一种刻蚀机的晶圆传送方法和装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107437521A(43)申请公布日2017.12.05(21)申请号201610363729.4(22)申请日2016.05.26(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司地址100176北京市北京经济技术开发区文昌大道8号(72)发明人隋琳(74)专利代理机构北京润泽恒知识产权代理有限公司11319代理人赵娟(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)H01J37/32(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图2页(54)发明名称一种刻蚀机的晶圆传送方法和装置(57)摘要本发明实施例提供了一种刻蚀机的晶圆传送方法，其中，所述刻蚀机包括设备前端模组、真空传送腔、至少一个工艺腔室以及位于所述设备前端模组和真空传送腔之间的加锁容器，其特征在于，所述方法包括：当晶圆完成工艺腔室的工艺后，将所述晶圆从所述工艺腔室经由所述真空传送腔传送至加锁容器；在预设的停留时间内对所述加锁容器持续抽气；对所述加锁容器充气，直至所述加锁容器中的气压值回升至大气压值；将所述晶圆从所述加锁容器传送至所述设备前端模组。通过对加锁容器持续抽气阶段带走晶圆表面残留的大部分卤素元素的气体或化合物，减少晶圆表面产生的冷凝颗粒，从而减少冷凝颗粒对晶圆及刻蚀设备大气部分零部件的不利影响。CN107437521ACN107437521A权利要求书1/2页1.一种刻蚀机的晶圆传送方法，所述刻蚀机包括设备前端模组、真空传送腔、至少一个工艺腔室以及位于所述设备前端模组和真空传送腔之间的加锁容器，其特征在于，所述方法包括：当晶圆完成工艺腔室的工艺后，将所述晶圆从所述工艺腔室经由所述真空传送腔传送至加锁容器；在预设的停留时间内对所述加锁容器持续抽气；对所述加锁容器充气，直至所述加锁容器中的气压值回升至大气压值；将所述晶圆从所述加锁容器传送至所述设备前端模组。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：在将晶圆从所述加锁容器传送至所述设备前端模组后，将所述加锁容器抽气至预设的最小大气压强值。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述在预设的停留时间内对所述加锁容器持续抽气的步骤包括：维持所述加锁容器的压强，在预设的停留时间内对所述加锁容器持续抽气。4.根据权利要求1或2或3所述的方法，其特征在于，所述预设的停留时间通过以下方法生成：获取第一时间、第二时间、第三时间以及第四时间；所述第一时间为单个所述工艺腔室的工艺时间；所述第二时间为所述晶圆从所述工艺腔室经由所述真空传送腔和所述加锁容器，传送至所述设备前端模组的传输时间；所述第三时间为：对所述加锁容器抽气至所述最小大气压强值的时间；所述第四时间为打开所述加锁容器与所述真空传送腔之间的真空端门所需的时间；获取工艺腔室的数量；将所述第一时间减去所述第二时间、第三时间以及第四时间得到的值，除以所述工艺腔室的数量，得到停留时间。5.根据权利要求1或2或3所述的方法，其特征在于，所述预设的停留时间为用户输入的时间。6.一种刻蚀机的晶圆传送装置，所述刻蚀机包括设备前端模组、真空传送腔、至少一个工艺腔室以及位于所述设备前端模组和真空传送腔之间的加锁容器，其特征在于，所述装置包括：第一传送模块，用于当晶圆完成工艺腔室的工艺后，将所述晶圆从所述工艺腔室经由所述真空传送腔传送至加锁容器；第一抽气模块，用于在预设的停留时间内对所述加锁容器持续抽气；充气模块，用于对所述加锁容器充气，直至所述加锁容器中的气压值回升至大气压值；第二传送模块，用于将所述晶圆从所述加锁容器传送至所述设备前端模组。7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，还包括：第二抽气模块，用于在将晶圆从所述加锁容器传送至所述设备前端模组后，将所述加锁容器抽气至预设的最小大气压强值。8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述抽气模块进一步包括：稳压抽气子模块，用于维持所述加锁容器的压强，在预设的停留时间内对所述加锁容2CN107437521A权利要求书2/2页器持续抽气。9.根据权利要求6或7或8所述的装置，其特征在于，所述预设的停留时间通过以下装置生成：时间获取模块，用于获取第一时间、第二时间、第三时间以及第四时间；所述第一时间为单个所述工艺腔室的工艺时间；所述第二时间为所述晶圆从所述工艺腔室经由所述真空传送腔和所述加锁容器，传送至所述设备前端模组的传输时间；所述第三时间为：对所述加锁容器抽气至所述最小大气压强值的时间；所述第四时间为打开所述加锁容器与所述真空传送腔之间的真空端门所需的时间；腔室数量获取模块，用于获取所述工艺腔室的数量；停留时间计算模块，用于将所述第一时间减去所述第二时间、第三时间以及第四时间得到的值，除以所述工艺腔室的数量，得到停留时间。10.根据权利要求6或7