背板的制造方法以及靶材组件.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107717024A(43)申请公布日2018.02.23(21)申请号201610659597.X(22)申请日2016.08.11(71)申请人宁波江丰电子材料股份有限公司地址315400浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号(72)发明人姚力军潘杰相原俊夫王学泽朱华海(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人高静吴敏(51)Int.Cl.B23C3/00(2006.01)C23C14/34(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图2页(54)发明名称背板的制造方法以及靶材组件(57)摘要本发明提供一种背板的制造方法以及靶材组件，所述制造方法包括：提供背板坯料，所述背板坯料包括焊接面、以及与所述焊接面相对的背面；对所述背面进行粗加工，在所述背面内形成初始水道；对所述初始水道进行精加工，形成水道结构；在所述精加工过程中，采用易挥发性溶液作为冷却液。本发明对所述初始水道进行精加工的过程中，采用易挥发性溶液作为冷却液，冷却液挥发后不易在所述水道结构内形成残留，从而可以提高所述水道结构的表面洁净度、色泽度，且可以减小或避免所述水道结构内的残留杂质，从而提高了所述水道结构的形成质量，进而提高了所述背板的质量。CN107717024ACN107717024A权利要求书1/1页1.一种背板的制造方法，其特征在于，包括：提供背板坯料，所述背板坯料包括焊接面、以及与所述焊接面相对的背面；对所述背面进行粗加工，在所述背面内形成初始水道；对所述初始水道进行精加工，形成水道结构；在所述精加工过程中，采用易挥发性溶液作为冷却液。2.如权利要求1所述的背板的制造方法，其特征在于，所述背板坯料的材料为6061铝合金。3.如权利要求1所述的背板的制造方法，其特征在于，在所述精加工过程中，采用酒精作为冷却液。4.如权利要求1所述的背板的制造方法，其特征在于，所述粗加工的工艺为粗铣加工工艺。5.如权利要求4所述的背板的制造方法，其特征在于，所述粗铣加工工艺的步骤包括：采用白钢刀刀具，主轴转速为2500转/分钟至3200转/分钟，在所述背面上的进给量为1200毫米/转至1700毫米/转，吃刀量为0.3毫米至0.7毫米。6.如权利要求4所述的背板的制造方法，其特征在于，在所述粗铣加工工艺过程中，采用切削液作为冷却液。7.如权利要求1所述的背板的制造方法，其特征在于，完成所述粗加工后，所述初始水道的开口尺寸和深度预留加工余量，所述加工余量为0.5nm至1mm。8.如权利要求1所述的背板的制造方法，其特征在于，形成所述初始水道后，对所述初始水道进行精加工之前，所述制造方法还包括：对所述初始水道进行平面整平加工工艺。9.如权利要求8所述的背板的制造方法，其特征在于，完成所述平面整平加工工艺后，所述初始水道的平面度小于或等于0.1mm。10.如权利要求1所述的背板的制造方法，其特征在于，所述精加工的工艺为精铣加工工艺。11.如权利要求10所述的背板的制造方法，其特征在于，所述精铣加工工艺所采用的刀具为钨钢刀刀具。12.如权利要求10所述的背板的制造方法，其特征在于，所述精铣加工工艺的参数包括：主轴转速为2800转/分钟至3200转/分钟，在所述背面上的进给量为250毫米/转至350毫米/转，吃刀量为0.07毫米至1.03毫米。13.一种靶材组件，其特征在于，包括：靶坯；与所述靶坯相结合的背板，所述背板采用如权利要求1～12任一项权利要求所述的制造方法所形成。2CN107717024A说明书1/6页背板的制造方法以及靶材组件技术领域[0001]本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及背板的制造方法以及靶材组件。背景技术[0002]溅射技术是半导体制造领域的常用工艺之一，随着溅射技术的日益发展，溅射靶材在溅射技术中起到了越来越重要的作用，溅射靶材的质量直接影响到了溅射后的成膜质量。[0003]在溅射靶材制造领域中，靶材组件是由符合溅射性能的靶坯、与靶坯相结合的背板构成。随着产品工艺的不断升级，为了使背板达到良好的抗高温变形性能，背板内采用水道结构设计。在靶材组件的使用过程中，连续不断的冷却水流入所述水道结构中，以带走所述背板表面大量的热量，实现所述背板持久的抗高温变形能力，从而提高靶材组件的使用寿命，节约成本。[0004]但是，现有技术靶材组件的性能有待提高。发明内容[0005]本发明解决的问题是提供一种背板的制造方法以及靶材组件，提高背板的质量，从而提高靶材组件的性能。[0006]为解决上述问题，本发明提供一种背板的制造方法，包括：提供背板坯料，所述背板坯料包括焊接面、以及与所述焊接面相对的背面；对所述背面进行粗加工，在所述背面内形成初始水道；对所述初始水道进行精加