磁控溅射装置用的旋转阴极单元.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107614743A(43)申请公布日2018.01.19(21)申请号201680028805.4(74)专利代理机构北京英特普罗知识产权代理有限公司1(22)申请日2016.05.171015代理人齐永红(30)优先权数据2015-1022132015.05.19JP(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2017.11.17(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2016/0024092016.05.17(87)PCT国际申请的公布数据WO2016/185714JA2016.11.24(71)申请人株式会社爱发科地址日本神奈川县(72)发明人斋藤修司权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称磁控溅射装置用的旋转阴极单元(57)摘要本发明提供一种能够尽量快速可靠地排出靶(Tg)内残留的冷却水的磁控溅射装置用的旋转阴极单元(RC)。设置有以旋转驱动靶的驱动块(Db)的内筒体(42)的内部空间为流体循环通道(Fp)的第一去路(46)，以内筒体和外筒体(43)之间的空间为第一回路(47)，在靶内的管体(23，24)上设置与第一去路连通的第二去路(26)和与第一回路连通的第二回路(27)。在外筒体的左侧部分上固定封闭靶的右端开口的圆盘形的调节板(48)，在调节板的右侧的面上形成从调节板的外缘到朝向第一回路的位置为止在径向上延伸的相连通道(48e)，通过相连通道调节第二回路和第一回路之间的流体的流动。具有检测相连通道的径向前端指向竖直方向的下方的调节板的姿态的检测装置(64)。CN107614743ACN107614743A权利要求书1/1页1.一种磁控溅射装置用旋转阴极单元，其具有筒状靶、旋转驱动靶的驱动块以及具有使流体循环的流体循环通道的流体循环装置，其特征在于：驱动块具有沿靶的轴线方向延伸的内筒体、与内筒体同心配置且与靶的轴线方向一端连接的外筒体以及旋转驱动该外筒体的驱动装置，内筒体的内部空间构成流体循环通道的第一去路，同时，内筒体和外筒体之间的空间构成流体循环通道的第一回路，靶外套在沿其轴线方向延伸的管体外，管体内设置有与第一去路连通的流体循环通道的第二去路和与第一回路连通的流体循环通道的第二回路；以从靶朝向驱动块侧为右侧，以从驱动块朝向靶侧为左侧，在外筒体的左侧部分上固定封闭靶的右端开口的圆盘形的调节板，在调节板的右侧的面上形成从调节板的外缘到朝向第一回路的位置为止在径向上延伸的相连通道，并通过该相连通道调节第二回路和第一回路之间的流体的流动，具有检测相连通道的径向前端指向竖直方向的下方的调节板的姿态的检测装置。2.根据权利要求1记载的磁控溅射装置用旋转阴极单元，其特征在于：所述驱动装置具有电机，以及卷绕在该电机的驱动轴和外筒体的外周面之间的带；以带轮上连接的传感器构成所述检测装置，所述带轮设置在该驱动轴上并卷绕带。2CN107614743A说明书1/5页磁控溅射装置用的旋转阴极单元技术领域[0001]本发明涉及一种在磁控溅射装置中使用的旋转阴极单元。背景技术[0002]这种旋转阴极单元已知的例如有专利文献1。该以往例子中的装置具有圆筒形的靶、旋转驱动该靶的驱动块以及具有使冷却水或压缩空气流体循环的循环通道的流体循环装置。驱动块上设置有流体流入口和流出口，在其内部，设置有与流入口相通的流体循环通道的第一去路和与流出口相通的流体循环通道的第一回路。另一方面，在靶内设置管体，在靶和管体之间的空间构成与第一去路相通的流体循环通道的第二去路的同时，管体的内部空间构成与第一回路相通的流体循环通道的第二回路。[0003]在靶的驱动块侧的端部上安装有封闭靶的端部开口的帽体。帽体内形成流体通道，在帽体的外缘上局部形成有允许流体从第二去路流入到流体通道的流入开口，第二去路和第二回路相连通。并且，在向靶施加电力对靶进行溅射期间，向流体循环通道供给冷却水以便用冷却水充满靶内的第二去路和第二回路，伴随驱动块对靶的旋转而通过与冷却水的热交换来冷却靶，该冷却水是通过与靶一同旋转的帽体的流入开口从第二去路流向第二回路的冷却水。[0004]然而，由于靶因溅射而受到侵蚀，所以需要定期更换，此时，考虑到维护性等，有必要预先将靶内残留的冷却水可靠地排出(排水)。在上述以往例子的装置中，与溅射时相同，在旋转靶的同时向冷媒循环通道内部提供冷却水而提供压缩空气，将靶内残留的冷却水排出(排水操作)。此处，在靶的轴线呈水平姿态的情况下进行排水操作时，残留在第二去路内的冷却水先被从第二回路的上流端提供的压缩空气推动，该被推动的冷却水从帽体的流入开口流入帽体内的流体通道，经该流体通道流向第二回路的下流端然后从靶排出。随之第二去路内的水