用于处理基板的装置和方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107437520A(43)申请公布日2017.12.05(21)申请号201710389463.5(22)申请日2017.05.27(30)优先权数据10-2016-00658522016.05.27KR(71)申请人细美事有限公司地址韩国忠清南道(72)发明人李孝元李暎熏(74)专利代理机构北京市中伦律师事务所11410代理人石宝忠(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)H01L21/66(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图11页(54)发明名称用于处理基板的装置和方法(57)摘要公开了一种用于对基板进行液体处理的装置和方法。一种用于处理基板的装置包括：液体处理单元，其通过将液体供应到基板上来对基板进行液体处理；重量测量单元，其测量基板上的残留液体的重量；以及传送单元，其在液体处理单元和重量测量单元之间传送基板。因此，可以更迅速地测量残留液体的重量。CN107437520ACN107437520A权利要求书1/2页1.一种用于处理基板的装置，包括：液体处理单元，其通过将液体供应到基板上来对所述基板进行液体处理；重量测量单元，其测量所述基板上的残留液体的重量；以及传送单元，其在所述液体处理单元和所述重量测量单元之间传送所述基板。2.根据权利要求1所述的装置，还包括：缓冲单元，其暂时存放所述基板，其中，所述重量测量单元设置在所述缓冲单元中。3.根据权利要求2所述的装置，其中，所述缓冲单元包括缓冲室，所述缓冲室中具有容纳所述基板的缓冲空间，其中，所述重量测量单元和所述缓冲室彼此堆叠。4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述液体包括异丙醇。5.根据权利要求1所述的装置，还包括：控制器，其控制所述传送单元，其中，所述控制器控制所述传送单元以：在所述基板被搬入所述液体处理单元之前将所述基板传送到所述重量测量单元，以及将经过所述液体处理单元液体处理的所述基板传送到所述重量测量单元。6.根据权利要求5所述的装置，其中，所述控制器在所述基板被搬入所述液体处理单元之前从所述重量测量单元接收所述基板的处理前重量，并且从所述重量测量单元接收从所述液体处理单元搬出的所述基板的处理后重量，并且基于所述处理前重量和所述处理后重量之间的差异来计算所述基板上的所述残留液体的重量。7.根据权利要求6所述的装置，其中，如果所计算的所述残留液体的重量偏离预设值，则所述控制器调节从所述液体处理单元供应的所述液体的流量，以使所述残留液体的重量包括所述预设值。8.一种用于处理基板的方法，所述方法包括：通过液体处理单元对基板进行液体处理；以及测量所述基板上的残留液体的重量。9.根据权利要求8所述的方法，其中，通过被设置在暂时存放所述基板的缓冲单元中的重量测量单元来测量所述液体重量。10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述液体处理包括：将处理液供应到所述基板上，其中，所述处理液包括异丙醇。11.根据权利要求8所述的方法，其中，所述测量包括：在对所述基板进行液体处理之前测量所述基板的处理前重量；以及在对所述基板进行液体处理之后测量所述基板的处理后重量。12.根据权利要求11所述的方法，还包括：在测量所述处理后重量之后，基于所述处理前重量与所述处理后重量之间的差异计算所述残留液体的重量。13.根据权利要求12所述的方法，还包括：在计算所述残留液体的重量之后，如果所述残留液体的重量偏离预设值，则调节从所2CN107437520A权利要求书2/2页述液体处理单元供应到所述基板的所述处理液的流量，以使所述残留液体的重量包括所述预设值。14.一种用于处理基板的装置，包括：液体处理单元，其通过将液体供应到基板上来对基板进行液体处理；干燥单元，其干燥经过所述液体处理单元液体处理的所述基板；重量测量单元，其测量所述基板上的残留液体的重量；以及传送单元，其在所述液体处理单元、所述干燥单元和所述重量测量单元之间传送所述基板。15.根据权利要求14所述的装置，还包括：缓冲单元，其暂时存放所述基板，其中，所述重量测量单元设置在所述缓冲单元中。16.根据权利要求14所述的装置，还包括：控制器，其控制所述传送单元，其中，所述控制器控制所述传送单元以：在所述基板被搬入所述液体处理单元之前将所述基板传送到所述重量测量单元，以及将经过所述液体处理单元液体处理的所述基板传送到所述重量测量单元。17.根据权利要求16所述的装置，其中，所述控制器在将所述基板搬入所述液体处理单元之前从所述重量测量单元接收所述基板的处理前重量，并且从所述重量测量单元接收从所述液体处理单元搬出的所述基板的处理后重量，并且基于所述处理前重量和所述处理后重量之间的差异来计算所述基板上的所述残留液体的重量。3CN107437520A说