一种真空磁控溅射镀膜用旋转阴极驱动系统.pdf
猫巷****忠娟
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本发明公开了一种真空磁控溅射镀膜用旋转阴极驱动端头,其包括聚甲醛基座(1)、驱动头壳体(2)、驱动轴(3)、驱动齿轮(30)、从动齿轮(31)、轴套(4)、输入轴头(40)、磁芯轴(41)、冷却水管接口(5)、电刷接线柱(6)、电刷装置(60)、靶材(9)、前端盖(10)、后端盖(11),其中,驱动齿轮(30)为锥齿轮,设置在驱动轴(3)下端,从动齿轮(31)也为锥形齿轮,两者通过锥齿轮传动方式进行传动,聚甲醛基座(1)与驱动头壳体(2),电刷接线柱(6)相接处采用静密封(7)结构密封,与驱动轴(3)相接
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本发明提供了一种真空磁控溅射镀膜用的旋转阴极,包括绝缘座、阴极安装座、真空基体、安装座及水接头;所述绝缘座固装在真空基体上,阴极安装座和安装座固装在绝缘座上,阴极安装座和安装座上分别通过可旋转的阴极端盖和第二阴极端盖与靶材的两端密封连接;绝缘座上设有传动轴,传动轴上端的驱动齿轮与固装在阴极端盖上的从动齿轮啮合,靶材的内部设有不旋转的中心管,中心管的顶部设有磁芯元件,中心管通过引水管与水接头连接,中心管的内孔通过进水管与水接头的进水孔连通;靶材、阴极端盖、第二阴极端盖、引水管和水接头组成一密闭的腔体。本发明
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施工项目管理:什么是真空阴极磁控溅射镀膜法镀膜玻璃的真空阴极磁控溅射镀膜法,是将玻璃置于真空室中,在真空室内通入反应性气体,当对溅射阴极通电时,在电场的作用下,从阳极表面发射出电子,电子在电场的加速下能量迅速提高,高能电子将于阴极表面区域的空间的气体分子相碰撞,使气体分子电离,带正电的粒子在电场的加速下,高速向阴极表面撞击,将金属粒子击出,同时由于粒子碰撞靶表面产生大量二次电子,电子又在电场的加速下成为高能电子,从而维持这种导常辉光放电。其中,被带正电的粒子从靶表面出的金属粒子,会沉积在玻璃上,形成薄膜。
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本发明提供一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机电弧源组件的驱动系统,将旋转架通过转盘密封转动安装在炉体底板上,利用炉体底板下方的外部驱动机构驱动转盘旋转,并在旋转架与转盘之间形成一非真空腔室,转动轴密封转动水平穿出非真空腔室,另一驱动机构设置在非真空腔室内,驱动转动轴旋转,并通过转动轴将动力传递到真空区,然后通过传动机构带动升降台沿旋转架作升降运动。本发明驱动系统,可方便的实现动力从非真空区到真空区的传递,从而驱动安装其上的位于真空区中的电弧源组件,在水平面内作旋转运动和在竖直方向上作升降运动,且旋转