一种高纯度的ITO靶材生产装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110484873A(43)申请公布日2019.11.22(21)申请号201910748826.9(22)申请日2019.08.14(71)申请人青岛元盛光电科技股份有限公司地址266000山东省青岛市保税港区北京路45号东办公楼一楼-1274(商务秘书公司托管地址)(A)(72)发明人刘刚刘璎琪肖丹妮(74)专利代理机构北京盛凡智荣知识产权代理有限公司11616代理人范国刚(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图4页(54)发明名称一种高纯度的ITO靶材生产装置(57)摘要本发明公开了一种高纯度的ITO靶材生产装置，具体涉及ITO靶材生产领域，包括预处理机构、加工机构以及烧结机构；所述预处理机构包括外箱，所述外箱顶部固定设有第一风机，所述第一风机两侧均连接有抽风管。本发明通过预处理机构，第二风机将原料吹起，使得原料与灰尘分离，第二风机将灰尘从外箱中抽出，然后再通过驱动电机带动转轴转动，转轴通过齿轮以及端面齿轮带动搅拌片转动，对纯水中的原料进行搅拌，并配合超声波发生器进一步提高清洁效果，再通过水泵将上层污染液抽出保证下层的原料的纯净，整体使得本发明能够有效对原料进行去杂，从而在后续加工中提高原料纯度，与现有技术相比，生产出来的ITO靶材纯度更高。CN110484873ACN110484873A权利要求书1/1页1.一种高纯度的ITO靶材生产装置，其特征在于：包括预处理机构(1)、加工机构(2)以及烧结机构；所述预处理机构(1)包括外箱(3)，所述外箱(3)顶部固定设有第一风机(4)，所述第一风机(4)两侧均连接有抽风管(5)，所述抽风管(5)一端连通设有抽风头(6)，所述抽风头(6)的进风端贯穿外箱(3)并延伸至外箱(3)内部，所述抽风头(6)的进风端形状设置为喇叭状，所述抽风头(6)的进风端固定设有第一过滤网(7)，所述外箱(3)两侧均连通设有进料管(8)，所述进料管(8)底部固定设有固定架(9)，所述固定架(9)内部固定设有第二风机(10)，所述第二风机(10)的出风端固定设有第二过滤网(11)，所述第二风机(10)的进风端与外部相连通，所述第二风机(10)的出风端与外箱(3)内部相连通，所述第二风机(10)的进风端固定设有第三过滤网(12)，所述外箱(3)底端连通设有输料管(13)，所述输料管(13)内部固定设有电磁阀(14)，所述输料管(13)底部连通设有清洗箱(15)，所述清洗箱(15)一侧顶部连通设有进水管(16)，所述进水管(16)上设有第一开关阀(17)，所述清洗箱(15)内侧顶部固定设有超声波发生器(18)，所述超声波发生器(18)底部设有空心支管(19)，所述空心支管(19)内部设有转轴(20)，所述转轴(20)的端部与清洗箱(15)转动连接，所述转轴(20)一端固定设有驱动电机，所述转轴(20)表面固定设有多个齿轮(21)，所述齿轮(21)底部设有端面齿轮(22)，所述端面齿轮(22)底端设有搅拌杆(23)，所述搅拌杆(23)表面固定设有多个搅拌片(24)，所述搅拌片(24)表面贯通设有多个通水孔(25)，所述空心支管(19)底端设有多个通孔(26)，所述清洗箱(15)远离进水管(16)的一侧连通设有抽水管(27)，所述抽水管(27)上连接有水泵(28)，所述抽水管(27)底部设有送料管(29)，所述送料管(29)上连接有送料泵(30)，所述抽水管(27)以及送料管(29)上均设有第二开关阀(31)。2.根据权利要求1所述的一种高纯度的ITO靶材生产装置，其特征在于：所述加工机构(2)包括加工箱(32)。3.根据权利要求2所述的一种高纯度的ITO靶材生产装置，其特征在于：所述加工箱(32)顶部螺纹连接有镂空顶盖(33)。4.根据权利要求2所述的一种高纯度的ITO靶材生产装置，其特征在于：所述加工箱(32)四周均固定设有气缸(34)。5.根据权利要求4所述的一种高纯度的ITO靶材生产装置，其特征在于：所述气缸(34)输出轴一端贯穿加工箱(32)并延伸至其内部。6.根据权利要求5所述的一种高纯度的ITO靶材生产装置，其特征在于：所述气缸(34)输出轴一端固定设有压板(35)，所述压板(35)内部固定设有多个电加热丝(36)。7.根据权利要求6所述的一种高纯度的ITO靶材生产装置，其特征在于：所述加工箱(32)底部连通设有排水管(37)，所述加工箱(32)通过送料管(29)与清洗箱(15)相连通。8.根据权利要求1所述的一种高纯度的ITO靶材生产装置，其特征在于：所述烧结机构包括烧结炉(38)。2CN110484873A说明书1/4页一种高纯度的ITO靶材生产装置技术领域[0001]本发