一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108821088A(43)申请公布日2018.11.16(21)申请号201810935832.0(22)申请日2018.08.16(71)申请人江苏比昂电子材料有限公司地址215000江苏省苏州市相城区太平街道金澄路88号(72)发明人刘洪浩(74)专利代理机构苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙)32268代理人冯现伟(51)Int.Cl.B66C1/10(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图4页(54)发明名称一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置(57)摘要本发明公开了一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置，包括固定托板、夹板和限位框体，所述固定托板的表面设置有施力通槽，所述施力通槽两侧的固定托板表面安装有限位滑槽，所述限位滑槽的表面通过滑块安装有活动块，所述限位滑槽一端的固定托板表面固定安装有固定块，所述固定托板表面边缘处焊接有限位框体，所述限位框体的一侧表面通过转轴安装有夹板，所述夹板的表面设置有预留槽，所述预留槽两侧的夹板表面皆焊接有两个吊杆，所述限位框体的另一侧表面焊接有装配板。本发明通过设置有一系列的结构，使得该装置适应于起吊转运大型的ITO靶材，防止靶材表面遭受振动力，对靶材进行充分的保护，并方便放置和拿取，提高转运的效率。CN108821088ACN108821088A权利要求书1/1页1.一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置，包括固定托板(5)、夹板(2)和限位框体(6)，其特征在于：所述固定托板(5)的表面设置有施力通槽(17)，所述施力通槽(17)两侧的固定托板(5)表面安装有限位滑槽(10)，所述限位滑槽(10)的表面通过滑块安装有活动块(18)，所述限位滑槽(10)一端的固定托板(5)表面固定安装有固定块(7)，所述固定托板(5)表面边缘处焊接有限位框体(6)，所述限位框体(6)的一侧表面通过转轴安装有夹板(2)，所述夹板(2)的表面设置有预留槽(3)，所述预留槽(3)两侧的夹板(2)表面皆焊接有两个吊杆(21)，且吊杆(21)的顶端焊接有吊环(4)，所述限位框体(6)的另一侧表面焊接有装配板(13)。2.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置，其特征在于：所述固定块(7)与活动块(18)的表面皆设置有限位卡槽(1)，且限位卡槽(1)的表面固定安装有减震胶垫(1801)。3.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置，其特征在于：所述施力通槽(17)的内部通过转轴活动安装有辊体(15)，且辊体(15)的表面活动套接有橡胶滚筒(16)。4.根据权利要求3所述的一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置，其特征在于：所述施力通槽(17)两侧的固定托板(5)底端表面皆固定安装有垫板(12)，且垫板(12)较高于橡胶滚筒(16)。5.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置，其特征在于：所述装配板(13)与夹板(2)表面边缘处皆设置有活动槽(9)，装夹板(2)的活动槽(9)外侧表面设置有防滑卡槽(8)，装配板(13)的活动槽(9)内部通过销轴安装有长颈螺栓(22)，长颈螺栓(22)的表面通过螺纹体安装有紧固螺环(14)。6.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置，其特征在于：所述预留槽(3)外侧的夹板(2)底端表面固定安装有气垫囊(20)，且气垫囊(20)的表面均匀安装有橡胶颗粒。7.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置，其特征在于：所述吊杆(21)的表面套接有减震弹簧(2101)，且减震弹簧(2101)的一端表面与吊环(4)顶紧。8.根据权利要求2所述的一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置，其特征在于：所述限位卡槽(1)一侧的活动块(18)表面固定安装有螺纹卡环(19)，螺纹卡环(19)的内部通过螺纹体安装有限位螺栓(1901)，且限位框体(6)的内壁表面均匀设置有螺纹孔(11)。2CN108821088A说明书1/4页一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置技术领域[0001]本发明涉及靶材生产技术领域，具体为一种大型ITO靶材生产用吊装转运装置。背景技术[0002]ITO是一种N型氧化物半导体-氧化铟锡，在镀膜靶材的分类中，ITO靶材被划分为陶瓷靶材类，其本身力学性能较差，在遭受外部作用力时，ITO靶材极容易发生开裂甚至断裂的意外发生，为避免靶材生产过程中发生破坏。[0003]实际工厂中，都会使用特殊的装运装置，将ITO靶材从这个工艺台转运到下一个工艺台，以便于实际加工，只是转运装置多数为推车类，经常与地面接触，在运输过程中，极容易产生较大的振动力，对ITO靶材造成破坏，为减小振动力等对ITO靶材转运的伤害，由此采用吊装转运的方式，只是