来回摇动盛酸容器，使B类硅料与B类酸洗液充分反应24小时后，将B类酸洗液中的B类硅料捞出，再用自来水对B类硅料冲洗至无氢氟酸残留，操作人员分别将氢氧化钠和清水倒入容器中，配比出浓度为20％的氢氧化钠溶煮液，将已酸洗的B类硅料投入到氢氧化钠溶煮液中，在碱煮过程中，使用PV棒不停地搅动B类硅料，使B类硅料与氢氧化钠溶煮液充分反应，直至表面光亮，将光亮的B类硅料迅速放入纯水中清洗，清洗时不断搅动B类硅料，冲洗3～5次，操作人员分别将氢氟酸液体和清水倒入盛酸容器中，使氢氟酸与清水按照1:7的重量比配比形成稀释酸洗液，操作人员将B类硅料投入盛有稀释酸洗液的超声波清洗池内，使用超声波清洗10～15min，然后将B类硅料捞出过清水冲洗10～20次后，操作人员分别将氢氟酸液体和硝酸倒入盛酸容器中，使氢氟酸与硝酸按照20:1的重量比配比形成混酸酸洗液，操作人员将B类硅料投入盛有混酸酸洗液的超声波清洗池内，使用超声波清洗10～15min，进入步骤九；步骤五：C类硅料酸洗，操作人员将C类硅料投入到碱煮槽内，确保各个C类硅料之间间隙排放，逐步加入氢氧化钠，随后加入热水，使热水刚好将C类硅料浸没，C类硅料与氢氧化钠充分反应至C类硅料光亮，将光亮的C类硅料投入盛有清水的超声波清洗池内，使用超声波清洗15min，进入步骤九；步骤六：D类硅料酸洗，操作人员先用磁棒拨动D类硅料，挑出含有金属物质的硅料得到新D类硅料，操作人员分别将氢氟酸液体和硝酸倒入盛酸容器中，使氢氟酸与硝酸按照20:1的重量比配比形成酸洗液，操作人员将新D类硅料投入酸洗液中，来回摇动盛酸容器，使新D类硅料与酸洗液充分反应，直至新D类硅料光亮，将新D类硅