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(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102296273A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102296273A(43)申请公布日2011.12.28(21)申请号201010208947.3(22)申请日2010.06.24(71)申请人上海子创镀膜技术有限公司地址201617上海市松江区石湖荡镇唐明路277号(72)发明人魏庆瑄李惠(74)专利代理机构上海衡方知识产权代理有限公司31234代理人卞孜真(51)Int.Cl.C23C14/35(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图5页(54)发明名称一种真空磁控溅射镀膜用旋转阴极驱动系统(57)摘要本发明公开了一种真空磁控溅射镀膜用旋转阴极驱动端头,其包括聚甲醛基座(1)、驱动头壳体(2)、驱动轴(3)、驱动齿轮(30)、从动齿轮(31)、轴套(4)、输入轴头(40)、磁芯轴(41)、冷却水管接口(5)、电刷接线柱(6)、电刷装置(60)、靶材(9)、前端盖(10)、后端盖(11),其中,驱动齿轮(30)为锥齿轮,设置在驱动轴(3)下端,从动齿轮(31)也为锥形齿轮,两者通过锥齿轮传动方式进行传动,聚甲醛基座(1)与驱动头壳体(2),电刷接线柱(6)相接处采用静密封(7)结构密封,与驱动轴(3)相接处采用动密封(8)结构密封,另外,轴套(4)与前、后端盖(10、11)相接处采用双道动密封(8)结构密封,本发明的技术效果是镀膜效率高,驱动系统寿命长。CN1029673ACCNN110229627302296279A权利要求书1/1页1.一种真空磁控溅射镀膜用旋转阴极驱动系统,包括聚甲醛基座(1)、驱动头壳体(2)、驱动轴(3)、驱动齿轮(30)、从动齿轮(31)、轴套(4)、输入轴头(40)、磁芯轴(41)、冷却水管接口(5)、电刷接线柱(6)、电刷装置(60)、靶材(9)、前端盖(10)、后端盖(11)、油杯(100),其中,所述驱动齿轮(30)设置在驱动轴(3)下端,其特征在于,所述驱动齿轮(30)为锥齿轮,所述从动齿轮(31)为锥形齿轮,所述驱动齿轮(30)与从动齿轮(31)通过锥齿轮传动方式进行传动,所述聚甲醛基座(1)与驱动头壳体(2)相接处采用静密封(7)结构密封,所述聚甲醛基座(1)与驱动轴(3)相接处采用动密封(8)结构密封,所述聚甲醛基座(1)与电刷接线柱(6)相接处采用静密封(7)结构密封,所述轴套(4)与前端盖(10)或后端盖(11)相接处采用双道动密封(8)结构密封,所述驱动头壳体(2)与前端盖(10)或后端盖(11)接合处采用静密封(7)结构密封。2.根据权利要求1所述的驱动系统,其特征在于,所述静密封(7)为在两个相连接物体结合处设置有至少一个以上的O形密封圈(70)。3.根据权利要求1所述的驱动系统,其特征在于,所述动密封(8)为在两个相连接物体结合处设置有至少一对以上的骨架密封圈(80)。4.根据权利要求1所述的驱动系统,其特征在于,所述轴套(4)的前后两端均设有滚动轴承(14),其中,所述滚动轴承(14)同时位于轴套(4)上的双道动密封内侧。5.根据权利要求1所述的驱动系统,其特征在于,所述从动齿轮(31)通过螺栓与轴套(4)连接固定,所述轴套(4)内置有输入轴头(40),所述输入轴头(40)与磁芯轴(41)相接处设置有磁芯轴连接件(43),当从动齿轮运动时,依次通过轴套(4),输入轴头(40),磁芯轴连接件(43),带动磁芯轴(41)运动。6.根据权利要求1或5所述的驱动系统,其特征在于,所述磁芯轴(41)尾端还设有磁芯固定轴(42),所述磁芯固定轴(42)与后端盖(11)连接处还设有绝缘垫(13)。7.根据权利要求1或5所述的驱动系统,其特征在于,所述轴套(4)与输入轴头(40)连接处的尾端设有张紧套传动装置(34)。8.根据权利要求1所述的驱动系统,其特征在于,所述冷却水管接口(5)下端连接有冷却水通道(50),所述输入轴头(40)内腔还设置有一冷却水管(51),所述冷却水管(51)内腔与冷却水通道(50)相通,所述轴套(4)内腔尾端还设置有至少一个以上的冷却水回流通道(53),所述冷却水管接口(5)、冷却水通道(50)、冷却水回流通道(53)、冷却水管(51)组成冷却水循环系统。9.根据权利1所述的驱动系统,其特征在于,所述聚甲醛基座(1)基座顶端还设置有一个油杯(100),所述油杯(100)下端接有润滑油通道(101),所述润滑油通道(101)穿过前端盖(10),至前端盖(10)与轴套(4)的相接处中间位置。10.根据权利1所述的驱动系统,其特征在于,所述电刷接线柱(6)下端设置有接线柱管(60),所述接线柱管(60)底端设置有电刷装置(61)。2CCNN110229627302296279A说明书1/4页一种真